[發明專利]一種SF6

有效

• 申請號: 202210368709.1
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114682064B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: 楊皓霖;閆永旭;肖淞;李寒;殷詣康;李祎;陳釔江
• 申請（專利權）人: 武漢大學
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32
• 代理公司: 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222
• 代理人: 江慧

1.一種SF₆廢氣的射頻放電降解方法，其特征在于，所述方法包括：

將SF₆、O₂和Ar三種氣體以(23～27)：(48～52)：2的體積比混合，獲得混合氣體；

將所述混合氣體進行射頻等離子體降解反應，獲得反應產物，其中，所述射頻等離子體降解反應中保持在0.3～1Torr的低壓；射頻發生器的頻率為13～14MHz，所述射頻等離子體降解反應的時間為≥2h；所述射頻等離子體降解反應中，通過射頻發生器的兩個銅電極放電，在玻璃反應器內產生等離子體放電區，使SF₆、O₂和Ar的混合氣體經過等離子體放電區時發生反應；通過緩沖裝置使得所述玻璃反應器內反應后的氣體壓強≤10^-3托；其中所述緩沖裝置包括依次連通的機械真空泵、擴散油泵和緩沖器，所述緩沖器的出口與所述玻璃反應器相連通。

2.根據權利要求1所述的一種SF₆廢氣的射頻放電降解方法，其特征在于，所述SF₆、O₂和Ar經過標準的質量流量控制器的氣體入口通入；所述SF₆、O₂和Ar在氣體混合器中進行混合。

3.根據權利要求1所述的一種SF₆廢氣的射頻放電降解方法，其特征在于，所述方法還包括：對所述反應產物進行收集、識別和分析。

4.根據權利要求3所述的一種SF₆廢氣的射頻放電降解方法，其特征在于，所述識別中，使用氣相色譜/質譜和傅里葉變換紅外光譜儀對所述反應產物進行識別。

5.根據權利要求3所述的一種SF₆廢氣的射頻放電降解方法，其特征在于，所述分析中，使用FTIR對所述反應產物進行量化。