[發明專利]一種SF6

有效

• 申請號: 202210368709.1
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114682064B
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: 楊皓霖;閆永旭;肖淞;李寒;殷詣康;李祎;陳釔江
• 申請（專利權）人: 武漢大學
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32
• 代理公司: 武漢科皓知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 42222
• 代理人: 江慧

本發明公開了一種SF₆廢氣的射頻放電降解方法，所述方法包括：將SF₆、O₂和Ar三種氣體以(23～27)：(48～52)：2的比例混合，獲得混合氣體；將所述混合氣體進行射頻等離子體降解反應，獲得反應產物，其中，所述射頻等離子體降解反應中保持在0.3～1Torr的低壓。本發明用射頻等離子體降解SF₆可以極大提高污染物的去除率和吸收率，同時降解率高經檢測SF₆的降解率達到了88～92％。

技術領域

本發明涉及廢氣處理技術領域，特別涉及一種SF₆廢氣的射頻放電降解方法。

背景技術

SF₆絕緣性能是空氣的2.5倍，滅弧性能是空氣的約100倍，圍繞SF₆設計和開發的電力設備被廣泛使用。盡管SF₆具有諸多優良的性質，但是其本身具有極強的溫室效應，是諸多環境公約中規定的限制性排放氣體，SF₆的使用和排放一直是環境領域關注的重點。近年來隨著電力工業的發展，SF₆作為最具代表的絕緣氣體，其使用量也呈現上升趨勢。

SF₆被列為六大限制性氣體之一，其他五個分別是二氧化碳(CO₂)、甲烷(CH₄)、氧化亞氮(N₂O)、氫氟碳化物(HFCs)、全氟化碳(PFCs)，其中SF₆是單位體積溫室效應值最高的氣體。SF₆的GWP值是CO₂的23500倍，遠超其他溫室氣體，同時SF₆穩定性很強，能夠在大氣層中穩定存在上千年。因此可見，SF₆的減排具有很強的環境意義，SF₆廢氣的處理目前存在巨大的經濟效益和社會效益。

因此，有必要開發一種SF₆廢氣的環保處理方法。

發明內容

本發明目的是提供一種SF6廢氣的射頻放電降解方法，用射頻等離子體降解SF₆可以極大提高污染物的去除率和吸收率，同時降解率高經檢測SF₆的降解率達到了92％。

為了實現上述目的，本發明采用如下技術方案：

本發明提供了一種SF6廢氣的射頻放電降解方法，所述方法包括：

將SF₆、O₂和Ar三種氣體以(23～27)：(48～52)：2的體積比混合，獲得混合氣體；

將所述混合氣體進行射頻等離子體降解反應，獲得反應產物，其中，所述射頻等離子體降解反應中保持在0.3～1Torr的低壓。

進一步地，所述SF₆、O₂和Ar經過標準的質量流量控制器的氣體入口通入；所述SF₆、O₂和Ar在氣體混合器中進行混合。

進一步地，所述射頻等離子體降解反應中，通過射頻發生器的兩個銅電極放電，在玻璃反應器內產生等離子體放電區，使SF₆、O₂和Ar的混合氣體經過等離子體放電區時發生反應。

進一步地，所述射頻發生器的頻率為13～14MHz，所述射頻等離子體降解反應的時間為≥2h。

進一步地，通過緩沖裝置使得所述玻璃反應器內反應后的氣體壓強≤10^-3托；其中所述緩沖裝置包括依次連通的機械真空泵、擴散油泵和緩沖器，所述緩沖器的出口與所述玻璃反應器相連通。

進一步地，所述方法還包括：對所述反應產物進行收集、識別和分析。