[發明專利]一種晶圓玻璃粉擦除裝置

有效

• 申請號: 202210365972.5
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114446840B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 馮永;胡仲波;馮艾誠;李健兒;蔣紅全;周建余
• 申請（專利權）人: 四川上特科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B1/02;B08B13/00
• 代理公司: 成都誠中致達專利代理有限公司 51280
• 代理人: 楊春

本申請提供一種晶圓玻璃粉擦除裝置，屬于制造半導體的設備領域，裝置包括：存紙筒、取紙機構、夾持機構以及旋轉吸盤。存紙筒用于堆疊存放濾紙。取紙機構包括吸紙管，用于取出存紙筒內的濾紙，吸紙管沿豎直方向升降。夾持機構包括防塵罩，防塵罩內部設有相對移動的兩塊夾板，用于壓緊對折后的濾紙，防塵罩沿水平方向移動設置，存紙筒位于防塵罩移動方向的一端下方。旋轉吸盤用于固定晶圓，并使晶圓旋轉，旋轉吸盤設于防塵罩移動方向的另一端下方。有較高的工作效率，可保證晶圓各處的擦除效果一致，同時可避免粉塵污染。

技術領域

本發明屬于制造或處理半導體或固體器件的設備技術領域，尤其涉及一種晶圓玻璃粉擦除裝置。

背景技術

晶圓生產主要包括蝕刻、顯影、溝槽蝕刻、玻璃鈍化、金屬化、清洗及劃片等工藝。其中玻璃鈍化工藝需要在晶圓表面的溝槽內涂覆填充玻璃粉，并且需要將晶圓表面多余的玻璃粉擦除。

現有的方式多數采用人工利用對折的中性濾紙擦去晶圓表面的玻璃粉，由于操作者通常利用拇指、食指和中指捏住折疊后的中性濾紙中部，對折的中性濾紙中部受力較為穩定，可有效擦除晶圓表面的玻璃粉，而中性濾紙底邊的兩端受力卻很小、且不穩定，導致無法有效的擦除晶圓表面的玻璃粉。如此便需要操作者捏著中性濾紙在晶圓表面進行無規律的往復或旋轉運動，以盡可能的擦除晶圓表面的玻璃粉。此種方式不僅擦除效率較低；而且由于操作者存在不規律的移動中性濾紙，致使晶圓各處的擦除效果并不一致。

發明內容

為解決現有技術不足，本發明提供一種晶圓玻璃粉擦除裝置，具有較高的擦除效率，可保證晶圓各處的擦除效果一致，并且可防止粉塵污染。

為了實現本發明的目的，擬采用以下方案：

一種晶圓玻璃粉擦除裝置，包括：存紙筒、取紙機構、夾持機構以及旋轉吸盤。

存紙筒用于堆疊存放濾紙。

取紙機構包括吸紙管，利用負壓吸附存紙筒內頂面上的濾紙，吸紙管沿豎直方向升降設置。

夾持機構包括底部開口的防塵罩，防塵罩內部設有相對移動的兩塊夾板，夾板相對的一側為平面結構，用于壓緊對折后的濾紙，吸紙管升降時可連帶著濾紙從夾板之間穿過，防塵罩沿水平方向移動設置，存紙筒位于防塵罩移動方向的一端下方。

旋轉吸盤用于固定晶圓，并使晶圓旋轉，旋轉吸盤設于防塵罩移動方向的另一端下方。

進一步的，存紙筒底部設有舉升裝置，用于舉升存紙筒的濾紙。

進一步的，吸紙管底面為平面，設有兩列通孔及一條矩形孔，吸紙管內部具有與通孔及矩形孔均連通的矩形腔，矩形腔內設有T型板，T型板的橫板滑動設于矩形腔內，T型板的豎板穿設于矩形孔內，豎板底面設有粘接層，吸紙管至少一端設有吸管接頭，吸管接頭的穿設位置位于橫板的底面與矩形腔的底面之間，通過吸管接頭對吸紙管內部降壓或加壓，可使T型板沿垂直于底面的方向移動。

進一步的，橫板底面設有支撐桿，當支撐桿的底面正好與矩形腔的底面接觸時，豎板的底面與吸紙管的底面平齊或凸出于吸紙管底面預定距離。

進一步的，夾板相對一側的平面結構上方設有彈力片，彈力片的上段傾斜朝向兩塊夾板的中間，彈力片采用橡膠制作。

進一步的，吸紙管的上方連接于一橫梁，橫梁的一端用于連接升降裝置的伸縮桿，橫梁與吸紙管平行設置，橫梁的上方設有截面為三角形的導向罩。

進一步的，防塵罩側壁對應吸紙管的移動軌跡開設有條形槽，用于容納吸紙管，條形槽位于兩側的夾板之間，條形槽設有一對橡膠門簾。

進一步的，旋轉吸盤的外周設有環形罩，環形罩內壁設有排氣孔用于吸除擦除玻璃粉形成的粉塵，防塵罩的外徑小于環形罩的內徑，擦除玻璃粉時，防塵罩的下段插設于環形罩內。

進一步的，夾板均采用氣缸驅動，氣缸設于防塵罩的外側。