[發(fā)明專利]一種晶圓玻璃粉擦除裝置

有效

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• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114446840B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發(fā)明（設計）人: 馮永;胡仲波;馮艾誠;李健兒;蔣紅全;周建余
• 申請（專利權(quán)）人: 四川上特科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B1/02;B08B13/00
• 代理公司: 成都誠中致達專利代理有限公司 51280
• 代理人: 楊春

1.一種晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，包括：

存紙筒（10），用于堆疊存放濾紙；

取紙機構(gòu)（20），包括沿豎直方向升降設置的吸紙管（21），用于吸附存紙筒（10）內(nèi)頂面上的濾紙；

夾持機構(gòu)（30），包括底部開口的防塵罩（31），防塵罩（31）內(nèi)部設有相對移動的兩塊夾板（32），夾板（32）相對的一側(cè)為平面結(jié)構(gòu)，用于壓緊對折后的濾紙，吸紙管（21）升降時可連帶著濾紙從夾板（32）之間穿過，防塵罩（31）沿水平方向移動設置，存紙筒（10）位于防塵罩（31）移動方向的一端下方；

旋轉(zhuǎn)吸盤（40），用于固定晶圓，并使晶圓旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)吸盤（40）設于防塵罩（31）移動方向的另一端下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，存紙筒（10）底部設有舉升裝置，用于舉升存紙筒（10）的濾紙。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，吸紙管（21）底面為平面，設有兩列通孔（211）及一條矩形孔（212），吸紙管（21）內(nèi)部具有與通孔（211）及矩形孔（212）均連通的矩形腔（213），矩形腔（213）內(nèi)設有T型板（22），T型板（22）的橫板（221）滑動設于矩形腔（213）內(nèi)，T型板（22）的豎板（222）穿設于矩形孔（212）內(nèi)，豎板（222）底面設有粘接層，吸紙管（21）至少一端設有吸管接頭（23），吸管接頭（23）的穿設位置位于橫板（221）的底面與矩形腔（213）的底面之間，通過吸管接頭（23）對吸紙管（21）內(nèi)部降壓或加壓，可使T型板（22）沿垂直于底面的方向移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，橫板（221）底面設有支撐桿（223），當支撐桿（223）的底面正好與矩形腔（213）的底面接觸時，豎板（222）的底面與吸紙管（21）的底面平齊或凸出于吸紙管（21）底面預定距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，夾板（32）相對一側(cè)的平面結(jié)構(gòu)上方設有彈力片（33），彈力片（33）的上段傾斜朝向兩塊夾板（32）的中間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，吸紙管（21）的上方連接于一橫梁（24），橫梁（24）的一端用于連接升降裝置的伸縮桿，橫梁（24）與吸紙管（21）平行設置，橫梁（24）的上方設有截面為三角形的導向罩（25）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，防塵罩（31）側(cè)壁對應吸紙管（21）的移動軌跡開設有條形槽（311），用于容納吸紙管（21），條形槽（311）位于兩側(cè)的夾板（32）之間，條形槽（311）設有一對橡膠門簾（312）。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，旋轉(zhuǎn)吸盤（40）的外周設有環(huán)形罩（41），環(huán)形罩（41）內(nèi)壁設有排氣孔用于吸除擦除玻璃粉形成的粉塵，防塵罩（31）的外徑小于環(huán)形罩（41）的內(nèi)徑，擦除玻璃粉時，防塵罩（31）的下段插設于環(huán)形罩（41）內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，夾板（32）均采用氣缸驅(qū)動，氣缸設于防塵罩（31）的外側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓玻璃粉擦除裝置，其特征在于，吸紙管（21）的兩側(cè)外壁呈圓弧結(jié)構(gòu)。