[發明專利]直寫光刻鏡頭

有效

• 申請號: 202210363462.4
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114442281B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 陳志特;王華;王重桂;吳中海
• 申請（專利權）人: 東莞銳視光電科技有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B13/14;G03F7/20
• 代理公司: 深圳市華盛智薈知識產權代理事務所(普通合伙) 44604
• 代理人: 胡國英

1.一種直寫光刻鏡頭，其特征在于，所述直寫光刻鏡頭包括成像部，所述成像部共包括九片透鏡，所述九片透鏡自物面至像面依次為：第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡以及第九透鏡；

定義所述第一透鏡的焦距為f1，所述第一透鏡的物側面的曲率半徑為R1，所述第一透鏡的像側面的曲率半徑為R2，定義所述第二透鏡的焦距為f2，定義所述第三透鏡的焦距為f3，定義所述第四透鏡的焦距為f4，定義所述第五透鏡焦距為f5，定義所述第六透鏡焦距為f6，所述第一透鏡的物側面近軸處為凹面，像側面于近軸處為凹面；定義所述第七透鏡的焦距為f7，所述第七透鏡的物側面的曲率半徑為R13，第七透鏡的像側面的曲率半徑為R14，所述第七透鏡的物側面于近軸處為凹面，像側面于近軸處為凹面，具有負屈折力；定義所述第八透鏡的焦距為f8，所述第八透鏡的物側面的曲率半徑為R15，第八透鏡的像側面的曲率半徑為R16，所述第八透鏡的物側面于近軸處為凹面，像側面于近軸處為凹面，定義第九透鏡焦距f9，滿足下列關系式：

-59mm≤f1≤-52mm；

-77mm≤f7≤-45mm；

-72mm≤f8≤-45mm；

-40mm≤R1≤-35mm，200mm≤R2≤205mm；

-168mm≤R13≤-162mm，33mm≤R14≤38mm；

-33mm≤R15≤-28mm，177mm≤R16≤183mm；

143mm≤f2≤151mm；

180mm≤f3≤189mm；

126mm≤f4≤132mm；

92mm≤f5≤97mm；

91mm≤f6≤96mm；

76mm≤f9≤82mm。

2.根據權利要求1所述的直寫光刻鏡頭，其特征在于，所述第二透鏡的物側面于近軸處為凹面，像側面于近軸處為凸面，具有正屈折力；定義第二透鏡物側面的曲率半徑R3，第二透鏡像側面的曲率半徑R4，且滿足下列關系式：

-162mm≤R3≤-157mm，-60mm≤R4≤-57mm。

3.根據權利要求1所述的直寫光刻鏡頭，其特征在于，所述第三透鏡的物側面于近軸處為凸面，像側面于近軸處為凸面，具有正屈折力，定義第三透鏡物側面的曲率半徑R5，第三透鏡像側面的曲率半徑R6，且滿足下列關系式：

1134mm≤R5≤1138mm，-102mm≤R6≤-97mm。

4.根據權利要求1所述的直寫光刻鏡頭，其特征在于，所述第四透鏡的物側面于近軸處為凸面，像側面于近軸處為凸面，具有正屈折力，定義所述第四透鏡的物側面的曲率半徑R7，第四透鏡的像側面的曲率半徑R8，且滿足下列關系式：

583mm≤R7≤588mm，-73mm≤R8≤-69mm。

5.根據權利要求1所述的直寫光刻鏡頭，其特征在于，所述第五透鏡的物側面于近軸處為凸面，像側面于近軸處為凸面，具有正屈折力，定義第五透鏡物側面的曲率半徑R9，第五透鏡像側面的曲率半徑R10，且滿足下列關系式：

58mm≤R9≤62mm，-205mm≤R10≤-200mm。

6.根據權利要求1所述的直寫光刻鏡頭，其特征在于，所述第六透鏡的物側面于近軸處為凸面，像側面于近軸處為凸面，具有正屈折力，定義第六透鏡物側面的曲率半徑R11，第六透鏡像側面的曲率半徑R12，且滿足下列關系式：

55mm≤R11≤60mm，-240mm≤R12≤-235mm。

7.根據權利要求1所述的直寫光刻鏡頭，其特征在于，所述第九透鏡的物側面于近軸處為凸面，像側面于近軸處為凸面，具有正屈折力，所述第九透鏡的物側面的曲率半徑R17，第九透鏡的像側面的曲率半徑R18，且滿足下列關系式：

424mm≤R17≤429mm，-45mm≤R18≤-40mm。