[發明專利]耐腐蝕的三坐標高精密移動平臺

有效

• 申請號: 202210362778.1
• 申請日: 2022-04-08
• 公開（公告）號: CN114439852B
• 公開（公告）日: 2022-07-01
• 發明（設計）人: 徐進勇;彭德義;余鑫;李昕雨;王彤;賀新怡
• 申請（專利權）人: 成都理工大學
• 主分類號: F16C29/02
• 分類號: F16C29/02;H02K7/06;B23Q1/25;B23Q5/28
• 代理公司: 成都正德明志知識產權代理有限公司 51360
• 代理人: 雷正

本發明公開了一種耐腐蝕的三坐標高精密移動平臺，包括X向移動組件、Y向移動組件和Z向移動組件；Y向移動組件設于X向移動組件上，X向移動組件被一環形的密封帶機構密封于耐腐蝕的塑料箱體內；塑料箱體的前面板上開設方形鏤空，以供Y向移動組件沿X軸做往復運動；Z向移動組件設置于Y向移動組件上，且通過Y向移動組件帶動Z向移動組件沿Y軸做往復運動。本發明基于X向移動組件、Y向移動組件和Z向移動組件的配合運動，可實現平臺在三維方向的精密移動；除此，本發明無任何暴露的金屬部件，密封性能好，能滿足各種強化學腐蝕的工作環境；在選材上，本發明具有超痕量金屬雜質，滿足半導體、地球化學等領域超低痕量金屬雜質要求。

技術領域

本發明屬于三坐標移動平臺的技術領域，具體涉及一種耐腐蝕的三坐標高精密移動平臺。

背景技術

三坐標高精密移動平臺在自動化實驗室、三維檢測、三坐標加工（雕刻機、數控機床）以及其它需要三維定位領域被廣泛應用。

在醫療、環境、地球化學、化學化工等自動化實驗室配備自動移液、加液的設備常依賴于三坐標高精密移動平臺。而上述領域，特別是化學實驗室，常使用具有強烈腐蝕性的試劑，其工作環境通常有腐蝕性氣體。而三坐標移動平臺不可避免會使用大量的金屬部件，如電機、傳動軸、緊固件、軸承等。這些金屬部件長期暴露于腐蝕性氣體氛圍中會出現腐蝕現象，從而影響三坐標移動平臺的使用壽命和移動精度。另一方面，在半導體、地球化學等領域，又要求實驗環境具備超痕量金屬雜質；而現有的三坐標移動平臺在選材上很難做到，且暴露于腐蝕性氣體氛圍的金屬部件有被腐蝕，從而釋放金屬雜質的風險。

發明內容

本發明的目的在于針對現有技術中的上述不足，提供一種耐腐蝕的三坐標高精密移動平臺，以解決或改善上述的問題。

為達到上述目的，本發明采取的技術方案是：

一種耐腐蝕的三坐標高精密移動平臺，其包括X向移動組件、Y向移動組件和Z向移動組件；

Y向移動組件設于X向移動組件上，X向移動組件被一環形的密封帶機構密封于耐腐蝕的塑料箱體內；塑料箱體的前面板上開設方形鏤空，以供Y向移動組件沿X軸做往復運動；

Z向移動組件設置于Y向移動組件上，且通過Y向移動組件帶動Z向移動組件沿Y軸做往復運動。

進一步地，X向移動組件包括X向直線滑臺、X向驅動電機和X向滑塊； X向直線滑臺固定于安裝底板上，X向直線滑臺上設置X向同步帶，X向滑塊設置于X向同步帶上，X向驅動電機固定于X向直線滑臺的一端，用以驅動X向同步帶和X向滑塊沿X軸向做往復運動。

進一步地，Y向移動組件包括Y向直線滑臺、Y向固定密封盒和Y向驅動電機；Y向固定密封盒固定于X向滑塊上，Y向驅動電機與Y向直線滑臺上的Y向同步帶連接，Y向同步帶上設有Y向同步帶連接壓塊；Y向驅動電機的出軸設置有電機防腐機構；

電機防腐機構包括堵頭，堵頭蓋在同步帶輪一端，同步帶輪適配在電機出軸上，電機出軸上套設塑料防腐管，且電機出軸穿過第一骨架油封，第一骨架油封固定在Y向固定密封盒側面的穿孔內，Y向驅動電機固定于穿孔面的外表面上。

進一步地，Y向固定密封盒為中空的六面體，其前表面與Y向滑臺連接座連接，Y向固定密封盒前表面的Y向擋板與Y向滑臺連接座上均開設有方形的鏤空，用以過Y向直線滑臺和Y向同步帶；Y向固定密封盒右側面設置有圓形過孔，圍繞圓形過孔在Y向固定密封盒外表面設置有螺紋孔，用以固定Y向驅動電機。

進一步地，Z向移動組件包括Z向移動滑臺、密封盒和舵機；Z向移動滑臺固定于Y向同步帶連接壓塊上，Z向移動滑臺內設有Z向同步帶，Z向同步帶兩端分別套設于Z向同步帶主動輪和Z向同步帶從動輪上；舵機密封于塑料盒內，舵機出軸圓口采用第二骨架油封密封，Z向同步帶主動輪適配于舵機出軸上。

進一步地，塑料箱體呈長方體狀，其包括前面板、安裝底板、后板、左側板、右側板和上蓋板。