[發(fā)明專利]一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210355340.0
• 申請(qǐng)日: 2022-04-06
• 公開（公告）號(hào): CN114602886A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 雍琪浩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/12
• 分類號(hào): B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州高專知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32474
• 代理人: 冷泠

1.一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備，包括柜體(1)，其特征在于：所述柜體(1)的內(nèi)部橫向排布設(shè)置有清洗槽(9)，所述清洗槽(9)的底部皆設(shè)置有超聲波振板(13)，所述超聲波振板(13)的一側(cè)皆設(shè)置有加熱管(12)，所述柜體(1)的底部一固定安裝有放置框(2)，所述放置框(2)的內(nèi)側(cè)縱向排布開設(shè)有放置槽(18)，所述放置槽(18)的內(nèi)側(cè)皆設(shè)置有超聲波發(fā)生器(6)，所述超聲波發(fā)生器(6)的一側(cè)固定安裝有溫控器(15)，所述清洗槽(9)和放置槽(18)的數(shù)量皆為兩個(gè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備，其特征在于：所述溫控器(15)的下方設(shè)置有加熱開關(guān)(16)，且超聲波發(fā)生器(6)的一側(cè)表面設(shè)置有超聲開關(guān)(14)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗槽(9)的頂部皆活動(dòng)安裝有密封蓋(10)，且密封蓋(10)的頂部皆通過(guò)螺栓固定安裝有握把(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備，其特征在于：所述柜體(1)的一側(cè)表面活動(dòng)卡合安裝有檢修板(7)，且檢修板(7)的表面皆設(shè)置有拉環(huán)(8)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備，其特征在于：所述柜體(1)的底部固定安裝有支撐腿(4)，且支撐腿(4)和放置框(2)的底部皆設(shè)置有支撐座(5)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備，其特征在于：所述清洗槽(9)靠近頂部的一側(cè)表面貫穿柜體(1)固定安裝有進(jìn)水管(19)，所述清洗槽(9)靠近底部的一側(cè)表面貫穿柜體(1)固定安裝有排水管(3)，且進(jìn)水管(19)和排水管(3)上皆設(shè)置有控制閥(17)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片后簡(jiǎn)易超聲清洗設(shè)備，其特征在于：所述超聲波發(fā)生器(6)的超聲頻率為20-60KHZ，1000W，所述超聲波清洗的藥液配比水為清洗劑(04K)＝30L：0.8L，且超聲波清洗的時(shí)間為10分鐘。