[發(fā)明專利]氣浮承載裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210353232.X | 申請(qǐng)日： | 2022-04-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN114559382A | 公開（公告）日： | 2022-05-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳魯;張龍;方一;張嵩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B25B11/00 | 分類號(hào)： | B25B11/00;G01D21/00 |
| 代理公司： | 深圳精智聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44393 | 代理人： | 夏聲平 |
| 地址： | 518110 廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 承載 裝置 | ||
1.一種氣浮承載裝置，其特征在于，包括：
承載層，包括承載面，所述承載面上設(shè)置有第一氣孔、第二氣孔，所述承載層上還設(shè)置有第一支導(dǎo)氣管和第一主導(dǎo)氣管，所述第一支導(dǎo)氣管連通所述第二氣孔；
間隔層，連接在所述承載層上遠(yuǎn)離所述承載面的一側(cè)、且與所述承載層形成有第一空腔，所述第一空腔分別連通所述第一氣孔和所述第一主導(dǎo)氣管；所述間隔層上還設(shè)置有第一主導(dǎo)氣管過(guò)孔和第一支導(dǎo)氣管過(guò)孔，所述第一主導(dǎo)氣管穿過(guò)所述第一主導(dǎo)氣管過(guò)孔、并延伸至所述間隔層遠(yuǎn)離所述承載層的一側(cè)，所述第一支導(dǎo)氣管穿過(guò)所述第一支導(dǎo)氣管過(guò)孔、并延伸至所述間隔層遠(yuǎn)離所述承載層的一側(cè)；以及
氣路連接層，連接在所述間隔層遠(yuǎn)離所述承載層的一側(cè)、且與所述間隔層形成有第二空腔，所述第一支導(dǎo)氣管連通所述第二空腔；所述氣路連接層還設(shè)置有第二主導(dǎo)氣管、第二主導(dǎo)氣管過(guò)孔和第三主導(dǎo)氣管過(guò)孔，所述第二主導(dǎo)氣管連通所述第二空腔，所述第一主導(dǎo)氣管貫穿所述第二主導(dǎo)氣管過(guò)孔。
2.如權(quán)利要求1所述的氣浮承載裝置，其特征在于，所述第一氣孔、所述第二氣孔、所述第一支導(dǎo)氣管、所述第一支導(dǎo)氣管過(guò)孔的數(shù)量分別為多個(gè)；所述第一支導(dǎo)氣管和所述第一主導(dǎo)氣管分別設(shè)置在所述承載層上遠(yuǎn)離所述承載面的一側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的氣浮承載裝置，其特征在于，所述承載面的形狀為圓形；所述多個(gè)第一氣孔和所述多個(gè)第二氣孔在所述承載面上相互交替設(shè)置、且形成以所述承載面的軸線為中心呈圓環(huán)形分布的多圈氣壓孔。
4.如權(quán)利要求3所述的氣浮承載裝置，其特征在于，所述多圈氣壓孔包括靠近所述承載面邊緣的外圈氣壓孔和靠近所述承載面的軸線的內(nèi)圈氣壓孔，所述外圈氣壓孔的氣孔密度與所述內(nèi)圈氣壓孔的氣孔密度不相等。
5.如權(quán)利要求4所述的氣浮承載裝置，其特征在于，所述外圈氣壓孔的氣孔密度大于所述內(nèi)圈氣壓孔的氣孔密度。
6.如權(quán)利要求1所述的氣浮承載裝置，其特征在于，所述第一氣孔和所述第二氣孔中分別設(shè)置有氣壓控制螺絲以用于調(diào)節(jié)所述第一氣孔和所述第二氣孔內(nèi)的壓力。
7.如權(quán)利要求1所述的氣浮承載裝置，其特征在于，所述氣浮承載裝置還包括氣路控制部件，所述氣路控制部件連接在所述氣路連接層上遠(yuǎn)離所述承載層的一側(cè)；所述氣路控制部件包括：
氣路連接體，連接在所述氣路連接層上、且設(shè)置有第一氣路接入通道和第二氣路接入通道，所述第一氣路接入通道連通所述第一主導(dǎo)氣管，所述第二氣路接入通道連通所述第二主導(dǎo)氣管；
第一連接管，連通所述第一氣路接入通道；以及
第二連接管，連通所述第二氣路接入通道。
8.如權(quán)利要求7所述的氣浮承載裝置，其特征在于，所述第一氣路接入通道包括第一縱向接入孔和第一橫向接入孔，所述第一縱向接入孔連通所述第一橫向接入孔，所述第一縱向接入孔還連通所述第一主導(dǎo)氣管；
所述第二氣路接入通道包括第二縱向接入孔和第二橫向接入孔，所述第二縱向接入孔連通所述第二橫向接入孔，所述第二縱向接入孔還連通所述第二主導(dǎo)氣管；
所述氣路控制部件還包括第一壓力調(diào)節(jié)閥和第二壓力調(diào)節(jié)閥，所述第一壓力調(diào)節(jié)閥連通所述第一縱向接入孔，所述第二壓力調(diào)節(jié)閥連通所述第二縱向接入孔。
9.如權(quán)利要求8所述的承載設(shè)備，其特征在于，所述第一氣孔和所述第二氣孔中分別設(shè)置有氣壓控制螺絲，以用于控制所述第一氣孔和所述第二氣孔內(nèi)的壓力；所述氣壓控制螺絲的外壁上設(shè)置有外螺紋，所述氣壓控制螺絲通過(guò)所述外螺紋連接在所述第一氣孔和第二氣孔內(nèi)；所述氣壓控制螺絲上還設(shè)置有氣壓控制孔，所述氣壓控制孔連通所述第一氣孔或所述第二氣孔。
10.如權(quán)利要求1所述的承載設(shè)備，其特征在于，所述第一氣孔和所述第二氣孔的孔徑范圍分別為0.03-0.07mm。
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