[發(fā)明專利]氣浮承載裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210353232.X
• 申請日: 2022-04-01
• 公開（公告）號: CN114559382A
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳魯;張龍;方一;張嵩
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00;G01D21/00
• 代理公司: 深圳精智聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44393
• 代理人: 夏聲平

本發(fā)明實施例公開的一種氣浮承載裝置包括：承載層，包括承載面，承載面上設(shè)置第一氣孔、第二氣孔、第一支導(dǎo)氣管和第一主導(dǎo)氣管，第一支導(dǎo)氣管連通第二氣孔；間隔層，與承載層形成第一空腔，第一空腔連通第一氣孔和第一主導(dǎo)氣管；間隔層上設(shè)置第一主導(dǎo)氣管過孔和第一支導(dǎo)氣管過孔，第一主導(dǎo)氣管穿過第一主導(dǎo)氣管過孔，第一支導(dǎo)氣管穿過第一支導(dǎo)氣管過孔；氣路連接層，與間隔層形成第二空腔，第一支導(dǎo)氣管連通第二空腔；氣路連接層設(shè)置第二主導(dǎo)氣管，第二主導(dǎo)氣管連通第二空腔。本發(fā)明提供的氣浮承載裝置通過設(shè)置特定的氣路結(jié)構(gòu)用于對待測件進(jìn)行氣浮承載，能夠?qū)Υ郎y件的不同區(qū)域均勻承載，以提高氣浮承載裝置的承載效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣浮承載裝置。

背景技術(shù)

對待測件(例如為晶圓)進(jìn)行檢測時，需要首先對其進(jìn)行承載，氣浮承載是目前常用的一種承載方式。氣浮承載的承載裝置上設(shè)有正壓出氣區(qū)域以及排氣區(qū)域，正壓出氣區(qū)域用于對待測件進(jìn)行吹浮，然后吹動待測件的氣體通過排氣區(qū)域進(jìn)行排出。

目前市面上的氣浮承載設(shè)備大多在表面邊緣的位置設(shè)置排氣槽，用于排出待測件與氣浮承載設(shè)備之間多余的氣體。然而，這種排氣方式會導(dǎo)致氣浮承載設(shè)備中央?yún)^(qū)域的氣體也需沿著排氣槽從承載設(shè)備的邊緣排出，導(dǎo)致氣浮承載設(shè)備對待測件不同區(qū)域的排氣效果不同，從而影響對待測件的承載效果。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中的至少部分問題，本發(fā)明實施例公開了一種氣浮承載裝置，以提高氣浮承載裝置的承載效果。

一方面，本發(fā)明實施例提供的一種氣浮承載裝置，例如包括：承載層，包括承載面，所述承載面上設(shè)置有第一氣孔、第二氣孔，所述承載層上還設(shè)置有第一支導(dǎo)氣管和第一主導(dǎo)氣管，所述第一支導(dǎo)氣管連通所述第二氣孔；間隔層，連接在所述承載層上遠(yuǎn)離所述承載面的一側(cè)、且與所述承載層形成有第一空腔，所述第一空腔分別連通所述第一氣孔和所述第一主導(dǎo)氣管；所述間隔層上還設(shè)置有第一主導(dǎo)氣管過孔和第一支導(dǎo)氣管過孔，所述第一主導(dǎo)氣管穿過所述第一主導(dǎo)氣管過孔、并延伸至所述間隔層遠(yuǎn)離所述承載層的一側(cè)，所述第一支導(dǎo)氣管穿過所述第一支導(dǎo)氣管過孔、并延伸至所述間隔層遠(yuǎn)離所述承載層的一側(cè)；以及氣路連接層，連接在所述間隔層遠(yuǎn)離所述承載層的一側(cè)、且與所述間隔層形成有第二空腔，所述第一支導(dǎo)氣管連通所述第二空腔；所述氣路連接層還設(shè)置有第二主導(dǎo)氣管、第二主導(dǎo)氣管過孔和第三主導(dǎo)氣管過孔，所述第二主導(dǎo)氣管連通所述第二空腔，所述第一主導(dǎo)氣管貫穿所述第二主導(dǎo)氣管過孔。

本實施例提供的氣浮承載裝置，通過設(shè)置特定的氣路結(jié)構(gòu)以用于對待測件進(jìn)行氣浮承載，能夠?qū)Υ郎y件的不同區(qū)域均勻承載，以提高氣浮承載裝置的承載效果。

在本發(fā)明的一個實施例中，所述第一氣孔、所述第二氣孔、所述第一支導(dǎo)氣管、所述第一支導(dǎo)氣管過孔的數(shù)量分別為多個；所述第一支導(dǎo)氣管和所述第一主導(dǎo)氣管分別設(shè)置在所述承載層上遠(yuǎn)離所述承載面的一側(cè)。

在本發(fā)明的一個實施例中，所述承載面的形狀為圓形；所述多個第一氣孔和所述多個第二氣孔在所述承載面上相互交替設(shè)置、且形成以所述承載面的軸線為中心呈圓環(huán)形分布的多圈氣壓孔。

在本發(fā)明的一個實施例中，所述多圈氣壓孔包括靠近所述承載面邊緣的外圈氣壓孔和靠近所述承載面的軸線的內(nèi)圈氣壓孔，所述外圈氣壓孔的氣孔密度與所述內(nèi)圈氣壓孔的氣孔密度不相等。

在本發(fā)明的一個實施例中，所述外圈氣壓孔的氣孔密度大于所述內(nèi)圈氣壓孔的氣孔密度。

在本發(fā)明的一個實施例中，所述第一氣孔和所述第二氣孔中分別設(shè)置有氣壓控制螺絲以用于調(diào)節(jié)所述第一氣孔和所述第二氣孔內(nèi)的壓力。