[發明專利]Topcon電池制備方法、Topcon電池及去繞鍍槽式清洗機

在審

• 申請號: 202210353011.2
• 申請日: 2022-04-02
• 公開（公告）號: CN114784140A
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發明（設計）人: 吳帥;張鵬程;張東威;陳晨;袁隕來;葉楓;王建波;呂俊
• 申請（專利權）人: 西安隆基樂葉光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/068;H01L21/67
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 趙娟

1.一種Topcon電池制備方法，其特征在于，所述方法包括：

提供硅片，所述硅片包括正面和與所述正面相對的背面，以及連接所述正面和所述背面的側面；

在所述正面制備硼摻雜層，以及在所述背面依次制備隧穿氧化層和磷摻雜多晶硅層，其中，在制備所述隧穿氧化層的過程中形成繞鍍在所述側面的隧穿氧化層，以及在制備所述磷摻雜多晶硅層的過程中形成繞鍍在所述側面的所述隧穿氧化層外由外向內的磷硅玻璃層、磷摻雜多晶硅層和位于所述側面穿過所述遂穿氧化層的磷內擴層；

去除繞鍍的所述磷硅玻璃層、繞鍍的所述磷摻雜多晶硅層、繞鍍的所述隧穿氧化層；

采用臭氧、氫氟酸的混合溶液對所述硅片進行清洗，以去除所述側面的所述磷內擴層。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述混合溶液中所述臭氧的質量分數為0.025-0.065‰。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述混合溶液中所述氫氟酸的質量分數為0.0027-0.0068‰。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述清洗的清洗時間為180-250秒。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述去除繞鍍的所述磷硅玻璃層、繞鍍的所述磷摻雜多晶硅層、繞鍍的所述隧穿氧化層，包括：

去除繞鍍在所述正面、所述側面的磷硅玻璃層；

去除繞鍍在所述正面、所述側面的所述磷摻雜多晶硅層；

去除繞鍍在所述正面、所述側面的所述隧穿氧化層，繞鍍在所述正面的所述硼硅玻璃層，以及繞鍍在所述背面的所述磷硅玻璃層。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用臭氧、氫氟酸的混合溶液對所述硅片進行清洗，以去除所述側面的所述磷內擴層之后，還包括：

在所述正面和所述背面制備鈍化膜；

在所述正面和所述背面制備電極。

7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用臭氧、氫氟酸的混合溶液對所述硅片進行清洗，以去除所述側面的所述磷內擴層之前，還包括：

采用氫氧化鉀、過氧化氫對所述硅片進行處理；

所述采用臭氧、氫氟酸的混合溶液對所述硅片進行清洗，以去除所述側面的所述磷內擴層之后，還包括：

對所述硅片進行脫水處理。

8.一種Topcon電池，其特征在于，所述Topcon電池采用前述權利要求1-7任一所述的Topcon電池制備方法制備得到；

所述Topcon電池的正面為圓角金字塔結構。

9.一種去繞鍍槽式清洗機，其特征在于，所述去繞鍍槽式清洗機包括順序設置的第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽，所述第一清洗槽配置有氫氧化鉀溶液，所述第二清洗槽配置有氫氟酸溶液，所述第三清洗槽配置有臭氧、氫氟酸的混合溶液；

所述去繞鍍槽式清洗機用于前述權利要求1-7任一所述的Topcon電池制備方法。

10.根據權利要求9所述的去繞鍍槽式清洗機，其特征在于，所述第一清洗槽用于去除繞鍍在所述正面、所述側面的所述磷摻雜多晶硅層；

所述第二清洗槽用于去除繞鍍在所述正面、所述側面的所述隧穿氧化層，繞鍍在所述正面的所述硼硅玻璃層，以及繞鍍在所述背面的所述磷硅玻璃層；

所述第三清洗槽用于采用臭氧、氫氟酸的混合溶液對所述硅片進行清洗，以去除所述側面的所述磷內擴層。