[發明專利]一種干膜抗蝕劑、感光干膜和覆銅板

在審

• 申請號: 202210346902.5
• 申請日: 2022-04-02
• 公開（公告）號: CN114660895A
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 袁麗;朱高華;吳佳豐;韓傳龍;李偉杰
• 申請（專利權）人: 杭州福斯特電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/027
• 分類號: G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/11;H05K3/02
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 金田蘊

1.一種干膜抗蝕劑，其特征在于，包括堿可溶性樹脂、光聚合單體、光引發劑和銅絡合物，所述銅絡合物中與銅形成絡合物的化合物包括有氮雜環化合物，所述光聚合單體中含有EO鏈段和PO鏈段，所述EO鏈段表示氧亞乙基，所述PO鏈段表示氧亞丙基。

2.根據權利要求1所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，所述銅絡合物中與銅形成絡合物的化合物同時含有氮雜環和巰基，優選所述銅絡合物中與銅形成絡合物的化合物具有結構式I或II所示的結構的任意一種或者多種，

所述結構式I或II中，X為1～3個碳原子，或者1～2個氮原子，或者一個碳原子與一個氮原子，碳原子和/或氮原子由單鍵或者雙鍵結連接；Y選自氧原子、硫原子、碳原子、氮原子中的一種或者多種，所述X、所述Y和-C＝NH-形成的環上的氫原子可以被羧基、氨基、C₁～C₁₂的烷基、C₁～C₁₂的烷氧基、C₆～C₁₂的芳香基、肼基中的任意一種或者多種取代；M選自單鍵、C₁～C₁₂的烷基、C₁～C₁₂的酯基或者C₂～C₁₂的醚基；

所述結構式II中，X、Y、Z所組成的環為苯環或者雜環，苯環和所述雜環上可以帶有C₁～C₆烷基、C₁～C₆的烷氧基、氨基、羧酸、硝基和鹵素中的任意一種或者多種；

進一步優選，所述銅絡合物中與銅形成絡合物的化合物選自巰基嘧啶、4,6-二氨基-2-巰基嘧啶、巰基咪唑、巰基苯并咪唑、2-巰基-5-羧基苯并咪唑、2-巰基-5-硝基苯并咪唑、2-巰基-5-氨基苯并咪唑、2-巰基苯并咪唑-4-甲酸、巰基苯并噻唑、3-巰基吲哚、1,3,5-三(巰乙基)-1,3,5-三嗪-2,4,6-三酮、巰基嘌呤、6-硫鳥嘌呤、三聚硫氰酸、2,6-二巰基嘌呤、4-硫脲嘧啶、2-巰基苯并噁唑、4,6-二氨基-2,6-巰基嘧啶、4-硫脲尿嘧啶、2-巰基-4-羥基-5,6-二氨基嘧啶、4,6-二甲基-2-巰基嘧啶、二硫代脲、2-巰基吡嗪、3,6-二巰基噠嗪、2-巰基咪唑、2-巰基噻唑、8-巰基腺嘌呤、4-硫尿嘧啶、巰基三氮唑、3-巰基-1,2,4-三氮唑二巰基化物、3-氨基-5-巰基-1,2,4-三氮唑、4-甲基-4H-3-巰基-1,2,4-三氮唑、3-氨基-5-巰基-1,2,4-三氮唑、3-巰基-1,2,4-三氮唑、6,7-二氫-6-巰基-5H-吡唑并[1,2-α][1,2,4]三氮氯化物、4-氨基-3-肼基-5-巰基-1,2,4-三氮唑、1-甲基-5-巰基-1H-四氮唑、1-羥乙基-5-巰基-1H-四氮唑、1-(2-二甲基氨基乙基)-1H-5-巰基-四氮唑、1-苯基-5-巰基四氮唑、1,2-二氫-1-(4-甲氧基苯基)-5H-四氮-5-硫酮、1-乙基-5-巰基-1,2,3,4-四氮唑、5-巰基-H-四氮唑-1-乙酸、5-巰基-1,2,3,4-四氮唑-1-甲基磺酸、1-(3-乙酰胺基)苯基-5-巰基四氮唑、1-(4-羥基苯基)-5-巰基四氮唑、1-(4-乙氧基苯基)-1,2-二氫-5H-四唑-5-硫酮、1-(4-羧苯基)-5-巰基-1H-四唑和4-氨基-2-巰基嘧啶中的任意一種或者多種。

3.根據權利要求1所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，以重量份計，所述干膜抗蝕劑包含堿可溶性樹脂40～65重量份，光聚合單體35～60重量份，光引發劑2.0～4.5重量份和銅絡合物0.01～0.5重量份。