[發明專利]用于硅盤的加工方法和硅盤加工設備在審
| 申請號： | 202210333827.9 | 申請日： | 2022-03-30 |
| 公開（公告）號： | CN114670347A | 公開（公告）日： | 2022-06-28 |
| 發明（設計）人： | 全宰弘 | 申請（專利權）人： | 亞新半導體科技（無錫）有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京瀚仁知識產權代理事務所(普通合伙) 11482 | 代理人： | 周春梅 |
| 地址： | 214028 江蘇省無錫市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 加工 方法 設備 | ||
1.一種用于硅盤的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：
借助磁吸力將所述硅盤固定在磁力式工作臺面上；
對所述硅盤的遠離所述磁力式工作臺面的第一表面進行加工，使得加工后的所述第一表面滿足第一預定要求；
將所述硅盤移至真空式工作臺面以使加工后的所述第一表面朝向所述真空式工作臺面，并且借助真空吸力將所述硅盤固定在所述真空式工作臺面上；
對所述硅盤的與所述第一表面相對的第二表面進行加工，使得加工后的所述第二表面滿足第二預定要求。
2.根據權利要求1所述的用于硅盤的加工方法，其特征在于，所述“借助磁吸力將所述硅盤固定在磁力式工作臺面上”的步驟包括：
將所述硅盤放置在所述磁力式工作臺面上以使所述第二表面朝向所述磁力式工作臺面；
將多個磁力限位件沿所述硅盤的外周彼此間隔地布置在所述磁力式工作臺面上，并將每個所述磁力限位件抵靠在所述硅盤的外周邊緣上；和
控制所述磁力式工作臺面下的電磁鐵開啟，以便向所述磁力限位件施加預加磁吸力。
3.根據權利要求2所述的用于硅盤的加工方法，其特征在于，每個磁力限位件具有沿所述外周邊緣延伸的弧形本體，在所述弧形本體的面向所述外周邊緣的弧形側壁上形成有朝向所述外周邊緣延伸并可抵靠在所述外周邊緣上的柔性限位條。
4.根據權利要求3所述的用于硅盤的加工方法，其特征在于，在所述弧形側壁上形成有沿所述外周邊緣延伸的凹槽，并且所述凹槽配置成可接納所述柔性限位條。
5.根據權利要求3或4所述的用于硅盤的加工方法，其特征在于，所述柔性限位條由硅膠材質或橡膠材質加工而成。
6.根據權利要求1所述的用于硅盤的加工方法，其特征在于，在所述磁力式工作臺面中還設有多個相互平行且均勻間隔的隔磁層。
7.根據權利要求1所述的用于硅盤的加工方法，其特征在于，所述“借助真空吸力將所述硅盤固定在所述真空式工作臺面上”的步驟包括：
控制與所述真空式工作臺面相連的真空設備開啟；
保持所述真空設備以預定氣壓運行。
8.根據權利要求7所述的用于硅盤的加工方法，其特征在于，所述預定氣壓的范圍為-80Kpa～-65Kpa。
9.一種硅盤加工設備，其特征在于，所述硅盤加工設備包括：
磁力式工作臺，所述磁力式工作臺具有用于承載并借助磁吸力固定所述硅盤的磁力式工作臺面，并且所述磁力式工作臺面適于與所述硅盤的未加工的第二表面相抵靠。
10.一種硅盤加工設備，其特征在于，所述硅盤加工設備包括：
真空式工作臺，所述真空式工作臺具有用于承載并借助于真空吸力固定所述硅盤的真空式工作臺面，并且所述真空式工作臺面用于與所述硅盤的加工后的第一表面相抵靠。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于亞新半導體科技（無錫）有限公司，未經亞新半導體科技（無錫）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210333827.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
