[發(fā)明專利]一種適用于翹曲晶圓取放的機(jī)械手結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210333082.6
• 申請(qǐng)日: 2022-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN114420623B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段成龍;邢瑩;胡曉霞;周豪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三河建華高科有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 武漢世躍專利代理事務(wù)所(普通合伙) 42273
• 代理人: 萬仲達(dá)

本發(fā)明公開了一種適用于翹曲晶圓取放的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，包括機(jī)械手底板，所述機(jī)械手底板頂部的正面一端設(shè)置有副手臂，所述副手臂頂部的中間位置處設(shè)置有真空管路接頭，所述副手臂頂部的背面一端設(shè)置有微型氣缸，所述微型氣缸的一側(cè)設(shè)置有微型氣缸用壓縮空氣管路接頭。本發(fā)明通過機(jī)械手底板上設(shè)置有弧形的真空吸附倉上設(shè)置有多組真空吸附頭，在第二彈簧的作用下，將真空吸附頭進(jìn)行頂出，使得真空吸附頭伸縮長度可以靈活的改變，使得多組真空吸附頭皆能夠與翹曲嚴(yán)重的晶圓表面進(jìn)行貼合，保證真空吸附頭之間與翹曲嚴(yán)重的晶圓不存在漏氣的情況發(fā)生，保證真空吸附的機(jī)械手底板真空穩(wěn)定，牢固的吸附晶圓，防止晶圓的晃動(dòng)造成的跌落。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體分立器件、GPP芯片的電參數(shù)測試及分析技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種適用于翹曲晶圓取放的機(jī)械手結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

隨著設(shè)備自動(dòng)化程度越來越高，全自動(dòng)探針臺(tái)設(shè)備逐漸代替需要人工上下料的半自動(dòng)探針臺(tái)，且全自動(dòng)探針臺(tái)具有測試效率高、操作人員人工成本低等優(yōu)點(diǎn)；每個(gè)廠家待測晶圓的厚度及加工工藝不同，導(dǎo)致待測晶圓的表面平整度不一樣，平整度較好的晶圓可以輕松的吸附在取片機(jī)械手上。

但是現(xiàn)有的機(jī)械手結(jié)構(gòu)存在一定不足：

1、在對(duì)翹曲嚴(yán)重的晶圓，由于真空口較少，且部分真空口不與晶圓貼合，導(dǎo)致不能很好通過機(jī)械手真空通道可靠的吸附，使得真空吸附時(shí)造成吸附力較小，造成翹曲嚴(yán)重的晶圓與機(jī)械手之間很容易出現(xiàn)晃動(dòng)，容易造成晶圓的摔落；

2、同時(shí)在將翹曲嚴(yán)重的晶圓放置在機(jī)械手上時(shí)，需要通過人工推動(dòng)晶圓，將其與機(jī)械手進(jìn)行很好的貼合，以便保證真空吸附時(shí)，保證不漏氣具有很好的吸附力，導(dǎo)致操作人員的工作量增大；

3、同時(shí)在將晶圓放置在機(jī)械手上時(shí)，需要將整體的重心落在機(jī)械手上，這樣可以使得晶圓在機(jī)械手上具有穩(wěn)定的支撐，但是現(xiàn)有的存在定位的機(jī)構(gòu)，導(dǎo)致一部分晶圓放置在機(jī)械手上，出現(xiàn)偏移，使得晶圓的重心落在機(jī)械手之外，很容易導(dǎo)致對(duì)晶圓吸附需要更大的力，更加容易摔落。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種適用于翹曲晶圓取放的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的相關(guān)問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種適用于翹曲晶圓取放的機(jī)械手結(jié)構(gòu)，包括機(jī)械手底板，所述機(jī)械手底板頂部的正面一端設(shè)置有副手臂，所述副手臂頂部的中間位置處設(shè)置有真空管路接頭，所述副手臂頂部的背面一端設(shè)置有微型氣缸，所述微型氣缸的一側(cè)設(shè)置有微型氣缸用壓縮空氣管路接頭，所述微型氣缸的輸出端設(shè)置有壓縮空氣吹氣板，所述壓縮空氣吹氣板的底部設(shè)置有吹氣板用壓縮空氣管路接頭，所述機(jī)械手底板的兩側(cè)設(shè)置有定位組件，所述機(jī)械手底板頂部的中間位置處設(shè)置有真空吸附組件，所述機(jī)械手底板底部的中間位置處設(shè)置有真空通道，所述機(jī)械手底板的底部設(shè)置有機(jī)械手蓋板。

優(yōu)選的，所述定位組件包括滑槽、第一齒條、安裝框、滑塊、通槽、定位桿、第二齒條、第一彈簧和支撐桿，所述滑槽設(shè)置有兩組分別位于機(jī)械手底板的兩側(cè)，所述滑槽的內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有滑塊，兩組所述滑塊的一側(cè)設(shè)置有支撐桿，所述支撐桿的內(nèi)部設(shè)置有通槽，所述通槽內(nèi)部的底部設(shè)置有第一齒條，所述支撐桿頂部的一側(cè)設(shè)置有定位桿，所述通槽的內(nèi)部滑動(dòng)設(shè)置有安裝框，所述安裝框的底部滑動(dòng)設(shè)置有第二齒條，所述第二齒條頂部的兩側(cè)設(shè)置有第一彈簧。

優(yōu)選的，所述真空吸附組件包括真空吸附倉、第二彈簧、真空吸附頭和進(jìn)氣口，所述真空吸附倉頂部的中間位置處，所述真空吸附倉的正面一端設(shè)置有進(jìn)氣口，所述真空吸附倉的頂部滑動(dòng)設(shè)置有真空吸附頭，所述真空吸附頭的外側(cè)套設(shè)有第二彈簧。

優(yōu)選的，所述壓縮空氣吹氣板包括吹氣底板、吹氣蓋板、壓縮空氣口和壓縮空氣通道，所述吹氣底板位于微型氣缸的輸出端，所述吹氣底板的內(nèi)部設(shè)置有壓縮空氣通道，所述壓縮空氣通道底部的一端設(shè)置有壓縮空氣口，所述吹氣底板的頂部設(shè)置有吹氣蓋板。

優(yōu)選的，所述副手臂內(nèi)部的中間位置處設(shè)置有接頭安裝口，所述真空管路接頭與接通安裝口相互適配，且接頭安裝口與壓縮空氣吹氣板的內(nèi)部相互連通。