[發明專利]一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構

有效

• 申請號: 202210333082.6
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN114420623B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發明（設計）人: 段成龍;邢瑩;胡曉霞;周豪
• 申請（專利權）人: 三河建華高科有限責任公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 武漢世躍專利代理事務所(普通合伙) 42273
• 代理人: 萬仲達

1.一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，包括機械手底板（1），其特征在于：所述機械手底板（1）頂部的一端設置有副手臂（6），所述副手臂（6）頂部的中間位置處設置有真空管路接頭（5），所述副手臂（6）頂部的一端設置有微型氣缸（4），所述微型氣缸（4）的一側設置有微型氣缸用壓縮空氣管路接頭（7），所述微型氣缸（4）的輸出端設置有壓縮空氣吹氣板（9），所述壓縮空氣吹氣板（9）的底部設置有吹氣板用壓縮空氣管路接頭（8），所述機械手底板（1）的兩側設置有定位組件（2），所述機械手底板（1）頂部的中間位置處設置有真空吸附組件（3），所述機械手底板（1）底部的中間位置處設置有真空通道（10），所述機械手底板（1）的底部設置有機械手蓋板（11），

其中，所述定位組件（2）包括滑槽（201）、第一齒條（202）、安裝框（203）、滑塊（204）、通槽（205）、定位桿（206）、第二齒條（207）、第一彈簧（208）和支撐桿（209），所述滑槽（201）設置有兩組且分別位于機械手底板（1）的兩側，所述滑槽（201）的內部滑動設置有滑塊（204），兩組所述滑塊（204）的一側分別設置有支撐桿（209），所述支撐桿（209）的內部設置有通槽（205），所述通槽（205）內部的底部設置有第一齒條（202），所述支撐桿（209）頂部的一側設置有定位桿（206），所述通槽（205）的內部滑動設置有安裝框（203），所述安裝框（203）的底部滑動設置有第二齒條（207），所述第二齒條（207）頂部的兩側設置有第一彈簧（208）。

2.根據權利要求1所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述真空吸附組件（3）包括真空吸附倉（301）、第二彈簧（302）、真空吸附頭（303）和進氣口（304），所述真空吸附倉（301）設置在所述機械手底板（1）頂部的中間位置處，所述真空吸附倉（301）的正面一端設置有進氣口（304），所述真空吸附倉（301）的頂部滑動設置有真空吸附頭（303），所述真空吸附頭（303）的外側套設有第二彈簧（302）。

3.根據權利要求1所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述壓縮空氣吹氣板（9）包括吹氣底板（901）、吹氣蓋板（902）、壓縮空氣口（903）和壓縮空氣通道（904），所述吹氣底板（901）位于微型氣缸（4）的輸出端，所述吹氣底板（901）的內部設置有壓縮空氣通道（904），所述壓縮空氣通道（904）底部的一端設置有壓縮空氣口（903），所述吹氣底板（901）的頂部設置有吹氣蓋板（902）。

4.根據權利要求1所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述副手臂（6）內部的中間位置處設置有接頭安裝口，所述真空管路接頭（5）與接通安裝口相互適配，且接頭安裝口與壓縮空氣吹氣板（9）的內部相互連通。

5.根據權利要求1所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述安裝框（203）靠近機械手底板（1）一側的一端設置有連接桿，且連接桿與機械手底板（1）固定連接。

6.根據權利要求2所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述真空吸附頭（303）外側的頂部套設有橡膠圈，所述真空吸附頭（303）外側的底部設置有環形凸起。

7.根據權利要求2所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述真空吸附倉（301）的內部通過進氣口（304）與真空通道（10）的內部相互連接。

8.根據權利要求1所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述副手臂（6）頂部遠離微型氣缸（4）的一端設置有四組安裝槽。

9.根據權利要求1所述的一種適用于翹曲晶圓取放的機械手結構，其特征在于：所述機械手底板（1）頂部遠離副手臂（6）一端的兩側設置有橡膠墊片。