[發(fā)明專利]氧化鋁拋光液及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210324896.3
• 申請(qǐng)日: 2022-03-29
• 公開（公告）號(hào): CN114456718A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄒興;蔡文必;林武慶
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): C09G1/02
• 分類號(hào): C09G1/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 姚大雷

本發(fā)明涉及拋光液技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及氧化鋁拋光液及其制備方法；氧化鋁拋光液的制備原料包括：氧化鋁微粉、α萘酚聚氧乙烯醚、多元醇、羧酸鈉鹽、消泡劑和pH調(diào)節(jié)劑；其中，pH調(diào)節(jié)劑包括有機(jī)堿和無機(jī)堿的復(fù)配混合物。本發(fā)明的氧化鋁拋光液的制備方法包括：向用多元醇配置的溶液中添加羧酸鈉鹽；再添加氧化鋁微粉；再添加α萘酚聚氧乙烯醚和消泡劑。本發(fā)明的氧化鋁拋光液有利于得到表面質(zhì)量較好的碳化硅晶片。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及拋光液技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及氧化鋁拋光液及其制備方法。

背景技術(shù)

碳化硅單晶具有優(yōu)良的光學(xué)、物理和介電性能，在光電子、通訊、國防、新能源汽車等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。但碳化硅的硬度高，能夠達(dá)到莫氏硬度9.5級(jí)，其極難被拋光。

相關(guān)技術(shù)提供了化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)(Chemical Mechanical Polishing，CMP)，其是一種屬于化學(xué)作用和機(jī)械作用相結(jié)合的拋光技術(shù)；在使用化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)時(shí)，磨料硬度、分散程度、pH值、拋光液的流動(dòng)性和拋光液自身的性質(zhì)等都具有重要的影響。

相關(guān)技術(shù)提供的拋光液不利于得到較好的表面質(zhì)量的碳化硅晶片。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供氧化鋁拋光液及其制備方法，該氧化鋁拋光液有利于得到表面質(zhì)量較好的碳化硅晶片。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的：

第一方面，本發(fā)明提供一種氧化鋁拋光液，包括氧化鋁微粉、α萘酚聚氧乙烯醚、多元醇、羧酸鈉鹽、消泡劑、pH調(diào)節(jié)劑和溶劑，且按照重量份計(jì)，氧化鋁拋光液包括：

10-30份氧化鋁微粉、0.02-2份α萘酚聚氧乙烯醚、40-85份多元醇、0.01-2份羧酸鈉鹽、0.01-2份消泡劑和1-2份pH調(diào)節(jié)劑；

其中，pH調(diào)節(jié)劑包括有機(jī)堿和無機(jī)堿的復(fù)配混合物；

所述溶劑為水。

在可選的實(shí)施方式中，有機(jī)堿包括四甲基氫氧化銨、三乙醇胺和單乙醇胺的混合溶液，無機(jī)堿包括濃度為1mol/L的氫氧化鉀溶液；

優(yōu)選地，四甲基氫氧化銨、三乙醇胺和單乙醇胺的質(zhì)量比為1:2:3，其中，四甲基氫氧化銨的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10％，三乙醇胺的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為97％，單乙醇胺的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為99.8％；

優(yōu)選地，混合溶液和氫氧化鉀溶液的質(zhì)量比為1:3。

在可選的實(shí)施方式中，氧化鋁微粉包括α相4N級(jí)氧化鋁微粉。

在可選的實(shí)施方式中，氧化鋁微粉的粒徑為0.1-0.3μm。

在可選的實(shí)施方式中，多元醇包括乙二醇、丙二醇和甘油中的至少一種。

在可選的實(shí)施方式中，消泡劑包括非硅型消泡劑、聚醚型消泡劑、有機(jī)硅型消泡劑和聚醚改性有機(jī)硅型消泡劑中的至少一種。

在可選的實(shí)施方式中，羧酸鈉鹽包括脫氫乙酸鈉、苯甲酸鈉和雙乙酸鈉中的至少一者。

在可選的實(shí)施方式中，氧化鋁拋光液的pH值為12-13。

第二方面，本發(fā)明提供一種前述實(shí)施方式任一項(xiàng)的氧化鋁拋光液的制備方法，包括：向用多元醇與水混合配置的溶液中添加羧酸鈉鹽；

添加氧化鋁微粉；

添加α萘酚聚氧乙烯醚和消泡劑；

用pH調(diào)節(jié)劑調(diào)節(jié)pH值為堿性。

在可選的實(shí)施方式中，氧化鋁拋光液的制備方法還包括：用pH調(diào)節(jié)劑調(diào)節(jié)pH值的步驟，包括：滴加pH調(diào)節(jié)劑，直到溶液的pH值為12-13。

本發(fā)明具有以下有益效果：