[發明專利]氧化鋁拋光液及其制備方法在審
| 申請號： | 202210324896.3 | 申請日： | 2022-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN114456718A | 公開（公告）日： | 2022-05-10 |
| 發明（設計）人： | 鄒興;蔡文必;林武慶 | 申請（專利權）人： | 湖南三安半導體有限責任公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 姚大雷 |
| 地址： | 410000 湖南省長沙市高新開發*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氧化鋁 拋光 及其 制備 方法 | ||
1.一種氧化鋁拋光液，其特征在于，包括氧化鋁微粉、α萘酚聚氧乙烯醚、多元醇、羧酸鈉鹽、消泡劑、pH調節劑和溶劑，且按照重量份計，所述氧化鋁拋光液包括：
10-30份所述氧化鋁微粉、0.02-2份所述α萘酚聚氧乙烯醚、40-85份所述多元醇、0.01-2份所述羧酸鈉鹽、0.01-2份所述消泡劑和1-2份所述pH調節劑；
其中，所述pH調節劑包括有機堿和無機堿的復配混合物；
所述溶劑為水。
2.根據權利要求1所述的氧化鋁拋光液，其特征在于，所述有機堿包括四甲基氫氧化銨、三乙醇胺和單乙醇胺的混合溶液，所述無機堿包括濃度為1mol/L的氫氧化鉀溶液；
優選地，所述四甲基氫氧化銨、所述三乙醇胺和所述單乙醇胺的質量比為1:2:3，其中，所述四甲基氫氧化銨的質量分數為10％，所述三乙醇胺的質量分數為97％，所述單乙醇胺的質量分數為99.8％；
優選地，所述混合溶液和所述氫氧化鉀溶液的質量比為1:3。
3.根據權利要求1所述的氧化鋁拋光液，其特征在于，所述氧化鋁微粉包括α相4N級氧化鋁微粉。
4.根據權利要求1-3任一項所述的氧化鋁拋光液，其特征在于，所述氧化鋁微粉的粒徑為0.1-0.3μm。
5.根據權利要求1-3任一項所述的氧化鋁拋光液，其特征在于，所述多元醇包括乙二醇、丙二醇和甘油中的至少一種。
6.根據權利要求1-3任一項所述的氧化鋁拋光液，其特征在于，所述消泡劑包括非硅型消泡劑、聚醚型消泡劑、有機硅型消泡劑和聚醚改性有機硅型消泡劑中的至少一種。
7.根據權利要求1-3任一項所述的氧化鋁拋光液，其特征在于，所述羧酸鈉鹽包括脫氫乙酸鈉、苯甲酸鈉和雙乙酸鈉中的至少一者。
8.根據權利要求1-3任一項所述的氧化鋁拋光液，其特征在于，所述氧化鋁拋光液的pH值為12-13。
9.一種權利要求1-7任一項所述的氧化鋁拋光液的制備方法，其特征在于，包括：向用所述多元醇與所述水混合配置的溶液中添加所述羧酸鈉鹽；
添加所述氧化鋁微粉；
添加所述α萘酚聚氧乙烯醚和所述消泡劑；
用所述pH調節劑調節pH值為堿性。
10.根據權利要求9所述的氧化鋁拋光液的制備方法，其特征在于，所述用所述pH調節劑調節pH值的步驟，包括：滴加所述pH調節劑，直到溶液的pH值為12-13。
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