[發明專利]一種CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法

在審

• 申請號: 202210313884.0
• 申請日: 2022-03-28
• 公開（公告）號: CN114669788A
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 李亞軍;趙浩
• 申請（專利權）人: 蕪湖通潮精密機械股份有限公司
• 主分類號: B23C3/28
• 分類號: B23C3/28;B23C5/10;B23Q5/04;B23Q11/00;B23Q11/10
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 曹政

本發明公開了一種CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法，將截面形狀和背板密封燕尾槽一致的燕尾刀替換至開粗燕尾刀和精加工燕尾刀，解決加工時產生的鋁屑的排出難題，避免鋁屑排不出擠壓刀具至刀具斷裂、發生產品過切，擠壓加工后的表面凹凸不平，燕尾槽表面粗糙度偏高導致密封條極易磨損等現象，提升密封效果。

技術領域

本發明屬于機械加工技術領域，尤其涉及一種CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法。

背景技術

在實現本發明的過程中，發明人發現現有技術至少存在以下問題：

隨著市場對液晶顯示器需求的增長，相關生產設備的需求也隨之增長。而背板正是CVD機臺的一個核心部件。在生產過程中，清潔氣體通過背板進入反應室，擴散到整個腔室。而腔室的密封是通過背板背面臺階一圈燕尾槽安裝O型圈后與CVD機臺緊固后達到密封效果。為了防止O型圈在使用過程中脫落導致氣體泄漏，腔室氣流異常，最終結果導致產品報廢。

傳統加工方法存在以下問題：背板密封燕尾槽形狀上窄下寬，上部最小寬度為5mm左右，底部最大寬度為8mm左右。傳統的加工方法是先使用3-7mm的立銑刀在背板密封燕尾槽端面方向用底刃以螺旋下降的方式加工出直徑和背板密封燕尾槽底部最大寬度的下刀孔，再使用截面形狀和背板密封燕尾槽一致的燕尾刀在下刀孔下刀，采用輪廓銑削的方式依據背板密封燕尾槽中心線直接成型，但由于背板密封燕尾槽形狀上窄下寬的特性，使用截面形狀和背板密封燕尾槽一致的燕尾刀在加工時產生的鋁屑的排出是一大難題，所以加工過程中很容易發生鋁屑排不出擠壓刀具至刀具斷裂、擠壓加工后的表面至表面凹凸不平，隨后導致達不到密封效果，而且和背板密封燕尾槽底部最大寬度的下刀孔出會影響密封效果，最后導致產品報廢，刀具、原材料成本上升，浪費了大量的時間和成本。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種解決加工時產生的鋁屑的排出難題，避免鋁屑排不出擠壓刀具至刀具斷裂、發生產品過切，擠壓加工后的表面凹凸不平，燕尾槽表面粗糙度偏高導致密封條極易磨損等現象，提升密封效果的CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法。

為了解決上述技術問題，本發明所采用的技術方案是：一種CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法，包括如下步驟：

1)使用3-5mm的立銑刀在背板密封燕尾槽端面方向用底刃以轉速6000r/min以上、進給500-1500mm/min螺旋下降的方式加工出直徑和精加工燕尾刀直徑相同大小的下刀孔到燕尾槽底部，刀具以每圈0.1-0.3mm吃刀量，螺旋的方式接觸工件，且加工的孔直徑小于燕尾槽底端直徑；

2)再次使用3-5mm的立銑刀在下刀孔下刀，采用輪廓銑削的方式用底刃以轉速7500r/min以上、進給1000-2000mm/min依據背板密封燕尾槽中心線以每圈0.2-0.5mm吃刀量漸降的方式對燕尾槽進行首次開粗，直至加工至燕尾槽底部，底部留余量0.05mm精加工，加工時使用刀具底刃；

3)使用3-5mm的立銑刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，底部留余量0.05mm精加工，采用輪廓銑削的方式以轉速7500r/min以上、進給800-1500mm/min依據背板密封燕尾槽上部內、外兩處外形以每次0.1-0.3mm吃刀量恒定的方式加工側面進行二次開粗，加工后的寬度為燕尾槽上部外形單邊余量0.05mm；

4)使用開粗燕尾刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，底部留余量0.9mm，采用輪廓銑削的方式以轉速8000r/min以上、進給800-1600mm/min依據背板密封燕尾槽上部內、外兩處外形以每次0.05-0.15mm吃刀量恒定的方式加工側面進行半精加工，加工后的燕尾槽上部寬度為燕尾槽上部外形單邊余量0.03mm；

5)使用精加工燕尾刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，采用輪廓銑削的方式以轉速8000r/min以上、進給800-1200mm/min依據背板密封燕尾槽上部內、外兩處外形以每次0.03-0.06mm恒定的方式加工側面進行二次精加工，加工后的燕尾槽上部寬度為燕尾槽上部外形單邊余量0.01mm；