[發明專利]一種CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法

在審

• 申請號: 202210313884.0
• 申請日: 2022-03-28
• 公開（公告）號: CN114669788A
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發明（設計）人: 李亞軍;趙浩
• 申請（專利權）人: 蕪湖通潮精密機械股份有限公司
• 主分類號: B23C3/28
• 分類號: B23C3/28;B23C5/10;B23Q5/04;B23Q11/00;B23Q11/10
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 曹政

1.一種CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法，其特征在于，包括如下步驟：

1)使用3-5mm的立銑刀在背板密封燕尾槽端面方向用底刃以轉速6000r/min以上、進給500-1500mm/min螺旋下降的方式加工出直徑和精加工燕尾刀直徑相同大小的下刀孔到燕尾槽底部，刀具以每圈0.1-0.3mm吃刀量，螺旋的方式接觸工件，且加工的孔直徑小于燕尾槽底端直徑；

2)再次使用3-5mm的立銑刀在下刀孔下刀，采用輪廓銑削的方式用底刃以轉速7500r/min以上、進給1000-2000mm/min依據背板密封燕尾槽中心線以每圈0.2-0.5mm吃刀量漸降的方式對燕尾槽進行首次開粗，直至加工至燕尾槽底部，底部留余量0.05mm精加工，加工時使用刀具底刃；

3)使用3-5mm的立銑刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，底部留余量0.05mm精加工，采用輪廓銑削的方式以轉速7500r/min以上、進給800-1500mm/min依據背板密封燕尾槽上部內、外兩處外形以每次0.1-0.3mm吃刀量恒定的方式加工側面進行二次開粗，加工后的寬度為燕尾槽上部外形單邊余量0.05mm；

4)使用開粗燕尾刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，底部留余量0.9mm，采用輪廓銑削的方式以轉速8000r/min以上、進給800-1600mm/min依據背板密封燕尾槽上部內、外兩處外形以每次0.05-0.15mm吃刀量恒定的方式加工側面進行半精加工，加工后的燕尾槽上部寬度為燕尾槽上部外形單邊余量0.03mm；

5)使用精加工燕尾刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，采用輪廓銑削的方式以轉速8000r/min以上、進給800-1200mm/min依據背板密封燕尾槽上部內、外兩處外形以每次0.03-0.06mm恒定的方式加工側面進行二次精加工，加工后的燕尾槽上部寬度為燕尾槽上部外形單邊余量0.01mm；

6)再次使用精加工燕尾刀在下刀孔下刀至燕尾槽底部，采用輪廓銑削的方式以轉速8000r/min以上、進給400-800mm/min依據背板密封燕尾槽上部內、外兩處外形完成最終燕尾槽成型。

2.如權利要求1所述的CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法，其特征在于，所述燕尾槽頂部直徑5mm，底部直徑8.5mm，燕尾角度48°；所述粗加工燕尾刀尖部直徑5mm、角度48°，精加工燕尾刀直徑7.5mm、角度48°。

3.如權利要求1所述的CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法，其特征在于，第1)～2)步中，加工過程中使用20-30bar水冷和0.6-0.8MPa氣冷相結合，即刻清除加工過程中產生的鋁屑。

4.如權利要求2所述的CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法，其特征在于，第3)～6)步中，加工過程中使用20-30bar水冷清除加工過程中產生的鋁屑。

5.如權利要求3所述的CVD背板密封燕尾槽銑削加工方法，其特征在于，最終加工出的燕尾槽表面粗糙度在Ra0.8以內。