[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體晶圓熱氧化層生成設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210311923.3 | 申請日： | 2022-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN114892279A | 公開（公告）日： | 2022-08-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王鵬輝;吳禹凡 | 申請（專利權(quán)）人： | 太原市致科勝工業(yè)設(shè)計有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/00 | 分類號： | C30B33/00;C30B33/02;C30B29/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 滄州市宏科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 13134 | 代理人： | 喻慧玲 |
| 地址： | 030024 山西省太原市萬柏*** | 國省代碼： | 山西;14 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 晶圓熱 氧化 生成 設(shè)備 | ||
1.一種半導(dǎo)體晶圓熱氧化層生成設(shè)備，其特征在于，包括：
氧化筒(1)，所述氧化筒(1)開口朝上，所述氧化筒(1)開口上蓋裝有蓋板(2)，所述氧化筒(1)圓周內(nèi)壁上均勻設(shè)置有多根電加熱絲(3)；
晶圓本體(4)，所述晶圓本體(4)豎向位于所述氧化筒(1)的中部，所述晶圓本體(4)的前后兩側(cè)均設(shè)置有轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)用于帶動晶圓本體(4)轉(zhuǎn)動；
所述轉(zhuǎn)動機(jī)構(gòu)包括安裝在所述氧化筒(1)側(cè)壁上的支撐套(5)，所述支撐套(5)的外端依次設(shè)置有弓形支撐板(6)、支撐滑軌(7)和動力輪(8)，所述支撐滑軌(7)與所述動力輪(8)轉(zhuǎn)動連接，所述動力輪(8)的外壁與所述晶圓本體(4)的一處側(cè)壁接觸，所述動力輪(8)上設(shè)置有轉(zhuǎn)軸(9)，所述轉(zhuǎn)軸(9)的外端穿過支撐滑軌(7)、支撐套(5)和氧化筒(1)并伸出至所述氧化筒(1)的外側(cè)，所述氧化筒(1)的外壁上設(shè)置有動力機(jī)構(gòu)，所述動力機(jī)構(gòu)用于帶動轉(zhuǎn)軸(9)轉(zhuǎn)動；
所述晶圓本體(4)的另一側(cè)壁設(shè)置有擠壓機(jī)構(gòu)，所述擠壓機(jī)構(gòu)與所述動力輪(8)分別位于所述晶圓本體(4)的兩側(cè)，所述擠壓機(jī)構(gòu)用于推動晶圓本體(4)和動力輪(8)貼緊；
兩個噴頭(10)，兩個噴頭(10)均位于所述氧化筒(1)內(nèi)，并且所述噴頭(10)的噴口方向與所述晶圓本體(4)的軸線平行，所述噴頭(10)上設(shè)置有推動機(jī)構(gòu)，所述推動機(jī)構(gòu)用于推動噴頭(10)上下移動。
2.如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶圓熱氧化層生成設(shè)備，其特征在于，所述擠壓機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動安裝在所述氧化筒(1)內(nèi)側(cè)壁上的支撐臂(11)，所述支撐臂(11)的外端轉(zhuǎn)動設(shè)置有擠壓輪(12)，所述擠壓輪(12)的外壁與所述晶圓本體(4)的側(cè)壁接觸，所述支撐臂(11)的側(cè)壁上轉(zhuǎn)動設(shè)置有第一氣缸(13)，所述第一氣缸(13)的固定端轉(zhuǎn)動安裝在所述氧化筒(1)的內(nèi)側(cè)壁上；
所述動力機(jī)構(gòu)包括安裝在所述轉(zhuǎn)軸(9)外端上的第一齒輪(14)，所述氧化筒(1)的外側(cè)套設(shè)有齒環(huán)(15)，所述齒環(huán)(15)位于兩個第一齒輪(14)的上側(cè)，所述齒環(huán)(15)與所述第一齒輪(14)嚙合連接，所述齒環(huán)(15)上滑動設(shè)置有滑塊(16)，所述滑塊(16)固定在所述氧化筒(1)外壁上，所述氧化筒(1)的外側(cè)壁上套設(shè)有扣罩(17)，所述扣罩(17)位于第一齒輪(14)、齒環(huán)(15)和滑塊(16)的外側(cè)，所述扣罩(17)外壁上設(shè)置有第一電機(jī)(18)，所述第一電機(jī)(18)的輸出端與一個第一齒輪(14)的側(cè)壁傳動連接。
3.如權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶圓熱氧化層生成設(shè)備，其特征在于，所述推動機(jī)構(gòu)包括兩張安裝板(19)，兩張安裝板(19)均安裝在所述氧化筒(1)的內(nèi)側(cè)壁上，并且兩張安裝板(19)呈豎向排列，兩張安裝板(19)之間設(shè)置有第一絲杠(20)和第一導(dǎo)軌(21)，所述第一絲杠(20)與所述安裝板(19)轉(zhuǎn)動連接，所述第一導(dǎo)軌(21)固定在所述氧化筒(1)的內(nèi)側(cè)壁上，所述第一絲杠(20)的中部螺裝設(shè)置有第一螺套(22)，所述噴頭(10)的外壁滑動安裝在所述第一導(dǎo)軌(21)上，所述噴頭(10)固定在所述第一螺套(22)的外壁上；
所述第一絲杠(20)的頂部穿過上側(cè)所述安裝板(19)，所述第一絲杠(20)的頂部設(shè)置有第二齒輪(23)，所述第二齒輪(23)上設(shè)置有傳動機(jī)構(gòu)，所述傳動機(jī)構(gòu)用于帶動第二齒輪(23)轉(zhuǎn)動。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于太原市致科勝工業(yè)設(shè)計有限公司，未經(jīng)太原市致科勝工業(yè)設(shè)計有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210311923.3/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
