[發(fā)明專利]三維存儲(chǔ)器及其制備方法、存儲(chǔ)器系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210304537.1
• 申請日: 2022-03-18
• 公開（公告）號(hào): CN114725121A
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳陽;王迪;張中;周文犀
• 申請（專利權(quán)）人: 長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L27/1157
• 分類號(hào): H01L27/1157;H01L27/11575;H01L27/11582
• 代理公司: 北京英思普睿知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 16018
• 代理人: 劉瑩;聶國斌

1.三維存儲(chǔ)器，包括：

存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)，包括沿第一方向設(shè)置的第一存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)和第二存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)；

階梯結(jié)構(gòu)，位于所述第一存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)和所述第二存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)中間，包括：

橋接結(jié)構(gòu)，沿所述第一方向延伸，并包括第一部分和位于所述第一部分兩側(cè)的第二部分，所述第一部分和所述第二部分均包括上部階梯部分和下部壁部分，所述第一部分的高度低于所述第二部分的高度；以及

多個(gè)階梯對(duì)，在不同的高度處沿所述第一方向設(shè)置，并與所述橋接結(jié)構(gòu)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器，其中，所述階梯對(duì)中的階梯具有在所述第一方向上彼此面對(duì)的傾斜朝向，所述階梯包括多個(gè)臺(tái)階。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維存儲(chǔ)器，其中，所述多個(gè)階梯對(duì)中與所述第二部分連接的階梯相對(duì)于所述第一部分對(duì)稱分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維存儲(chǔ)器，其中，至少部分臺(tái)階通過所述下部壁部分與所述第一存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)和所述第二存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)的至少之一電連接，其中，所述至少部分臺(tái)階為多個(gè)階梯對(duì)中與所述第一部分連接的至少部分臺(tái)階。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維存儲(chǔ)器，其中，所述三維存儲(chǔ)器包括互連結(jié)構(gòu)，所述互連結(jié)構(gòu)包括互連對(duì)；

所述多個(gè)階梯對(duì)中的一組臺(tái)階通過所述互連對(duì)與所述第一存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)和所述第二存儲(chǔ)結(jié)構(gòu)的至少之一電連接，其中，所述一組臺(tái)階為與所述第二部分連接的至少部分臺(tái)階中的一組，并且所述一組臺(tái)階位于相同的高度處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器，其中，所述第一部分的高度為所述第二部分的高度的一半。

7.存儲(chǔ)器系統(tǒng)，包括：

至少一個(gè)如權(quán)利要求1至6所述的三維存儲(chǔ)器；以及

存儲(chǔ)控制器，與所述三維存儲(chǔ)器電連接，用于控制所述三維存儲(chǔ)器。

8.三維存儲(chǔ)器的制備方法，包括：

形成沿第一方向設(shè)置的第一疊層結(jié)構(gòu)和第二疊層結(jié)構(gòu)；

在所述第一疊層結(jié)構(gòu)和所述第二疊層結(jié)構(gòu)中間，形成沿所述第一方向延伸的橋接結(jié)構(gòu)的上部階梯部分和沿所述第一方向設(shè)置的多個(gè)階梯對(duì)，所述多個(gè)階梯對(duì)與所述橋接結(jié)構(gòu)連接，所述橋接結(jié)構(gòu)包括第一部分和位于兩側(cè)的第二部分；

對(duì)至少部分所述多個(gè)階梯對(duì)中的階梯進(jìn)行多次第一削減；以及

對(duì)所述第一部分和所述多個(gè)階梯對(duì)中與其連接的階梯進(jìn)行第二削減，使得所述多個(gè)階梯對(duì)位于不同高度處，且所述第一部分的高度低于所述第二部分的高度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其中，對(duì)所述第一部分和所述多個(gè)階梯對(duì)中與其連接的階梯進(jìn)行第二削減之前，所述制備方法還包括：

對(duì)所述第二削減的削減掩膜進(jìn)行圖案化，以暴露所述第一部分和所述多個(gè)階梯對(duì)中與所述第一部分連接的階梯。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其中，形成沿所述第一方向延伸的橋接結(jié)構(gòu)的上部階梯部分和沿所述第一方向設(shè)置的多個(gè)階梯對(duì)包括：

通過至少一個(gè)階梯掩膜，形成所述上部階梯部分和所述多個(gè)階梯對(duì)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其中，對(duì)所述第一部分和所述多個(gè)階梯對(duì)中與其連接的階梯進(jìn)行第二削減包括：

使得所述第一部分的高度為所述第二部分的高度的一半。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其中，對(duì)至少部分所述多個(gè)階梯對(duì)中的階梯進(jìn)行多次第一削減包括：

將至少部分所述多個(gè)階梯對(duì)中的階梯削減至不同的高度處，并使得所述多個(gè)階梯對(duì)中與所述第二部分連接的階梯相對(duì)于所述第一部分對(duì)稱分布。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其中，所述多個(gè)階梯對(duì)中的階梯包括多個(gè)臺(tái)階，對(duì)所述第一部分和所述多個(gè)階梯對(duì)中與其連接的階梯進(jìn)行第二削減之后，所述制備方法包括：

形成包括多個(gè)互連對(duì)的多個(gè)互連結(jié)構(gòu)；以及

通過所述互連對(duì)使得所述多個(gè)臺(tái)階中與所述第二部分連接的、且位于相同的高度處的一組臺(tái)階電連接。