[發明專利]一種聲表面波諧振器

在審

• 申請號: 202210294578.7
• 申請日: 2022-03-23
• 公開（公告）號: CN114629461A
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 馬陽陽;劉曉軍;姚若妍;宋佳佳;朱德進
• 申請（專利權）人: 天通瑞宏科技有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/64
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王風茹

本發明實施例公開了一種聲表面波諧振器，諧振器包括壓電層；位于壓電層上的電極層；電極層包括換能器，換能器包括第一匯流條、第一長指、第一假指、第二匯流條、第二長指和第二假指；第一匯流條和第二匯流條均沿第一方向延伸且相對設置；第一長指、第二假指、第二長指和第一假指均沿第二方向延伸且均位于第一匯流條和第二匯流條之間；第一長指和第二假指相對設置，壓電層包括至少一個異質結構，異質結構深度大于換能器厚度，聲表面波在異質結構中的傳播速度與在壓電層中的傳播速度不同，異質結構沿第一方向延伸，異質結構與換能器在壓電層的垂直投影交疊且與第一間隙和第二間隙在壓電層的垂直投影不交疊。本發明抑制橫向模傳輸，提升濾波器性能。

技術領域

本發明實施例涉及半導體封裝技術領域，尤其涉及一種聲表面波諧振器。

背景技術

隨著通信技術發展，產品終端對各類器件的性能提出了嚴格的要求，濾波器是通信系統的關鍵器件；隨著技術發展，濾波器種類也越來越多，從LCR濾波器到腔體濾波器，從LTCC陶瓷濾波器到聲表濾波器，濾波器的技術不斷發展；自從進入LTE時代以來，聲表濾波器在通信系統中的作用愈發重要。同時隨著通信技術的發展，對濾波器的各項要求也越來越高；特別是隨著第五代移動通信技術(5th-Generation，5G)到來，濾波器行業面臨重大挑戰和機遇。

聲表濾波器廣泛應用于射頻前端，具有插損低、帶寬寬、體積小等優點，但是聲表諧振器存在各種雜波模態，嚴重影響力濾波器的性能，而橫向模是其中一種主要的雜波模態，因此抑制橫向模對于聲波面濾波器的性能提升有著重要的意義。

發明內容

本發明提供一種聲表面波諧振器，可以抑制橫向模的傳輸，從而提升濾波器的性能。

本發明實施例提供了一種聲表面波諧振器，該聲表面波諧振器包括：

壓電層；

位于所述壓電層上的電極層；

所述電極層包括換能器，所述換能器包括：第一匯流條、第一長指、第一假指、第二匯流條、第二長指和第二假指；所述第一匯流條和所述第二匯流條均沿第一方向延伸，且相對設置；所述第一長指、所述第二假指、所述第二長指和所述第一假指均沿第二方向延伸，且均位于第一匯流條和第二匯流條之間；所述第一長指和所述第一假指沿第一方向交替排列且均與所述第一匯流條連接；所述第二長指和所述第二假指沿第一方向交替排列且均與所述第二匯流條連接；所述第一長指和所述第二假指相對設置，所述第一長指和所述第二假指之間具有第一間隙，所述第二長指和所述第一假指相對設置，所述第二長指和所述第一假指之間具有第二間隙；其中，所述第二方向與所述第一方向相互交叉；

所述壓電層包括至少一個異質結構，所述異質結構的深度大于所述換能器的厚度，聲表面波在所述異質結構中的傳播速度與在所述壓電層中的傳播速度不同，所述異質結構沿所述第一方向延伸，所述異質結構與所述換能器在所述壓電層的垂直投影交疊，且與所述第一間隙和所述第二間隙在所述壓電層的垂直投影不交疊。

可選地，所述異質結構包括第一異質長條和第二異質長條，

所述第一異質長條位于所述第一長指下方，且所述第一異質長條鄰近所述第一間隙的側面與所述第一長指遠離所述第一匯流條的頂端平齊；

所述第二異質長條位于所述第二長指下方，且所述第二異質長條鄰近所述第二間隙的側面與所述第二長指遠離所述第二匯流條的頂端平齊。

可選地，所述異質結構包括第三異質長條和第四異質長條，

所述第三異質長條位于所述第二匯流條下方，且所述第三異質長條鄰近所述第二假指的側面與所述第二假指鄰近所述第二匯流條的末端平齊；

所述第四異質長條位于所述第一匯流條下方，且所述第四異質長條鄰近所述第一假指的側面與所述第一假指鄰近所述第一匯流條的末端平齊。