[發(fā)明專利]光檢測裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210293509.4
• 申請日: 2017-03-03
• 公開（公告）號: CN114659632A
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 廣瀬真樹;柴山勝己;笠原隆;川合敏光;大山泰生
• 申請（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會社
• 主分類號: G01J3/26
• 分類號: G01J3/26;G01J3/02;G01J3/50;G01J1/04;H01L27/144
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

光檢測裝置具備：法布里?珀羅干涉濾光器，在規(guī)定的線上設(shè)置有光透過區(qū)域；光檢測器，在線上相對于法布里?珀羅干涉濾光器配置于一側(cè)；封裝體，具有在線上相對于法布里?珀羅干涉濾光器位于另一側(cè)的開口；光透過構(gòu)件，以將開口封閉的方式設(shè)置于封裝體；及溫度調(diào)節(jié)元件，與法布里?珀羅干涉濾光器及光檢測器熱性連接，且具有吸熱區(qū)域。吸熱區(qū)域在線上相對于光檢測器位于一側(cè)。

本申請是申請日為2017年3月3日、申請?zhí)枮?Underline>201780015575.2、發(fā)明名稱為光檢測裝置的專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種具備具有彼此的距離為可變的第1鏡及第2鏡的法布里-珀羅干涉濾光器的光檢測裝置。

背景技術(shù)

在專利文獻(xiàn)1中記載有一種具備法布里-珀羅干涉儀、保持法布里-珀羅干涉儀的保持器、安裝于保持器的帕爾帖元件、及收納法布里-珀羅干涉儀、保持器及帕爾帖元件的真空容器的干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)具部。在該標(biāo)準(zhǔn)具部中，相對于自真空容器的光入射窗經(jīng)由法布里-珀羅干涉儀到達(dá)真空容器的光出射窗的光路，在保持器的側(cè)方安裝有帕爾帖元件。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平1-250834號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

然而，在上述的結(jié)構(gòu)中，由于法布里-珀羅干涉儀被帕爾帖元件自側(cè)方冷卻，因而在法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器收納于封裝體的情況下，因為法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器未被均勻地冷卻，因此有法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器未被維持為均勻的溫度的擔(dān)憂。而且，在上述的結(jié)構(gòu)中，由于真空容器的光入射窗附近被帕爾帖元件冷卻，因而在收納法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器的封裝體的開口設(shè)置有光透過構(gòu)件的情況下，有在光透過構(gòu)件中產(chǎn)生結(jié)露的擔(dān)憂。

本發(fā)明的目的在于提供一種光檢測裝置，其可抑制在用于使光入射至封裝體內(nèi)的光透過構(gòu)件中產(chǎn)生結(jié)露或裂紋，且可將收納于封裝體的法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器維持為均勻的溫度。

解決問題的技術(shù)手段

本發(fā)明的一個方式所涉及的光檢測裝置，具備：法布里-珀羅干涉濾光器，其具有彼此的距離設(shè)為可變的第1鏡及第2鏡，且在規(guī)定的線上設(shè)置有使與第1鏡與第2鏡的距離相應(yīng)的光透過的光透過區(qū)域；光檢測器，其在線上相對于法布里-珀羅干涉濾光器配置于一側(cè)，檢測透過了光透過區(qū)域的光；封裝體，其具有在線上相對于法布里-珀羅干涉濾光器位于另一側(cè)的開口，且收納法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器；光透過構(gòu)件，其以將開口封閉的方式設(shè)置于封裝體；及溫度調(diào)節(jié)元件，其與法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器熱性連接，且具有作為吸熱區(qū)域及發(fā)熱區(qū)域的一者而發(fā)揮功能的第1區(qū)域；第1區(qū)域至少在線上相對于光檢測器位于一側(cè)。

在該光檢測裝置中，作為吸熱區(qū)域及發(fā)熱區(qū)域的一者而發(fā)揮功能的溫度調(diào)節(jié)元件的第1區(qū)域至少在線上相對于光檢測器位于一側(cè)。由此，例如與溫度調(diào)節(jié)元件的第1區(qū)域相對于線而位于法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器的側(cè)方的情況相比，法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器被維持為均勻的溫度。再者，至少在線上，在光透過構(gòu)件與溫度調(diào)節(jié)元件的第1區(qū)域之間配置有法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器。由此，可抑制起因于光透過構(gòu)件被過度地冷卻而光透過構(gòu)件的溫度與外氣溫度(光檢測裝置的使用環(huán)境溫度)的差變大的在光透過構(gòu)件中的結(jié)露的產(chǎn)生。另外，可抑制起因于光透過構(gòu)件被過度地加熱而光透過構(gòu)件的溫度與外氣溫度的差變大的在光透過構(gòu)件中的裂紋的產(chǎn)生。因此，根據(jù)該光檢測裝置，可抑制在用于使光入射至封裝體內(nèi)的光透過構(gòu)件中產(chǎn)生結(jié)露或裂紋，且可將收納于封裝體的法布里-珀羅干涉濾光器及光檢測器維持為均勻的溫度。