[發(fā)明專利]光檢測裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210293509.4 | 申請日: | 2017-03-03 |
| 公開(公告)號: | CN114659632A | 公開(公告)日: | 2022-06-24 |
| 發(fā)明(設計)人: | 廣瀬真樹;柴山勝己;笠原隆;川合敏光;大山泰生 | 申請(專利權)人: | 浜松光子學株式會社 |
| 主分類號: | G01J3/26 | 分類號: | G01J3/26;G01J3/02;G01J3/50;G01J1/04;H01L27/144 |
| 代理公司: | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人: | 楊琦 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測 裝置 | ||
1.一種光檢測裝置,其特征在于,
具備:
法布里-珀羅干涉濾光器,具有彼此的距離設為可變的第1鏡及第2鏡,且在規(guī)定的線上設置有使與所述第1鏡和所述第2鏡的距離相應的光透過的光透過區(qū)域;
光檢測器,在所述線上相對于所述法布里-珀羅干涉濾光器配置于一側,檢測透過了所述光透過區(qū)域的光;
封裝體,具有在所述線上相對于所述法布里-珀羅干涉濾光器位于另一側的開口,且收納所述法布里-珀羅干涉濾光器及所述光檢測器;及
溫度調節(jié)元件,與所述法布里-珀羅干涉濾光器及所述光檢測器熱性連接,
所述光檢測器配置于形成于所述封裝體的凹部的底面,
所述法布里-珀羅干涉濾光器以相對于所述凹部位于所述另一側的方式配置于形成于所述封裝體的加寬部的底面,
所述溫度調節(jié)元件埋設于所述封裝體的壁部中的至少與所述凹部的所述底面對應的部分。
2.如權利要求1所述的光檢測裝置,其特征在于,
還具備以將所述開口封閉的方式設置于所述封裝體的光透過構件。
3.如權利要求1或2所述的光檢測裝置,其特征在于,
所述溫度調節(jié)元件埋設于所述封裝體的壁部中的至少與所述凹部的所述底面及所述加寬部的所述底面對應的部分。
4.如權利要求1~3中任一項所述的光檢測裝置,其特征在于,
還具備配置于所述法布里-珀羅干涉濾光器和所述加寬部之間且與所述法布里-珀羅干涉濾光器及所述加寬部接觸的熱傳導構件。
5.如權利要求4所述的光檢測裝置,其特征在于,
所述熱傳導構件包含第1部分,
所述第1部分配置于所述法布里-珀羅干涉濾光器的側面和所述加寬部的內面之間且與所述法布里-珀羅干涉濾光器的所述側面及所述加寬部的所述內面接觸。
6.如權利要求4或5所述的光檢測裝置,其特征在于,
所述熱傳導構件包含第2部分,
所述第2部分配置于所述法布里-珀羅干涉濾光器的底面和所述加寬部的底面之間且與所述法布里-珀羅干涉濾光器的所述底面及所述加寬部的所述底面接觸。
7.如權利要求4~6中任一項所述的光檢測裝置,其特征在于,
所述熱傳導構件是將所述法布里-珀羅干涉濾光器與所述加寬部粘結的粘結構件。
8.如權利要求1~7中任一項所述的光檢測裝置,其特征在于,
還具備安裝于所述封裝體的外側的表面中的與所述凹部的所述底面相對的區(qū)域的散熱器。
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