[發明專利]研磨墊修整器及化學機械研磨裝置

在審

• 申請號: 202210290740.8
• 申請日: 2022-03-23
• 公開（公告）號: CN114603483A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 楊俊男
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B24B53/017
• 分類號: B24B53/017;B24B37/00;B24B37/34
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 劉鑫

1.一種研磨墊修整器，研磨墊(10)可轉動地設置，其特征在于，所述研磨墊修整器包括：

修整器本體(20)，包括滾筒(21)和布置在所述滾筒(21)的周向側面上的修整顆粒(22)，所述滾筒(21)沿其延伸方向的長度至少為所述研磨墊(10)的半徑，所述滾筒(21)可轉動地設置；所述修整器本體(20)具有用于壓設在所述研磨墊(10)上的工作位置和與所述研磨墊(10)分離的初始位置，所述修整器本體(20)在所述工作位置和所述初始位置之間可切換地設置。

2.根據權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，在所述修整器本體(20)處于所述工作位置時，所述滾筒(21)沿所述研磨墊(10)的徑向方向延伸。

3.根據權利要求2所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述滾筒(21)沿其延伸方向具有依次布置的第一端和第二端；在所述修整器本體(20)處于所述工作位置時，所述滾筒(21)的第一端延伸至所述研磨墊(10)的邊緣，所述滾筒(21)的第二端延伸至所述研磨墊(10)的中心。

4.根據權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述研磨墊修整器還包括：

第一驅動件，與所述滾筒(21)連接，所述第一驅動件帶動所述滾筒(21)沿第一旋轉方向和第二旋轉方向自轉；其中，所述第一旋轉方向和所述第二旋轉方向相反。

5.根據權利要求1所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述研磨墊修整器還包括：

第二驅動件(30)，與所述滾筒(21)連接，以帶動所述修整器本體(20)在所述工作位置和所述初始位置之間切換。

6.根據權利要求5所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述第二驅動件(30)帶動所述修整器本體(20)可擺動地設置；在所述修整器本體(20)處于所述初始位置時位于所述研磨墊(10)的側部。

7.根據權利要求5所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述研磨墊修整器還包括：

連接桿(40)，包括第一桿段(41)和與所述第一桿段(41)連接的第二桿段(42)，所述第一桿段(41)和所述第二桿段(42)相傾斜設置；所述第一桿段(41)插設在所述滾筒(21)的連接孔內；所述第二驅動件(30)與所述第二桿段(42)連接，所述第二驅動件(30)帶動所述第二桿段(42)可轉動地設置。

8.根據權利要求7所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述研磨墊修整器還包括第一驅動件，所述第一驅動件與所述第一桿段(41)連接，以帶動所述第一桿段(41)和所述滾筒(21)同步轉動；所述第二桿段(42)的一端與所述第一驅動件連接，所述第二桿段(42)的另一端與所述第二驅動件(30)連接。

9.根據權利要求1至8中任一項所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述滾筒(21)上設置有多個第一修整顆粒組(23)，各個所述第一修整顆粒組(23)均包括多個所述修整顆粒(22)；各個所述第一修整顆粒組(23)的多個所述修整顆粒(22)的高度均相等。

10.根據權利要求9所述的研磨墊修整器，其特征在于，至少兩組所述第一修整顆粒組(23)的所述修整顆粒(22)的高度不相等。

11.根據權利要求9所述的研磨墊修整器，其特征在于，相鄰兩組所述第一修整顆粒組(23)的所述修整顆粒(22)的側壁呈鈍角。

12.根據權利要求1至8中任一項所述的研磨墊修整器，其特征在于，所述滾筒(21)上設置有多個所述修整顆粒(22)，多個所述修整顆粒(22)包括四面體、六面體、八面體中的一種或多種。