[發(fā)明專利]抽氣閥門、抽氣閥門開閉方法及負壓腔體組件

在審

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• 申請日: 2022-03-22
• 公開（公告）號: CN114607788A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設計）人: 湯根;唐在峰;昂開渠
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: F16K5/04
• 分類號: F16K5/04;F16K5/08;F16K27/06
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 鐘玉敏

1.一種抽氣閥門，其特征在于，包括：基盤與閥片組；

所述閥片組與所述基盤沿一軸線排布，所述閥片組包括兩個以上的閥片，兩個以上的所述閥片圍繞所述軸線依次內外鄰接排布；

所述基盤沿所述軸線在第一位置和第二位置間可移動地設置，所述基盤位于第一位置時，與所述閥片組相抵靠，所述抽氣閥門關閉；

所述基盤在所述第一位置與所述第二位置間移動時，驅動至少一個所述閥片隨所述基盤一同移動，以調節(jié)所述抽氣閥門的開度。

2.如權利要求1所述的抽氣閥門，其特征在于，所述基盤與位于最內側的所述閥片固定連接。

3.如權利要求1所述的抽氣閥門，其特征在于，所述基盤能夠圍繞所述軸線轉動；所述基盤通過圍繞所述軸線轉動以鎖定或解鎖至少一個所述閥片；進而所述基盤若與至少一個所述閥片相鎖定，則所述基盤沿所述軸線移動時，驅動相鎖定的至少一個所述閥片隨所述基盤一同移動。

4.如權利要求3所述的抽氣閥門，其特征在于，所述基盤按由內至外的順序依次鎖定或解鎖所述閥片。

5.如權利要求4所述的抽氣閥門，其特征在于，在內外相鄰的兩個所述閥片中，至少位于內側的所述閥片能夠圍繞所述軸線轉動；位于外側的所述閥片的內周具有沿平行于所述軸線方向開設的軸向槽和沿周向開設的周向槽，所述軸向槽的一端朝向所述基盤的方向開放，所述軸向槽的另一端與所述周向槽連通，形成T字型排布；

位于內側的所述閥片的外周具有凸起；

位于內側的所述閥片由所述第二位置向所述第一位置移動時，所述凸起能夠自所述軸向槽開放的一端進入所述軸向槽，至所述基盤到達所述第一位置時，所述凸起到達所述軸向槽與所述周向槽的連通處；

位于內側的所述閥片圍繞所述軸線轉動，所述凸起卡入所述周向槽時，位于外側的所述閥片通過位于內側的所述閥片與所述基盤相鎖定；

位于內側的所述閥片圍繞所述軸線反向轉動，所述凸起移至所述軸向槽與所述周向槽的連通處時，位于內側的所述閥片與位于外側的所述閥片解除鎖定。

6.如權利要求5所述的抽氣閥門，其特征在于，所述基盤位于所述第一位置時，在所述基盤圍繞所述軸線轉動驅動下，位于內側的所述閥片的轉動先于位于外側的所述閥片的轉動。

7.一種抽氣閥門開閉方法，其特征在于，應用于根據權利要求1～6中任一項所述的抽氣閥門；所述抽氣閥門開閉方法包括：

關閉過程的步驟：驅動基盤沿一軸線由第二位置向第一位置移動，使所述基盤位于所述第一位置時，閥片組中所有的閥片相抵靠，以閉合所述抽氣閥門；以及

開啟過程的步驟：驅動所述基盤由所述第二位置向所述第一位置移動，并驅動所述閥片組中的至少一個所述閥片隨所述基盤一同移動，以開啟所述抽氣閥門；

其中，所述抽氣閥門的開度根據所述基盤所驅動的所述閥片的數量調節(jié)。

8.如權利要求7所述的抽氣閥門開閉方法，其特征在于，驅動所述閥片組中的至少一個所述閥片隨所述基盤一同移動的步驟包括：驅動所述基盤通過圍繞所述軸線轉動以鎖定或解鎖至少一個所述閥片；所述基盤沿所述軸線移動時，驅動相鎖定的至少一個所述閥片隨所述基盤一同移動。

9.如權利要求8所述的抽氣閥門開閉方法，其特征在于，所述抽氣閥門開閉方法還包括增加開度的步驟；所述增加開度的步驟包括：驅動所述基盤由第二位置移至第一位置，并驅動所述基盤圍繞所述軸線轉動，以額外鎖定至少一個所述閥片，進而驅動所述基盤由所述第一位置向所述第二位置移動，使所述基盤帶動被鎖定的所述閥片一同移動；

所述抽氣閥門開閉方法還包括減小開度的步驟；所述減小開度的步驟包括：驅動至少與一個所述閥片相鎖定的所述基盤由所述第二位置移至所述第一位置，并驅動所述基盤圍繞所述軸線轉動，以解鎖至少一個所述閥片，進而驅動所述基盤由所述第一位置向所述第二位置移動。

10.一種負壓腔體組件，其特征在于，包括腔體、抽氣管道以及如權利要求1～6中任一項的抽氣閥門；

所述抽氣管道與所述腔體的底部連通，所述抽氣閥門位于所述抽氣管道上。