[發明專利]一種靶材非噴砂區的遮蔽治具及其使用方法

在審

• 申請號: 202210285480.5
• 申請日: 2022-03-21
• 公開（公告）號: CN114571376A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;李闖;范文新;周偉君
• 申請（專利權）人: 武漢江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B24C9/00
• 分類號: B24C9/00
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 牛海燕

1.一種靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述遮蔽治具包括遮蔽組件和壓板，所述遮蔽組件設置于靶材的非噴砂區表面，用于遮蔽所述非噴砂區，所述遮蔽組件由若干多邊形遮蔽板拼接形成；所述壓板設置于所述遮蔽組件表面，用于固定所述遮蔽組件。

2.根據權利要求1所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述遮蔽板的邊緣或頂點處設置有至少一個拼接件，不同遮蔽板的拼接件之間為互補結構，通過連接件之間的相互嵌入實現各遮蔽板之間在水平方向的固定。

3.根據權利要求1或2所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述遮蔽組件為矩形結構；

優選地，所述遮蔽組件和非噴砂區表面之間設置有防護層；

優選地，所述遮蔽組件的尺寸大于靶材非噴砂區的尺寸。

4.根據權利要求1-3任一項所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述壓板底面的四角出分別設置有一個支桿，所述支桿兩端分別對接所述壓板底面和靶材表面，所述遮蔽組件夾設于所述壓板和靶材之間。

5.根據權利要求1-4任一項所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述支桿靠近靶材表面的一端設置有固定件，通過所述固定件固定所述壓板；

優選地，所述固定件為吸盤。

6.根據權利要求1-5任一項所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述支桿為軸向貫通的中空結構，所述支桿空腔的一端與所述固定件連通，所述支桿空腔的另一端接入抽氣裝置，所述抽氣裝置用于抽吸所述固定件內的空氣，在氣壓作用下將所述壓板壓緊。

7.根據權利要求2所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述遮蔽組件由第一遮蔽板和第二遮蔽板拼接形成，所述第一遮蔽板和第二遮蔽板為大小相同的矩形，拼接后形成矩形結構的遮蔽組件；

所述第一遮蔽板的一側邊緣處設置有缺口，所述第二遮蔽板的一側邊緣處延伸形成平面的凸起，所述第二遮蔽板的凸起嵌入第一遮蔽板的缺口內；

優選地，所述凸起形狀與缺口形狀相同，且均為優弧。

8.根據權利要求2所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述遮蔽組件由四塊遮蔽板拼接形成，四塊遮蔽板的其中一個頂點交匯于中心點；

四塊遮蔽板的中心點兩側邊緣分別設置有一個缺口和一個凸起，其中一塊遮蔽板的凸起嵌入相鄰的另一塊遮蔽板的缺口，圍繞中心點按照順時針或逆時針方向依次拼接形成矩形結構的遮蔽組件。

9.根據權利要求8所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具，其特征在于，所述遮蔽板的形狀為矩形或三角形。

10.一種權利要求1-9任一項所述的靶材非噴砂區的遮蔽治具的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括：

將若干遮蔽板拼接形成遮蔽組件，蓋設于靶材的非噴砂區表面，遮蔽非噴砂區，在遮蔽組件上壓上壓板，對靶材的噴砂區進行噴砂。