[發(fā)明專利]一種方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210284294.X
• 申請(qǐng)日: 2022-03-22
• 公開（公告）號(hào): CN114664722A
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王家林;羅楊;崔潔;牛巖;祁雪飛;菅彥彬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;G06T1/00;G06T7/13;G06T7/73
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 于彬

1.一種方形晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法包括：

接收待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓已放入目標(biāo)晶圓槽位的反饋信號(hào)，獲取所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓對(duì)應(yīng)的目標(biāo)圖像；

基于所述目標(biāo)圖像，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的角度信息；

基于四條邊的角度信息，確定第一旋轉(zhuǎn)角度；

控制旋轉(zhuǎn)平臺(tái)按照所述第一旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，以使所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓在測(cè)量坐標(biāo)系中與橫坐標(biāo)軸成目標(biāo)角度進(jìn)行擺放；

基于所述第一旋轉(zhuǎn)角度以及四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置，確定待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置，以及旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置與目標(biāo)位置之間的偏移距離；

基于所述偏移距離控制移動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)，以使所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓移動(dòng)至測(cè)量坐標(biāo)系中的目標(biāo)位置完成位置對(duì)準(zhǔn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述目標(biāo)圖像，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的角度信息，包括：

獲取目標(biāo)圖像中每個(gè)像素點(diǎn)的灰度值；

針對(duì)每個(gè)像素點(diǎn)，確定與該像素點(diǎn)相鄰的多個(gè)相鄰像素點(diǎn)分別與該像素點(diǎn)的灰度值的差值；

將相鄰兩個(gè)像素點(diǎn)的差值，確定為相鄰兩個(gè)像素點(diǎn)的梯度；

將多個(gè)大于梯度閾值的對(duì)應(yīng)的像素點(diǎn)，確定為所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的多個(gè)邊緣像素點(diǎn)；

基于所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的多個(gè)邊緣像素點(diǎn)，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的角度信息。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的多個(gè)邊緣像素點(diǎn)，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的角度信息，包括：

通過(guò)線性擬合將多個(gè)邊緣像素點(diǎn)連接起來(lái)，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓在圖像坐標(biāo)系下的位置信息；

基于所述圖像坐標(biāo)系與測(cè)量坐標(biāo)系的轉(zhuǎn)換關(guān)系，將所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓在圖像坐標(biāo)系下的位置信息轉(zhuǎn)換為測(cè)量坐標(biāo)系下的位置信息，所述測(cè)量坐標(biāo)系下的位置信息包括四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置以及四條邊的位置；

基于所述四條邊的位置，確定四條邊的角度信息，所述四條邊的角度信息包括第一角度、第二角度、第三角度以及第四角度，所述第一角度、第二角度、第三角度以及第四角度是所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的第一邊、第二邊、第三邊以及第四邊分別與測(cè)量坐標(biāo)系水平正方向之間的夾角的角度，按照順時(shí)針?lè)较蛩龃龑?duì)準(zhǔn)方形晶圓的四條邊分別為第一邊、第四邊、第二邊以及第三邊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于四條邊的角度信息，確定第一旋轉(zhuǎn)角度，包括：

將所述第一角度與所述第二角度的平均值，確定為水平角度；

將所述第三角度與所述第四角度的平均值，確定為豎直角度；

將所述豎直角度與90°的差值，確定為旋轉(zhuǎn)豎直角度；

將所述水平角度與所述旋轉(zhuǎn)豎直角度的平均值，確定為基準(zhǔn)角度；

將所述基準(zhǔn)角度與目標(biāo)角度之差，確定為第一旋轉(zhuǎn)角度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一旋轉(zhuǎn)角度以及四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置，確定待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置，以及旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置與目標(biāo)位置之間的偏移距離，包括：

基于所述四個(gè)頂點(diǎn)的頂點(diǎn)位置，確定待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的兩條對(duì)角線；

將所述兩條對(duì)角線的交點(diǎn)位置，確定為所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)前的中心點(diǎn)位置；

基于所述第一旋轉(zhuǎn)角度以及所述旋轉(zhuǎn)前的中心點(diǎn)位置，確定所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置；

確定所述旋轉(zhuǎn)后的中心點(diǎn)位置與目標(biāo)位置之間的偏移距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述接收待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓已放入目標(biāo)晶圓槽位的反饋信號(hào)，獲取所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓對(duì)應(yīng)的目標(biāo)圖像之前，所述方法還包括：

接收外部數(shù)據(jù)，所述外部數(shù)據(jù)包括待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的晶圓信息；

基于所述晶圓信息，確定與所述待對(duì)準(zhǔn)方形晶圓的類型對(duì)應(yīng)的目標(biāo)晶圓槽位。