[發(fā)明專利]一種靶材的噴砂方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210282242.9 | 申請日： | 2022-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN114714257B | 公開（公告）日： | 2023-04-21 |
| 發(fā)明（設計）人： | 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;胡全 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B24C1/08 | 分類號： | B24C1/08;B24C11/00;B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 噴砂 方法 | ||
1.一種靶材的噴砂方法，其特征在于，所述噴砂方法包括如下步驟：
（a）使用平均粒徑D50為300-400μm的白剛玉對靶材的非濺射面進行第一噴砂處理，第一噴砂處理的壓力為3-5MPa，得到粗糙度為5-10μm的第一噴砂面；所述第一噴砂處理過程中，靶材繞其中心軸轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速為300-350r/min；
（b）采用有機溶劑對步驟（a）所得第一噴砂面進行超聲清洗，超聲清洗的時間為10-15min，溫度為15-25℃，頻率為20-50kHz；
（c）熔融的保護層材質(zhì)設置于第一噴砂面，自然降溫，完成保護層的覆蓋，然后使用平均粒徑D50為250-300μm的白剛玉進行第二噴砂處理，第二噴砂處理的壓力為6-8MPa，得到粗糙度為20-25μm的第二噴砂面；
（d）升溫至250-280℃，去除第二噴砂面表面的保護層，保持溫度進行壓縮氣體吹掃，得到具有干燥噴砂面的靶材；壓縮氣體吹掃所用氣體包括惰性氣體和/或氮氣；壓縮氣體吹掃的溫度為70-80℃，壓力為0.5-0.8MPa；
步驟（c）所述保護層的材質(zhì)包括銦和/或錫。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴砂方法，其特征在于，步驟（b）所述有機溶劑包括丙酮、異丙醇或無水乙醇中的任意一種或至少兩種的組合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴砂方法，其特征在于，步驟（c）所述熔融的溫度為250-280℃。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴砂方法，其特征在于，所述靶材包括金屬靶材、合金靶材或陶瓷靶材中的任意一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的噴砂方法，其特征在于，所述靶材為金屬靶材。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的噴砂方法，其特征在于，所述靶材為鉬靶材。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于合肥江豐電子材料有限公司，未經(jīng)合肥江豐電子材料有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210282242.9/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
