[發(fā)明專利]一種晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、電子設(shè)備及晶圓傳輸系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210282051.2
• 申請(qǐng)日: 2022-03-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114664721A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王家林;羅楊;牛巖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;G06T7/66;G06T7/20
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 于彬

1.一種晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法，其特征在于，應(yīng)用于晶圓傳輸系統(tǒng)，所述晶圓傳輸系統(tǒng)包括晶圓承載平臺(tái)，所述晶圓承載平臺(tái)上放置有待對(duì)準(zhǔn)晶圓，所述待對(duì)準(zhǔn)晶圓表面上設(shè)置有第一標(biāo)記以及第二標(biāo)記，所述方法包括：

獲取所述待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的第一目標(biāo)圖像，確定第一標(biāo)記的當(dāng)前位置；

基于所述第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第一標(biāo)記與第二標(biāo)記的位置關(guān)系，確定第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置；

基于所述第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置控制所述晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的第二目標(biāo)圖像，確定第二標(biāo)記的當(dāng)前位置；

基于所述第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第二標(biāo)記的當(dāng)前位置，利用第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置三者之間的位置關(guān)系，確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置以及晶圓形心偏移量，所述晶圓形心偏移量是待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置與目標(biāo)位置之間的偏移量；

按照所述晶圓形心偏移量控制所述晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，將待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置移動(dòng)至目標(biāo)位置處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶圓傳輸系統(tǒng)還包括攝像設(shè)備；

所述獲取所述待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的第一目標(biāo)圖像，確定第一標(biāo)記的當(dāng)前位置，包括：

獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓的尺寸信息；

基于所述待對(duì)準(zhǔn)晶圓的尺寸信息，確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置；

確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置相對(duì)于攝像設(shè)備位置的偏移量；

基于所述第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置相對(duì)于攝像設(shè)備位置的偏移量，控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，以使待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置處于攝像設(shè)備視野內(nèi)；

控制攝像設(shè)備針對(duì)待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記進(jìn)行拍照，獲取第一目標(biāo)圖像；

利用圖像識(shí)別算法針對(duì)所述第一目標(biāo)圖像進(jìn)行解析，確定第一標(biāo)記的當(dāng)前位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置控制所述晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的第二目標(biāo)圖像，確定第二標(biāo)記的當(dāng)前位置，包括：

基于第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置，確定第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置與攝像設(shè)備位置之間的偏移量；

按照第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置與攝像設(shè)備位置之間的偏移量控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，以使待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置處于攝像設(shè)備視野內(nèi)；

控制攝像設(shè)備針對(duì)所述待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記進(jìn)行拍照獲取第二目標(biāo)圖像；

利用圖像識(shí)別算法針對(duì)所述第二目標(biāo)圖像進(jìn)行解析，確定第二標(biāo)記的當(dāng)前位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第二標(biāo)記的當(dāng)前位置，利用第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置三者之間的位置關(guān)系，確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置以及晶圓形心偏移量，包括：

獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓形心的目標(biāo)位置；

基于所述第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第二標(biāo)記的當(dāng)前位置，利用第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置三者之間的位置關(guān)系，確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置；

基于所述待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置以及所述目標(biāo)位置，確定晶圓形心偏移量。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述晶圓形心偏移量包括角度偏移量以及距離偏移量，所述晶圓承載平臺(tái)包括旋轉(zhuǎn)平臺(tái)；

所述按照所述晶圓形心偏移量控制所述晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，將待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置移動(dòng)至目標(biāo)位置處，包括：

按照所述角度偏移量控制所述晶圓承載平臺(tái)上的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)旋轉(zhuǎn)，以消除角度偏移；

按照所述距離偏移量控制所述晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)消除距離偏移，將待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置移動(dòng)至目標(biāo)位置處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的方法，其特征在于，所述按照所述晶圓形心偏移量控制所述晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，將待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置移動(dòng)至目標(biāo)位置處之后，還包括：

再次確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的當(dāng)前位置；

獲取再次確定的待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的當(dāng)前位置與第二標(biāo)記的基準(zhǔn)位置之間的第二標(biāo)記偏移量；

利用所述第二標(biāo)記偏移量，確定是否完成待對(duì)準(zhǔn)晶圓的預(yù)對(duì)準(zhǔn)。