[發(fā)明專利]一種晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、電子設(shè)備及晶圓傳輸系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210282051.2
• 申請(qǐng)日: 2022-03-21
• 公開（公告）號(hào): CN114664721A
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王家林;羅楊;牛巖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;G06T7/66;G06T7/20
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 于彬

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、電子設(shè)備及晶圓傳輸系統(tǒng)，該方法包括：獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的第一目標(biāo)圖像，確定第一標(biāo)記的當(dāng)前位置；基于第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第一標(biāo)記與第二標(biāo)記的位置關(guān)系，確定第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置；基于第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的第二目標(biāo)圖像，確定第二標(biāo)記的當(dāng)前位置；基于第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第二標(biāo)記的當(dāng)前位置，確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置以及晶圓形心偏移量；按照晶圓形心偏移量控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，將待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置移動(dòng)至目標(biāo)位置處。通過(guò)采用上述晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、電子設(shè)備及晶圓傳輸系統(tǒng)，解決了現(xiàn)有晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)過(guò)程較為復(fù)雜的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、電子設(shè)備及晶圓傳輸系統(tǒng)。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，晶圓加工處理的過(guò)程越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)于晶圓加工處理過(guò)程中晶圓的傳輸精度的要求也越來(lái)越高，晶圓的傳輸是通過(guò)晶圓傳輸系統(tǒng)來(lái)完成的，在傳輸完成前需要對(duì)晶圓進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn)，以使其對(duì)準(zhǔn)后的位置符合精度要求。

目前，晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)的方案為：將晶圓放置在晶圓傳輸系統(tǒng)的預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)上，利用線陣相機(jī)和面陣相機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行定位及位置對(duì)準(zhǔn)，該方案不但需要設(shè)置機(jī)械、電器機(jī)構(gòu)較為復(fù)雜的預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)，而且還要利用線陣相機(jī)和面陣相機(jī)對(duì)晶圓進(jìn)行定位及對(duì)準(zhǔn)，導(dǎo)致了晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)過(guò)程復(fù)雜，以及整個(gè)晶圓傳輸系統(tǒng)占用空間較大的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本申請(qǐng)的目的在于提供一種晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法、電子設(shè)備及晶圓傳輸系統(tǒng)，解決了晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)過(guò)程較為復(fù)雜的問(wèn)題。

第一方面，本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種晶圓位置預(yù)對(duì)準(zhǔn)方法，應(yīng)用于晶圓傳輸系統(tǒng)，晶圓傳輸系統(tǒng)包括晶圓承載平臺(tái)，所述晶圓承載平臺(tái)上放置有待對(duì)準(zhǔn)晶圓，所述待對(duì)準(zhǔn)晶圓表面設(shè)置有第一標(biāo)記以及第二標(biāo)記，方法包括：

獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的第一目標(biāo)圖像，確定第一標(biāo)記的當(dāng)前位置；

基于第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第一標(biāo)記與第二標(biāo)記的位置關(guān)系，確定第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置；

基于第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的第二目標(biāo)圖像，確定第二標(biāo)記的當(dāng)前位置；

基于第一標(biāo)記的當(dāng)前位置以及第二標(biāo)記的當(dāng)前位置，利用第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置三者之間的位置關(guān)系，確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置以及晶圓形心偏移量，晶圓形心偏移量是待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置與目標(biāo)位置之間的偏移量；

按照晶圓形心偏移量控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，將待對(duì)準(zhǔn)晶圓的形心位置移動(dòng)至目標(biāo)位置處。

可選地，晶圓傳輸系統(tǒng)還包括攝像設(shè)備；獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的第一目標(biāo)圖像，確定第一標(biāo)記的當(dāng)前位置，包括：獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓的尺寸信息；基于待對(duì)準(zhǔn)晶圓的尺寸信息，確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置；確定待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置相對(duì)于攝像設(shè)備位置的偏移量；基于第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置相對(duì)于攝像設(shè)備位置的偏移量控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，以使待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記的基準(zhǔn)位置處于攝像設(shè)備視野內(nèi)；控制攝像設(shè)備針對(duì)待對(duì)準(zhǔn)晶圓第一標(biāo)記進(jìn)行拍照，獲取第一目標(biāo)圖像；利用圖像識(shí)別算法對(duì)第一目標(biāo)圖像進(jìn)行解析，確定第一標(biāo)記的當(dāng)前位置。

可選地，基于第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，獲取待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的第二目標(biāo)圖像，確定第二標(biāo)記的當(dāng)前位置，包括：基于第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置，確定第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置與攝像設(shè)備位置之間的偏移量；按照第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置與攝像設(shè)備位置之間的偏移量控制晶圓承載平臺(tái)移動(dòng)，以使待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記的預(yù)期當(dāng)前位置處于攝像設(shè)備視野內(nèi)；控制攝像設(shè)備針對(duì)待對(duì)準(zhǔn)晶圓第二標(biāo)記進(jìn)行拍照獲取第二目標(biāo)圖像；利用圖像識(shí)別算法對(duì)第二目標(biāo)圖像進(jìn)行解析，確定第二標(biāo)記的當(dāng)前位置。