[發(fā)明專利]一種靶材組件的焊接方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210280072.0 | 申請日： | 2022-03-21 |
| 公開（公告）號： | CN114453691A | 公開（公告）日： | 2022-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚力軍;竇興賢;王學(xué)澤;王青松;張慧友 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B23K1/00 | 分類號： | B23K1/00;B23K1/20;B23K31/02 |
| 代理公司： | 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 組件 焊接 方法 | ||
1.一種靶材組件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括以下步驟：
(1)將靶材和背板進(jìn)行熱處理，然后在靶材的焊接面和背板的焊接面涂覆焊料，得到第一靶材和第一背板；
(2)采用鋼絲刷對步驟(1)得到的所述第一靶材的焊接面進(jìn)行第一浸潤處理；所述第一浸潤處理包括采用鋼絲刷在第一靶材的焊接面旋轉(zhuǎn)帶動焊料進(jìn)行摩擦，然后超聲，得到第二靶材；
(3)采用鋼絲刷對步驟(1)得到的所述第一背板的焊接面進(jìn)行第二浸潤處理；所述第二浸潤處理包括采用鋼絲刷在第一背板的焊接面旋轉(zhuǎn)帶動焊料進(jìn)行摩擦，然后超聲，得到第二背板；
(4)將步驟(2)得到的所述第二靶材和步驟(3)得到的所述第二背板進(jìn)行焊接，得到靶材組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接方法，其特征在于，步驟(1)所述靶材的材質(zhì)包括Al、Ti、Cu、Si、W、Co、Ni或Mo中的任意一種，優(yōu)選為Mo；
優(yōu)選地，所述靶材的純度＞99.9％；
優(yōu)選地，所述靶材的平面度＜1mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，步驟(1)所述焊料包括銦焊料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，步驟(1)所述熱處理的溫度為240-260℃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，步驟(1)所述熱處理的時(shí)間為30-50min。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，步驟(2)所述鋼絲刷的轉(zhuǎn)速為2800-3200r/min；
優(yōu)選地，所述第一浸潤處理的時(shí)間為20-30min。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，步驟(2)所述超聲的功率為1200-2000W；
優(yōu)選地，步驟(2)所述超聲的頻率為40-60Hz；
優(yōu)選地，步驟(2)所述超聲的時(shí)間為10-20min。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，步驟(3)所述鋼絲刷的轉(zhuǎn)速為2000-2400r/min；
優(yōu)選地，所述第二浸潤處理的時(shí)間為5-15min。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，步驟(3)所述超聲的功率為1200-2000W；
優(yōu)選地，步驟(3)所述超聲的頻率為40-60Hz；
優(yōu)選地，步驟(3)所述超聲的時(shí)間為5-15min。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括以下步驟：
(1)將靶材和背板在240-260℃下熱處理30-50min，然后在靶材的焊接面和背板的焊接面涂覆銦焊料，得到第一靶材和第一背板，所述靶材的材質(zhì)包括Al、Ti、Ta、Cu、Si、W、Co、Ni或Mo中的任意一種，靶材的純度＞99.9％，靶材的平面度＜1mm；
(2)采用鋼絲刷對步驟(1)得到的所述第一靶材的焊接面進(jìn)行第一浸潤處理，所述第一浸潤處理包括采用鋼絲刷在第一靶材的焊接面旋轉(zhuǎn)帶動焊料進(jìn)行摩擦，然后在功率為1200-2000W，頻率為40-60Hz的條件下超聲處理10-20min，得到第二靶材，所述鋼絲刷的轉(zhuǎn)速為2800-3200r/min，所述第一浸潤處理的時(shí)間為20-30min；
(3)采用鋼絲刷對步驟(1)得到的所述第一背板的焊接面進(jìn)行第二浸潤處理，所述第二浸潤處理包括采用鋼絲刷在第一背板的焊接面旋轉(zhuǎn)帶動焊料進(jìn)行摩擦，然后在功率為1200-2000W，頻率為40-60Hz的條件下超聲處理5-15min，得到第二背板，所述鋼絲刷的轉(zhuǎn)速為2000-2400r/min，所述第二浸潤處理的時(shí)間為5-15min；
(4)將步驟(2)得到的所述第二靶材和步驟(3)得到的所述第二背板進(jìn)行焊接，得到靶材組件。
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