[發(fā)明專利]一種超高純銅靶材熱擠壓成型方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210280060.8
• 申請日: 2022-03-21
• 公開（公告）號: CN114589212A
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;周友平;慕二龍;汪焱斌
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B21C25/02
• 分類號: B21C25/02;B21C23/14;B21C29/00;C23C14/34;C22F1/08
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 牛海燕

1.一種超高純銅靶材熱擠壓成型方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：將超高純銅桿加熱至750-850℃，然后依次進(jìn)行熱擠壓和冷卻，得到超高純銅靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述超高純銅桿的直徑為10-20mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述熱擠壓的速度為220-380mm/min；

優(yōu)選地，所述冷卻的溫度為20-30℃；

優(yōu)選地，所述冷卻使用的冷卻液為工業(yè)酒精與水的混合液；

優(yōu)選地，所述工業(yè)酒精的濃度為5-10％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的方法，其特征在于，所述熱擠壓和冷卻之間還包括防氧化處理；

優(yōu)選地，所述防氧化處理為將熱擠壓成型的超高純銅板坯通過真空防氧化裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的方法，其特征在于，所述熱擠壓的擠壓模具為五級階梯式擴(kuò)展變形通道；

優(yōu)選地，所述擠壓模具加熱的溫度為650-700℃；

優(yōu)選地，所述五級階梯式擴(kuò)展變形通道的每一級的擴(kuò)展厚度均相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述五級階梯式擴(kuò)展變形通道的第一級擴(kuò)展變形通道的擴(kuò)展角度為30-40°，擴(kuò)展高度為10-15mm，擴(kuò)展寬度為20-30mm，擴(kuò)展厚度為30-40mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述五級階梯式擴(kuò)展變形通道的第二級擴(kuò)展變形通道的擴(kuò)展角度為95-105°，擴(kuò)展高度為10-20mm，擴(kuò)展寬度為80-100mm，擴(kuò)展厚度為30-40mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求5-7任一項所述的方法，其特征在于，所述五級階梯式擴(kuò)展變形通道的第三級擴(kuò)展變形通道的擴(kuò)展角度為150-160°，擴(kuò)展高度為10-20mm，擴(kuò)展寬度為180-230mm，擴(kuò)展厚度為30-40mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求5-8任一項所述的方法，其特征在于，所述五級階梯式擴(kuò)展變形通道的第四級擴(kuò)展變形通道的擴(kuò)展角度為155-165°，擴(kuò)展高度為10-20mm，擴(kuò)展寬度為350-400mm，擴(kuò)展厚度為30-40mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求5-9任一項所述的方法，其特征在于，所述五級階梯式擴(kuò)展變形通道的第五級擴(kuò)展變形通道的擴(kuò)展角度為100-110°，擴(kuò)展高度為25-35mm，擴(kuò)展寬度為400-480mm，擴(kuò)展厚度為30-40mm。