[發明專利]一種硅基液晶清洗裝置及清洗方法

有效

• 申請號: 202210258005.9
• 申請日: 2022-03-16
• 公開（公告）號: CN114713545B
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 何軍;胡健
• 申請（專利權）人: 南京芯視元電子有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;F26B21/00;A61L2/10;A61L2/26
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 崔熠

本發明公開了一種硅基液晶清洗裝置及清洗方法，涉及硅基液晶生產技術領域，本發明的硅基液晶清洗裝置，包括具有容納空間的矩體框架以及在矩體框架上圍繞容納空間并沿第一方向間隔設置的多個呈U型的固定架，固定架所在的平面與第一方向垂直，固定架包括依次連接的三個子支架，三個子支架上分別設有卡槽，卡槽的槽口分別朝向容納空間設置，還包括轉動設置在矩體框架或固定架上的清洗組件，清洗組件和矩體框架沿與第一方向垂直的第二方向依次分布。本發明提供的硅基液晶清洗裝置，能夠避免在清洗過程中硅基液晶表面劃痕、劃傷的產生，降低破片的風險，提高清洗良率和清洗效率。

技術領域

本發明涉及硅基液晶生產技術領域，具體而言，涉及一種硅基液晶清洗裝置及清洗方法。

背景技術

硅基液晶(Liquid?Crystal?on?Silicon，LCoS)屬于反射式微顯示器件，與透射式液晶相比具有體積小、分辨率高以及光利用率高(開口率高)等優點。目前，硅基液晶已被廣泛應用于增強現實、虛擬現實、車載抬頭顯示、光通訊和微型投影等新興產品中。

硅基液晶器件的制備相對于傳統透射式液晶器件的制備來說難度更高，其潔凈度要遠高于傳統透射式液晶器件。對于硅基液晶清洗工藝，至少要求1μm以上的顆粒去除率達到98％以上，且在硅基液晶的有效顯示區域內不允許有異物的存在，否則會嚴重影響硅基液晶器件的性能。

現有的硅基液晶清洗工藝中，控制硅基液晶前進的機構是硅基液晶兩側的滾輪，會在硅基液晶的表面造成劃痕/劃傷。同時，清洗工藝中需要嚴格協調各驅動機構步調一致，任何一個環節出現異常就可能會造成破片風險。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硅基液晶清洗裝置及清洗方法，其能夠對硅基液晶進行固定且不會損傷器件表面，還能夠降低破片風險。

本發明的實施例是這樣實現的：

一種硅基液晶清洗裝置，其包括具有容納空間的矩體框架以及在矩體框架上圍繞容納空間并沿第一方向間隔設置的多個呈U型的固定架，固定架所在的平面與第一方向垂直，固定架包括依次連接的三個子支架，三個子支架上分別設有卡槽，卡槽的槽口分別朝向容納空間設置，還包括轉動設置在矩體框架或固定架上的清洗組件，清洗組件和矩體框架沿與第一方向垂直的第二方向依次分布。

可選的，作為一種可實施的方式，同一固定架上的三個卡槽的中心位于同一圓周上。

可選的，作為一種可實施的方式，卡槽的截面形狀為矩形或三角形。

可選的，作為一種可實施的方式，清洗組件包括多個第一藥液噴頭和第二藥液噴頭，第一藥液噴頭和第二藥液噴頭分別位于矩體框架的兩側且成對設置，多個第一藥液噴頭和多個第二藥液噴頭分別沿第一方向成排設置并沿第三方向成列設置，第一藥液噴頭和第二藥液噴頭的旋轉平面垂直于第三方向，第三方向分別垂直于第一方向和第二方向。

可選的，作為一種可實施的方式，一列第一藥液噴頭沿第三方向的總噴吐范圍和一列第二藥液噴頭沿第三方向的總噴吐范圍均大于或等于固定在固定架上的硅基液晶在第三方向上的直線尺寸，成對設置的兩個第一藥液噴頭和第二藥液噴頭沿第二方向的噴吐范圍均大于或等于硅基液晶在第二方向上的直線尺寸。

可選的，作為一種可實施的方式，單個第一藥液噴頭和第二藥液噴頭在第三方向上的噴吐角度滿足：其中，θ₁為單個第一藥液噴頭或第二藥液噴頭噴出的藥液在第三方向上的夾角，c為硅基液晶在第三方向上的直線尺寸，n為每列第一藥液噴頭或每列第二藥液噴頭的數量，a為第一藥液噴頭或第二藥液噴頭在第一方向上與硅基液晶表面之間的垂直距離，b為第一藥液噴頭在第二方向上與硅基液晶上邊緣之間的垂直距離或第二藥液噴頭在第二方向上與硅基液晶下邊緣之間的垂直距離。