[發(fā)明專利]一種光刻機用混合光源發(fā)生裝置

有效

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• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN114488720B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發(fā)明（設計）人: 王華;陳志特;吳中海;甘泉
• 申請（專利權）人: 廣東科視光學技術股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市華盛智薈知識產權代理事務所(普通合伙) 44604
• 代理人: 胡國英

本發(fā)明公開一種光刻機用混合光源發(fā)生裝置，包括安裝軸、激光源、LED光源安裝架；安裝軸的底部安裝有激光源，安裝軸的底部設置有底環(huán)，底環(huán)的外壁與活動軸的底端活動連接，活動軸上設置有LED光源安裝架，LED光源安裝架上環(huán)形陣列設置有多個不同功率的LED光源，活動軸的上方套設有安裝環(huán)，安裝環(huán)通過活動桿與移動塊連接；活動軸沿著安裝軸環(huán)形陣列設置有多個；安裝軸內腔的頂部設置有驅動氣缸，驅動氣缸的輸出端與移動塊連接，移動塊環(huán)形陣列設置有多個限位活動塊，限位活動塊與活動桿活動連接；本發(fā)明的旋轉機構與安裝軸的調節(jié)相互配合，在多角度的情況下，可以對活動軸進行轉動，調節(jié)出不同工藝要求的LED光源。

技術領域

本發(fā)明屬于光刻機技術領域，具體為一種光刻機用混合光源發(fā)生裝置。

背景技術

光刻機是半導體產業(yè)中最關鍵的設備，它決定著芯片的性能、大小等最核心的地方。

中國專利CN205210510U公開了一種光刻機光源技術方案為，包括10顆以上的紫外線燈珠均勻分布在光源板正面，紫外線燈珠通過導線連接到發(fā)生器上，發(fā)生器調節(jié)光源強度。

現(xiàn)有技術中，光刻機一般選用半導體激光器作為曝光光源，而激光存在衰減的問題，以及現(xiàn)有的激光源等結構都是采用固定方式進行安裝的，所以在適用于不同工藝生產時，需要將此進行拆卸，而來滿足其生產，所以目前的光源存在適用性比較低的問題。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的就在于為了解決上述背景技術的問題，而提出一種光刻機用混合光源發(fā)生裝置，其旋轉機構與安裝軸的調節(jié)相互配合，在多角度的情況下，可以對活動軸進行轉動，調節(jié)出不同工藝要求的LED光源。

本發(fā)明的目的可以通過以下技術方案實現(xiàn)：

一種光刻機用混合光源發(fā)生裝置，包括安裝軸、激光源、LED光源安裝架；

安裝軸的底部安裝有激光源，安裝軸的底部設置有底環(huán)，底環(huán)的外壁與活動軸的底端活動連接，活動軸上設置有LED光源安裝架，LED光源安裝架上環(huán)形陣列設置有多個不同功率的LED光源，活動軸的上方套設有安裝環(huán)，安裝環(huán)通過活動桿與移動塊連接；

活動軸沿著安裝軸環(huán)形陣列設置有多個。

作為本發(fā)明進一步的方案：安裝軸內腔的頂部設置有驅動氣缸，驅動氣缸的輸出端與移動塊連接，移動塊環(huán)形陣列設置有多個限位活動塊，限位活動塊與活動桿活動連接。

作為本發(fā)明進一步的方案：安裝軸的側壁上設置有與限位活動塊相適配的滑槽。

作為本發(fā)明進一步的方案：活動軸的頂部設置有旋轉機構，旋轉機構的固定箱安裝在安裝軸的頂端上，且固定箱的頂部設置有驅動電機，驅動電機的輸出端與主轉軸連接，主轉軸上套設有主齒輪，主轉軸的四周環(huán)形陣列設置有多個副轉軸，副轉軸上套設有副齒輪，主齒輪與副齒輪嚙合連接；副轉軸的底端通過伸縮聯(lián)軸器與活動軸的頂端連接。

作為本發(fā)明進一步的方案：伸縮聯(lián)軸器包括活動轉軸和活動套管，活動轉軸的一端與副轉軸的底端活動連接，活動轉軸的另一端延伸至活動套管的內腔，并與活動套管滑動連接，活動套管遠離活動轉軸的一端與活動軸活動連接。

作為本發(fā)明進一步的方案：LED光源安裝架包括基架，基架套設在活動軸上，并間隔設置有兩個，基架上環(huán)形陣列設置有多個LED光源安裝桿，LED光源安裝桿上安裝有LED光源。

作為本發(fā)明進一步的方案：基架由多個連接桿環(huán)形陣列設置而成。

作為本發(fā)明進一步的方案：每組連接桿之間安裝有一個LED光源。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明以激光源為主光源，可以同時設置有多個LED光源為輔助光源，從而形成結構簡單的混合光源裝置，當激光源的能量因衰減而達不到預期能量時，LED光源可對其進行補償；