[發明專利]一種光刻機用混合光源發生裝置

有效

• 申請號: 202210247408.3
• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN114488720B
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 王華;陳志特;吳中海;甘泉
• 申請（專利權）人: 廣東科視光學技術股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市華盛智薈知識產權代理事務所(普通合伙) 44604
• 代理人: 胡國英

1.一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，包括安裝軸（1）、激光源（2）、LED光源安裝架（5）；

安裝軸（1）的底部安裝有激光源（2），安裝軸（1）的底部設置有底環（3），底環（3）的外壁與活動軸（4）的底端活動連接，活動軸（4）上設置有LED光源安裝架（5），LED光源安裝架（5）上環形陣列設置有多個不同功率的LED光源（25），活動軸（4）的上方套設有安裝環（6），安裝環（6）通過活動桿（7）與移動塊（8）連接；

活動軸（4）沿著安裝軸（1）環形陣列設置有多個。

2.根據權利要求1所述的一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，安裝軸（1）內腔的頂部設置有驅動氣缸（18），驅動氣缸（18）的輸出端與移動塊（8）連接，移動塊（8）環形陣列設置有多個限位活動塊（19），限位活動塊（19）與活動桿（7）活動連接。

3.根據權利要求2所述的一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，安裝軸（1）的側壁上設置有與限位活動塊（19）相適配的滑槽。

4.根據權利要求1所述的一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，活動軸（4）的頂部設置有旋轉機構，旋轉機構（9）的固定箱（10）安裝在活動軸（1）的頂端上，且固定箱（10）的頂部設置有驅動電機（11），驅動電機（11）的輸出端與主轉軸（12）連接，主轉軸（12）上套設有主齒輪（13），主轉軸（12）的四周環形陣列設置有多個副轉軸（14），副轉軸（14）上套設有副齒輪（15），主齒輪（13）與副齒輪（15）嚙合連接；副轉軸（14）的底端通過伸縮聯軸器與活動軸（4）的頂端連接。

5.根據權利要求4所述的一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，伸縮聯軸器包括活動轉軸（16）和活動套管（17），活動轉軸（16）的一端與副轉軸（14）的底端活動連接，活動轉軸（16）的另一端延伸至活動套管（17）的內腔，并與活動套管（17）滑動連接，活動套管（17）遠離活動轉軸（16）的一端與活動軸（4）活動連接。

6.根據權利要求5所述的一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，LED光源安裝架（5）包括基架（20），基架（20）套設在活動軸（4）上，并間隔設置有兩個，基架（20）上環形陣列設置有多個LED光源安裝桿（21），LED光源安裝桿（21）上安裝有LED光源（25）。

7.根據權利要求6所述的一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，基架（20）由多個連接桿環形陣列設置而成。

8.根據權利要求7所述的一種光刻機用混合光源發生裝置，其特征在于，每組連接桿之間安裝有一個LED光源（25）。