[發(fā)明專利]一種晶圓臺藍膜張緊方法及調(diào)整機構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210246594.9
• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN114649255A
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 丁琛琦
• 申請（專利權(quán)）人: 馬丁科瑞半導(dǎo)體技術(shù)（南京）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 南京科知維創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 32270
• 代理人: 王萍萍

1.一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述調(diào)整機構(gòu)包括底板（1）、設(shè)置在底板（1）上方的轉(zhuǎn)盤（2）、設(shè)置在底板（1）內(nèi)的調(diào)整塊（3）、連接底板（1）以及轉(zhuǎn)盤（2）的導(dǎo)輪（4）、設(shè)置在轉(zhuǎn)盤（2）上方的張緊座（5）、與張緊座（5）可拆卸連接的晶圓夾組件（6）、環(huán)繞在轉(zhuǎn)盤（2）外側(cè)的同步帶（7）、以及設(shè)置在所述底板（1）上的晶圓臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件（8）、張緊輪組件（9）、傳感器組件（10）、拉伸彈簧（11）、張緊驅(qū)動組件（12）、傳感器推送組件（13）和總光電開關(guān)（14）；所述拉伸彈簧（11）連接所述傳感器推送組件（13）和張緊驅(qū)動組件（12）；所述同步帶（7）依次纏繞過晶圓臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件（8）、張緊輪組件（9）、傳感器組件（10）、張緊驅(qū)動組件（12）、傳感器推送組件（13）和總光電開關(guān)（14）。

2.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)盤（2）上設(shè)有擋圈（2-1）、同步輪（2-2）、彈性鎖緊組件（2-3）以及圓弧軌道（2-4）；所述轉(zhuǎn)盤（2）呈“工”字形；所述擋圈（2-1）設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤（2）的上下兩側(cè)；所述同步輪（2-2）可旋轉(zhuǎn)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤（2）的中部；所述彈性鎖緊組件（2-3）設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤（2）的一端上；所述圓弧軌道（2-4）設(shè)置在所述轉(zhuǎn)盤（2）的內(nèi)側(cè)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述晶圓夾組件（6）包括晶圓夾張緊螺栓（6-1）、基座（6-2）、壓環(huán)（6-3）、圓環(huán)到位檢測片（6-4）以及限位檢測片（6-5）；所述基座（6-2）的下部上還設(shè)有杠桿機構(gòu)（6-6）；所述圓環(huán)到位檢測片（6-4）設(shè)置在所述杠桿機構(gòu)（6-6）上；所述限位檢測片（6-5）設(shè)置在所述圓環(huán)到位檢測片（6-4）的后端上；所述晶圓夾張緊螺栓（6-1）設(shè)置在所述基座（6-2）的下端上；所述壓環(huán)（6-3）設(shè)置在所述基座（6-2）的上端面上。

4.如權(quán)利要求3所述的一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述傳感器組件（10）包括傳感器支架（10-1）、氣缸（10-2）、固定板（10-3）、連接板（10-7）以及上光電開關(guān)（10-4）、下光電開關(guān)（10-5）和檢測光電開關(guān)（10-6）組成；所述氣缸（10-2）的底面與所述傳感器支架（10-1）固定連接；所述氣缸（10-2）的活塞桿與所述連接板（10-7）固定連接；所述連接板（10-7）通過螺釘可拆卸連接在所述固定板（10-3）的右端面上；所述上光電開關(guān)（10-4）、下光電開關(guān)（10-5）和檢測光電開關(guān)（10-6）可拆卸連接在所述固定板（10-3）的左端面上。

5.如權(quán)利要求4所述的一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述傳感器推送組件（13）包括微動開關(guān)（13-1）、底座（13-3）、軸承（13-2）、直線軸承（13-4）、推桿（13-5）以及推送連接板（13-6）；所述推桿（13-5）和所述氣缸（10-2）的活塞桿與所述推送連接板（13-6）連接；所述微動開關(guān)（13-1）設(shè)置在所述底座（13-3）的前端；所述軸承（13-2）與推桿（13-5）連接在一起。

6.如權(quán)利要求5所述的一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述張緊驅(qū)動組件（12）上設(shè)有支架（12-1）、連接軸（12-2）、圓錐齒輪（12-3）、推頂塊（12-4）以及鎖緊鉤（12-5）；所述圓錐齒輪（12-3）設(shè)有兩個，兩個圓錐齒輪（12-3）相互垂直設(shè)置在所述支架（12-1）內(nèi)；所述鎖緊鉤（12-5）設(shè)置在所述支架（12-1）的前端；所述推頂塊（12-4）設(shè)置在所述支架（12-1）的上端；所述張緊驅(qū)動組件（12）上還設(shè)有第二檢測光電開關(guān)（12-6）；所述第二檢測光電開關(guān)（12-6）設(shè)置在所述張緊驅(qū)動組件（12）的前端。

7.如權(quán)利要求6所述的一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，其特征在于：所述張緊座（5）上設(shè)有主動輪組件（5-1）、鎖緊套（5-2）、卡扣（5-3）、惰輪組件（5-4）、從動輪組件（5-5）以及張緊座底座（5-6）；所述卡扣（5-3）卡在彈性鎖緊組件（2-3）的彈性柱上；所述同步輪（2-2）的上表面定位銷與張緊座底座（5-6）下部定位槽配合；所述主動輪組件（5-1）上設(shè)有齒輪。

8.如權(quán)利要求7所述的一種晶圓臺藍膜張緊調(diào)整機構(gòu)，還設(shè)計一種晶圓臺藍膜張緊方法，具體步驟下：

S1：啟動驅(qū)動組件上的電機，使得晶圓臺啟動旋轉(zhuǎn)，同時總光電開關(guān)處于被遮擋輸出信號狀態(tài)；

S2：將晶圓臺旋轉(zhuǎn)至預(yù)定角度；

S3：傳感器組件上的氣缸伸出，將上光電開關(guān)、下光電開關(guān)以及檢測光電開關(guān)推送至檢測位置，此時檢測光電開關(guān)處于遮擋輸出信號狀態(tài)；

S4：推頂組件上的氣缸縮回，將張緊驅(qū)動組件推出，使鎖緊鉤鎖住鎖緊套，將晶圓臺鎖定，此時張緊驅(qū)動組件上的齒輪與主動輪組件上的齒輪嚙合；

S5：電機繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，晶圓夾組件向下運動張緊藍膜，電機旋轉(zhuǎn)預(yù)定轉(zhuǎn)數(shù)，使藍膜張緊到位；

S6：推頂組件上的氣缸伸出，拉伸彈簧將張緊驅(qū)動組件拉回原位；當微動開關(guān)閉合輸出信號，說明張緊驅(qū)動組件已被拉回原位；傳感器組件上的氣缸縮回；

S7：系統(tǒng)根據(jù)視覺系統(tǒng)反饋的晶圓角度偏差，電機再次啟動晶圓臺旋轉(zhuǎn)補償晶圓角度偏差，以達到精確的位置。