[發明專利]一種晶圓臺藍膜張緊方法及調整機構

在審

• 申請號: 202210246594.9
• 申請日: 2022-03-14
• 公開（公告）號: CN114649255A
• 公開（公告）日: 2022-06-21
• 發明（設計）人: 丁琛琦
• 申請（專利權）人: 馬丁科瑞半導體技術（南京）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 南京科知維創知識產權代理有限責任公司 32270
• 代理人: 王萍萍

本發明提供一種晶圓臺藍膜張緊方法及調整機構。包括底板、設置在底板上方的轉盤、設置在底板內的調整塊、連接底板以及轉盤的導輪、設置在轉盤上方的張緊座、與張緊座可拆卸連接的晶圓夾組件、環繞在轉盤外側的同步帶、以及設置在所述底板上的晶圓臺旋轉驅動組件、張緊輪組件、傳感器組件、拉伸彈簧、張緊驅動組件、傳感器推送組件和總光電開關；所述拉伸彈簧連接所述傳感器推送組件和張緊驅動組件；本發明實現全自動張緊藍膜和晶圓角度調整。在通過使用同步帶的設計，再配合推頂組件以及傳感器組件使晶圓臺保持高精度；并且使用方便簡單。

技術領域

本發明涉及SMT電子元器件生產技術領域，特別涉及一種晶圓臺藍膜張緊方法及調整機構。

背景技術

在晶圓整體封裝過程中，在整片的晶圓片的背面貼上藍膜，后續需要對藍膜進行處理，使藍膜擴張。藍膜擴張完畢后，還需旋轉晶圓。因此需要一種能夠使晶圓臺既能旋轉又能擴張的結構，現有技術中一般使用大型導軌，做上下移動的限位。但大型導軌的使用使晶圓臺側面加工不易，精度不容易保持；并且導軌的平行校正復雜，整體旋轉與升降裝置結構復雜，安裝困難。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種晶圓臺藍膜張緊方法及調整機構。

為實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：一種晶圓臺藍膜張緊調整機構，所述調整機構包括底板、設置在底板上方的轉盤、設置在底板內的調整塊、連接底板以及轉盤的導輪、設置在轉盤上方的張緊座、與張緊座可拆卸連接的晶圓夾組件、環繞在轉盤外側的同步帶、以及設置在所述底板上的晶圓臺旋轉驅動組件、張緊輪組件、傳感器組件、拉伸彈簧、張緊驅動組件、傳感器推送組件和總光電開關；所述拉伸彈簧連接所述傳感器推送組件和張緊驅動組件；所述同步帶依次纏繞過晶圓臺旋轉驅動組件、張緊輪組件、傳感器組件、張緊驅動組件、傳感器推送組件和總光電開關。

較佳的，所述轉盤上設有擋圈、同步輪、彈性鎖緊組件以及圓弧軌道；所述轉盤呈“工”字形；所述擋圈設置在所述轉盤的上下兩側；所述同步輪可旋轉設置在所述轉盤的中部；所述彈性鎖緊組件設置在所述轉盤的一端上；所述圓弧軌道設置在所述轉盤的內側。

較佳的，所述晶圓夾組件包括晶圓夾張緊螺栓、基座、壓環、圓環到位檢測片以及限位檢測片；所述基座的下部上還設有杠桿機構；所述圓環到位檢測片設置在所述杠桿機構上；所述限位檢測片設置在所述圓環到位檢測片的后端上；所述晶圓夾張緊螺栓設置在所述基座的下端上；所述壓環設置在所述基座的上端面上。

較佳的，所述傳感器組件包括傳感器支架、氣缸、固定板、連接板以及上光電開關、下光電開關和檢測光電開關組成；所述氣缸的底面與所述傳感器支架固定連接；所述氣缸的活塞桿與所述連接板固定連接；所述連接板通過螺釘可拆卸連接在所述固定板的右端面上；所述上光電開關、下光電開關和檢測光電開關可拆卸連接在所述固定板的左端面上。

較佳的，所述傳感器推送組件包括微動開關、底座、軸承、直線軸承、推桿以及推送連接板；所述推桿和所述氣缸的活塞桿與所述推送連接板連接；所述微動開關設置在所述底座的前端；所述軸承與推桿連接在一起。

較佳的，所述張緊驅動組件上設有支架、連接軸、圓錐齒輪、推頂塊以及鎖緊鉤；所述圓錐齒輪設有兩個，兩個圓錐齒輪相互垂直設置在所述支架內；所述鎖緊鉤設置在所述支架的前端；所述推頂塊設置在所述支架的上端；所述張緊驅動組件上還設有第二檢測光電開關；；所述第二檢測光電開關設置在所述張緊驅動組件的前端。

較佳的，所述張緊座上設有主動輪組件、鎖緊套、卡扣、惰輪組件、從動輪組件以及張緊座底座；所述卡扣卡在彈性鎖緊組件的彈性柱上；所述同步輪的上表面定位銷與張緊座底座下部定位槽配合；所述主動輪組件上設有齒輪。

一種晶圓臺藍膜張緊方法，具體步驟下：

S1：啟動驅動組件上的電機，使得晶圓臺啟動旋轉，同時總光電開關處于被遮擋輸出信號狀態；

S2：將晶圓臺旋轉至預定角度；