[發明專利]紫外固化裝置、襯底處理設備及襯底處理方法

在審

• 申請號: 202210244114.5
• 申請日: 2022-03-11
• 公開（公告）號: CN115069518A
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發明（設計）人: 梁相熙;劉正必;崔鍾權;白種化
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: B05D3/06
• 分類號: B05D3/06;B05D3/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 屈蓓;臧建明

本公開涉及一種紫外固化裝置、襯底處理設備及襯底處理方法。襯底處理方法包括：制備涂布有光固化材料的襯底；將襯底安置在襯底支撐件上；在襯底上方使用襯底的局部區域形成用于襯底的處理空間；在處理空間中形成惰性氣體氣氛；以及在其中形成有惰性氣體氣氛的處理空間中輻照紫外光。由于用于襯底的處理空間局部地形成在襯底上方，因此可改善襯底處理效率。

技術領域

本公開涉及一種紫外(ultraviolet，UV)固化裝置、襯底處理設備及一種襯底處理方法，且更具體來說，涉及能夠在襯底上方局部地形成襯底處理空間以改善襯底處理效率的一種UV固化裝置、襯底處理設備及一種襯底處理方法。

背景技術

一般來說，涂布(coating)代表在對象的表面上形成膜的特征，目的是防止對象的表面上的損傷及外來物質貼合且調節反射率。盡管存在各種涂布方法，但UV固化涂布最近得到廣泛使用。

UV固化涂布是以下方法：所述方法用于形成膜，使得將作為光固化材料(photocurable material)的UV涂布溶液施加在對象的表面上，且使用UV光輻照UV涂布溶液以使UV涂布溶液固化。如上所述形成的膜具有例如高光澤、高硬度及耐化學性等性質。另外，由于UV涂布溶液的固化速度比熱固化方法快，因此可改善生產率，且由于省略熱處置工藝，因此可減少工藝的數目。另外，由于在UV固化涂布中不使用有機溶劑，因此UV固化涂布可最小程度地影響環境，且由于使用UV光，因此可將UV固化涂布容易地施加到容易熱變形的對象上。具體來說，由于UV涂布溶液的固化速度在幾秒到幾十秒之間極快，因此UV涂布溶液對于對顯示器的領域中使用的光學膜不間斷地實行涂布是非常有利的。

然而，具有200nm或小于200nm的波長的UV光的局限性在于：UV光吸收空氣中的氧氣以產生臭氧，且空氣中的氧氣會限制由UV涂布溶液的UV光引起的化學反應，從而降低固化密度。另外，當UV涂布溶液在光學膜的涂布期間接觸氧氣時，UV涂布溶液被氧化以使光學功能劣化。

因此，在將對象裝載到腔室中之后實行UV固化涂布，且將腔室的內部轉換成氮氣氣氛以降低氧氣濃度。然而，上述方法的局限性在于：隨著對象的大小增加，腔室的大小也增加，且對腔室的內部氣氛進行轉換所需的時間增加，從而降低生產率。

[相關技術文獻]

[專利文獻]

(專利文獻1)KR10-1032398B

發明內容

本公開提供能夠通過減少襯底處理時間來改善生產率的一種UV固化裝置、襯底處理設備及一種襯底處理方法。

根據示例性實施例，一種UV固化裝置包括：主體，被安裝成沿著待處理對象的上部部分移動；UV燈，安裝在所述主體的下部部分上；壁部，連接到所述主體的所述下部部分，以在所述待處理對象與所述主體之間形成處理空間；氣體供應部，具有安裝在所述壁部上的部分，以向所述處理空間供應惰性氣體；以及控制單元，被配置成控制所述氣體供應部的操作。

所述壁部可具有中空形狀，所述中空形狀具有敞開的上部部分及下部部分。

所述壁部可包括在垂直方向上延伸的本體部及設置在所述本體部下方且朝向所述主體的內部彎曲的延伸部。

所述壁部可朝向所述主體的內部及外部的至少一個側傾斜。

所述氣體供應部可包括：噴嘴，安裝在所述壁部的內表面上，以將氣體注入到所述空間；氣體供應管道，連接到所述噴嘴，以將所述氣體供應到所述噴嘴；以及閥，安裝在所述氣體供應管道上。

所述氣體供應部可還包括輔助噴嘴，所述輔助噴嘴安裝在所述壁部的外表面上，以在垂直方向上注入所述氣體。

所述UV固化裝置可還包括濃度計，所述濃度計安裝在所述壁部上，以對所述處理空間中的氧氣濃度進行測量。

所述濃度計可被設置成低于所述噴嘴。