[發(fā)明專利]紫外固化裝置、襯底處理設(shè)備及襯底處理方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210244114.5
• 申請(qǐng)日: 2022-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN115069518A
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁相熙;劉正必;崔鍾權(quán);白種化
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): B05D3/06
• 分類號(hào): B05D3/06;B05D3/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 屈蓓;臧建明

1.一種紫外固化裝置，包括：

主體，被安裝成沿著待處理對(duì)象的上部部分移動(dòng)；

紫外燈，安裝在所述主體的下部部分上；

壁部，連接到所述主體的下部部分，以在所述待處理對(duì)象與所述主體之間形成處理空間；

氣體供應(yīng)部，具有安裝在所述壁部上的部分，以向所述處理空間供應(yīng)惰性氣體；以及

控制單元，被配置成控制所述氣體供應(yīng)部的操作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外固化裝置，其中所述壁部具有中空形狀，所述中空形狀具有敞開的上部部分及下部部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外固化裝置，其中所述壁部包括在垂直方向上延伸的本體部及設(shè)置在所述本體部下方且朝向所述主體的內(nèi)部彎曲的延伸部。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紫外固化裝置，其中所述壁部朝向所述主體的內(nèi)部及外部的至少一個(gè)側(cè)傾斜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外固化裝置，其中所述氣體供應(yīng)部包括：

噴嘴，安裝在所述壁部的內(nèi)表面上，以將所述惰性氣體注入到所述處理空間；

氣體供應(yīng)管道，連接到所述噴嘴，以將所述惰性氣體供應(yīng)到所述噴嘴；以及

閥，安裝在所述氣體供應(yīng)管道上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外固化裝置，其中所述氣體供應(yīng)部還包括輔助噴嘴，所述輔助噴嘴安裝在所述壁部的外表面上，以在垂直方向上注入所述氣體。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紫外固化裝置，還包括濃度計(jì)，所述濃度計(jì)安裝在所述壁部上，以對(duì)所述處理空間中的氧氣濃度進(jìn)行測(cè)量。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的紫外固化裝置，其中所述濃度計(jì)被設(shè)置成低于所述噴嘴。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的紫外固化裝置，其中所述控制單元使用所述濃度計(jì)中測(cè)量的結(jié)果來(lái)控制所述閥的操作。

10.一種襯底處理設(shè)備，包括：

襯底支撐單元，被配置成支撐上面施加有光固化材料的襯底；以及

根據(jù)權(quán)利要求1到9中的任一項(xiàng)所述的紫外固化裝置，其中所述紫外固化裝置安裝在所述襯底支撐單元上方。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的襯底處理設(shè)備，還包括溫度計(jì)，所述溫度計(jì)安裝在壁部上，以對(duì)所述襯底的溫度進(jìn)行測(cè)量。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的襯底處理設(shè)備，其中所述襯底支撐單元包括：

襯底支撐件，被配置成支撐設(shè)置在所述襯底支撐件上的所述襯底；以及

冷卻裝置，被配置成對(duì)所述襯底支撐件的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)，

其中控制單元使用所述溫度計(jì)中測(cè)量的結(jié)果來(lái)控制所述冷卻裝置的操作。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的襯底處理設(shè)備，其中所述壁部與所述襯底支撐件間隔開。

14.一種襯底處理方法，包括：

制備涂布有光固化材料的襯底；

將所述襯底安置在襯底支撐件上；

在所述襯底上方使用所述襯底的局部區(qū)域形成用于所述襯底的處理空間；

在所述處理空間中形成惰性氣體氣氛；以及

在其中形成有所述惰性氣體氣氛的所述處理空間中輻照紫外光。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的襯底處理方法，其中輻照所述紫外光包括移動(dòng)其中形成有所述惰性氣體氣氛的所述處理空間。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的襯底處理方法，其中形成所述惰性氣體氣氛及輻照所述紫外光中的至少一者包括對(duì)所述處理空間中的氧氣濃度進(jìn)行測(cè)量。