[發(fā)明專利]射頻探針及其制作方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210244061.7
• 申請(qǐng)日: 2022-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN114460339A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州磁明科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種新型射頻探針，其包括一個(gè)末端導(dǎo)體芯暴露的同軸電纜和一個(gè)接地金屬套，其中暴露的同軸電纜末端導(dǎo)體芯被加工形成探針信號(hào)接觸針頭，而接地金屬套被加工形成探針接地接觸針頭。接地金屬套還包括一個(gè)與同軸電纜同芯的圓柱形開口，使得當(dāng)接地金屬套滑上并固定在同軸電纜暴露端時(shí)，信號(hào)接觸針頭和接地接觸針頭自對(duì)準(zhǔn)以形成阻抗匹配控制的射頻傳輸路徑。

相關(guān)申請(qǐng)交叉參考

本申請(qǐng)主張2021年12月03日遞交的、申請(qǐng)?zhí)枮?3/285,999的美國臨時(shí)專利申請(qǐng)的權(quán)益，在此通過引用結(jié)合到本說明書。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及射頻晶圓探針，其應(yīng)用在于測(cè)量半導(dǎo)體晶圓或高頻印刷電路板(PCB)等基板的平面上制造的集成電路或微電子設(shè)備的射頻參數(shù)及特性。

背景技術(shù)

射頻探針是特殊類型的電氣探頭，其中射頻信號(hào)從同軸測(cè)試電纜傳遞到被測(cè)設(shè)備。通常，射頻探針采用由接地線保護(hù)的信號(hào)探頭尖端，以形成用于射頻信號(hào)傳輸?shù)淖杩箍刂苽鬏斁€。已經(jīng)開發(fā)了許多類型的射頻探針。例如，在Godshalk等人的美國專利號(hào)5506515中提出了一種代表性類型，其中信號(hào)和接地探頭尖端組裝在半剛性同軸電纜末端形成的半圓柱形凹槽上。隨后在美國專利號(hào)5565788中，Burr等人公開了一種屏蔽機(jī)制，以改善測(cè)試信號(hào)的完整性和特性。這些方法的一些困難在于探頭尖端的精確制造以及將尖端組裝到同軸電纜末端的精確對(duì)準(zhǔn)。我們非常希望提供一種易于制造且具有高度可靠性的射頻探針。本發(fā)明的目的是提供一種新的和改進(jìn)的射頻探針方案，制造簡(jiǎn)單高度可靠。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種新型的射頻探針，其包括一個(gè)末端導(dǎo)體芯暴露的同軸電纜和一個(gè)接地金屬套，其中暴露的同軸電纜末端導(dǎo)體芯被加工形成探探針信號(hào)接觸針頭，而接地金屬套被加工形成探針接地接觸針頭。接地金屬套還包括一個(gè)與同軸電纜同芯的圓柱形開口，使得當(dāng)接地金屬套滑上并固定在同軸電纜端時(shí)，信號(hào)接觸針頭和接地接觸針頭自對(duì)準(zhǔn)以形成阻抗匹配控制的射頻傳輸路徑。

附圖說明

圖1為本發(fā)明是射頻探針的示例性實(shí)施例的透視圖。透視視圖的上下位置倒置(即接觸底面朝上)以更清晰地顯示接觸針頭詳細(xì)信息。

圖2a和2b分別為對(duì)應(yīng)圖1的俯視圖和截面圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明。但是本發(fā)明能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本發(fā)明內(nèi)涵的情況下做類似改進(jìn)，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。

需要說明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者也可以存在居中的元件。當(dāng)一個(gè)元件被認(rèn)為是“連接”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或者可能同時(shí)存在居中元件。

除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于本發(fā)明的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本發(fā)明的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本發(fā)明。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個(gè)或多個(gè)相關(guān)的所列項(xiàng)目的任意的和所有的組合。