[發明專利]射頻探針及其制作方法

在審

• 申請號: 202210244061.7
• 申請日: 2022-03-11
• 公開（公告）號: CN114460339A
• 公開（公告）日: 2022-05-10
• 發明（設計）人: 申軍
• 申請（專利權）人: 蘇州磁明科技有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種射頻探針，其特征在于，包括一個同軸電纜和一個接地金屬套，所述同軸電纜包括具有共同中心軸的內導體芯、內電介質和外導體；所述同軸電纜包括一個內導體芯被暴露的剝離端，所述被暴露的內導體芯被加工形成信號接觸針頭；所述接地金屬套包括沿所述信號接觸針頭同一指向的接地接觸針頭，其中所述接地金屬套被套入固定并電連接到所述同軸電纜的外導體上。

2.根據權利要求1所述的射頻探針，其特征在于，所述接地金屬套還包括具有直徑為D1的圓柱形開口和具有直徑D2的另一段開口，所述直徑D1與所述同軸電纜的外導體的外徑相匹配。

3.根據權利要求1所述的射頻探針，其特征在于，所述接地金屬套還包括在所述暴露內導體芯周圍的阻抗控制腔。

4.根據權利要求3所述的射頻探針，其特征在于，所述阻抗控制腔內充滿空氣。

5.根據權利要求3所述的射頻探針，其特征在于，所述阻抗控制腔填充介電常數小于所述同軸電纜的內電介質的介電常數。

6.根據權利要求2所述的射頻探針，其特征在于，所述直徑D2小于所述直徑D1，使得在所述接地金屬套中形成臺階，所述臺階面于所述同軸電纜剝離端面對齊。

7.根據權利要求2所述的射頻探針，其特征在于，所述接地金屬帽的圓柱形開口與所述同軸電纜中心軸的同軸。

8.根據權利要求1所述的射頻探針，其特征在于，所述信號接觸針頭和所述接地接觸針頭包括彼此相鄰的平行表面。

9.根據權利要求1所述的射頻探針，其特征在于，所述探針阻抗匹配為50歐姆。

10.根據權利要求1所述的射頻探針，其特征在于，所述信號接觸針頭與所述接地接觸針頭端面對齊。

11.根據權利要求1所述的射頻探針，其特征在于，所述信號接觸針頭與所述接地接觸針頭接觸底面對齊。