[發明專利]一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機

有效

• 申請號: 202210237584.9
• 申請日: 2022-03-11
• 公開（公告）號: CN114589157B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 孫先淼;周訓丙;趙天翔
• 申請（專利權）人: 智程半導體設備科技(昆山)有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京專贏專利代理有限公司 11797
• 代理人: 陳進

1.一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，包括：清洗槽；

設置于所述清洗槽內部的環形隔板，所述環形隔板外側與清洗槽內側圍合而成循環槽；

轉動設置于環形隔板內部的轉動盤，所述轉動盤上設有用于清洗液上下流動的通孔結構；

設置在轉動盤上往復滑動的多個用于承載超聲換能器的安裝滑板；

設置在環形隔板內部的花籃固定架，所述花籃固定架用于對花籃進行固定，所述花籃固定架設置在轉動盤上方；

用于驅動花籃固定架和超聲換能器往復滑動的驅動機構，所述驅動機構設置在清洗槽上；

及，用于驅動所述清洗槽內部清洗液通過循環槽循環流動的連通管道，所述連通管道設置在清洗槽底部，且設置在轉動盤下方；所述連通管道內部轉動設置有用于驅動清洗液流動的螺旋器。

2.根據權利要求1所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述驅動機構包括驅動凸起和轉動設置在清洗槽上的驅動軸，所述轉動盤固定安裝在驅動軸上，所述安裝滑板彈性滑動安裝在轉動盤上，所述安裝滑板一端設置有抵觸桿，所述抵觸桿抵觸在清洗槽內壁上，所述驅動凸起為多個，且多個所述驅動凸起陣列設置在抵觸桿的移動軌跡上。

3.根據權利要求2所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述安裝滑板滑動設置在轉動盤上的滑槽中，且安裝滑板通過彈性件彈性設置在轉動盤上。

4.根據權利要求2所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述驅動機構還包括驅動盤，所述驅動盤連接在驅動軸上，所述驅動盤與花籃固定架之間傳動連接，所述花籃固定架滑動設置在清洗槽內部。

5.根據權利要求4所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述花籃固定架連接在滑桿上，所述滑桿滑動設置在清洗槽內部，所述滑桿端部設置有連桿，所述連桿遠離滑桿一端滑動設置在驅動盤表面的驅動槽中，所述驅動槽為環形波浪結構。

6.根據權利要求1所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述螺旋器外側設置有第二齒環，所述第二齒環與第一齒環嚙合，所述第一齒環設置在轉動盤的底部。

7.根據權利要求6所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述連通管道端部設置有過濾網，所述過濾網用于對雜質進行過濾。

8.根據權利要求7所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述循環槽底部還設置有排污槽，所述排污槽上設置有開關閥。

9.根據權利要求2-5任一所述的一種清洗液循環流動的晶圓槽式清洗機，其特征在于，所述驅動軸雙向轉動設置，所述抵觸桿一端彈性轉動安裝在安裝滑板上，所述安裝滑板上還設置有對抵觸桿轉動位置進行限制的限位凸起；所述驅動軸通過單向傳動輪與驅動盤連接。