[發明專利]爐管裝卸輔助裝置

在審

• 申請號: 202210236830.9
• 申請日: 2022-03-10
• 公開（公告）號: CN114505816A
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 王琦;李建國;朱旺平
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B25B27/00
• 分類號: B25B27/00;B25B29/00;H01L21/22;H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

本發明提供一種爐管裝卸輔助裝置，用于在臥式半導體設備的爐管安裝至爐體或由爐體拆卸的過程中對爐管進行支撐，爐管裝卸輔助裝置包括：底座，用于可拆卸地連接于臥式半導體設備的上下料機構，以使上下料機構能夠帶動爐管裝卸輔助裝置整體沿豎直方向進行升降；支撐主體，設置在底座上，且能夠相對于底座沿第一水平方向進行移動，支撐主體設有滾動支撐結構，滾動支撐結構用于支撐爐管，滾動支撐結構能夠使爐管被推動時沿第二水平方向進行移動，且爐管與滾動支撐結構之間滾動配合，其中，第二水平方向與第一水平方向具有預設夾角。上述爐管裝卸輔助裝置進行爐管安裝和拆卸的可操作性更強，從而降低設備裝機及維護難度。

技術領域

本發明涉及臥式半導體設備技術領域，具體地，涉及一種爐管裝卸輔助裝置。

背景技術

隨著半導體相關行業(例如光伏行業)對晶片尺寸及產能的要求不斷提高，半導體設備為了適應對晶片尺寸及產能的要求，設備整體及零部件的尺寸也需要相應地增加。以臥式擴散設備為例，臥式擴散設備通常包括爐體和安裝于爐體內的多個爐管(例如石英管)，多個爐管沿豎直方向間隔布置，每個爐管沿水平方向延伸設置，每個爐管的內部空間形成反應腔室。為了適用于較大尺寸的晶片及較高產能的情況，臥式擴散設備的整體高度較高，位于相對靠上的爐管的安裝高度(即安裝操作面距離地面的高度)也較高，并且每個爐管的尺寸和重量較大。例如，臥式擴散設備的整體凈高可達到4100mm，位于最上方的爐管的安裝高度超過3500mm，并且每個爐管的長度超過3500mm、外徑約為400mm、重量可達50kg以上。

在現有技術中，上述爐管安裝至爐體的安裝過程以及由爐體拆卸下來的拆卸過程均主要依靠純人力進行，具體安裝過程如下：

作業人員分為兩組，其中，第一組人員進入至臥式擴散設備的凈化臺內，該組人員一般包括四人至六人且縱向排成一列，第二組人員處于臥式擴散設備的外部。在進行爐管安裝時，第二組人員將爐管傳遞至凈化臺內，第一組人員接過該爐管后將其向上舉升至所需安裝高度附近，再通過人工找準該爐管與爐體之間的相對位置，然后將該爐管依次向前傳遞，最終將該爐管推入爐體內。

拆卸過程與安裝過程相反，在此不再贅述。在上述爐管的安裝和拆卸過程中，爐管始終需要通過人力進行托舉支撐，爐管的升降、爐管與爐體之間位置的找準等操作也需要在托舉的同時通過人力完成，而由于上述爐管采用較大尺寸和重量以及較高的安裝高度，從而導致爐管的安裝和拆卸難度較大，且較為費力。

另外，爐管屬于易碎物料，極有可能出現由于作業人員的雙手不穩定而導致的爐管磕口或尾管發生斷裂等問題，嚴重時會導致爐管報廢；同時，作業人員在上述爐管的安裝和拆卸過程中始終處于高空負重作業狀態，作業風險較大，存在一定的安全隱患。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種爐管裝卸輔助裝置。

本發明提供一種爐管裝卸輔助裝置，用于在臥式半導體設備的爐管安裝至爐體或由爐體拆卸的過程中對爐管進行支撐，爐管裝卸輔助裝置包括：底座，用于可拆卸地連接于臥式半導體設備的上下料機構，以使上下料機構能夠帶動爐管裝卸輔助裝置整體沿豎直方向進行升降；支撐主體，設置在底座上，且能夠相對于底座沿第一水平方向進行移動，支撐主體設有滾動支撐結構，滾動支撐結構用于支撐爐管，滾動支撐結構能夠使爐管被推動時沿第二水平方向進行移動，且爐管與滾動支撐結構之間滾動配合，其中，第二水平方向與第一水平方向具有預設夾角。

進一步地，滾動支撐結構包括多個滾動單元組，多個滾動單元組沿第一水平方向并排設置，每個滾動單元組包括多個滾動單元，多個滾動單元沿第二水平方向間隔設置，在爐管被推動過程中，爐管與多個滾動單元中的至少部分滾動配合。

進一步地，支撐主體還設有多個第一導向件，多個第一導向件與多個滾動單元組一一對應設置，滾動單元沿第二水平方向可移動地設置在對應的第一導向件上。