[發(fā)明專利]爐管裝卸輔助裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210236830.9 | 申請日： | 2022-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN114505816A | 公開（公告）日： | 2022-05-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 王琦;李建國;朱旺平 | 申請（專利權）人： | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | B25B27/00 | 分類號： | B25B27/00;B25B29/00;H01L21/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 爐管 裝卸 輔助 裝置 | ||
1.一種爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，用于在臥式半導體設備的爐管安裝至爐體或由所述爐體拆卸的過程中對所述爐管進行支撐，所述爐管裝卸輔助裝置包括：
底座，用于可拆卸地連接于所述臥式半導體設備的上下料機構，以使所述上下料機構能夠帶動所述爐管裝卸輔助裝置整體沿豎直方向進行升降；
支撐主體，設置在所述底座上，且能夠相對于所述底座沿第一水平方向進行移動，所述支撐主體設有滾動支撐結構，所述滾動支撐結構用于支撐所述爐管，所述滾動支撐結構能夠使所述爐管被推動時沿第二水平方向進行移動，且所述爐管與所述滾動支撐結構之間滾動配合，其中，所述第二水平方向與所述第一水平方向具有預設夾角。
2.根據(jù)權利要求1所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，所述滾動支撐結構包括多個滾動單元組，多個所述滾動單元組沿所述第一水平方向并排設置，每個所述滾動單元組包括多個滾動單元，多個所述滾動單元沿所述第二水平方向間隔設置，在所述爐管被推動過程中，所述爐管與多個所述滾動單元中的至少部分滾動配合。
3.根據(jù)權利要求2所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，所述支撐主體還設有多個第一導向件，多個所述第一導向件與多個所述滾動單元組一一對應設置，所述滾動單元沿所述第二水平方向可移動地設置在對應的所述第一導向件上。
4.根據(jù)權利要求3所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，所述第一導向件具有沿所述第二水平方向延伸的容置槽，可移動地設置于該第一導向件上的所述滾動單元包括第一滾動件、第二滾動件以及連接軸，所述第一滾動件用于支撐所述爐管，所述第二滾動件設置在所述容置槽內(nèi)，所述連接軸用于將所述第一滾動件和所述第二滾動件轉(zhuǎn)動連接。
5.根據(jù)權利要求3所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，所述支撐主體包括沿所述第二水平方向相對設置的兩個安裝座，所述第一導向件的兩端分別連接在兩個所述安裝座上，相鄰的兩個所述第一導向件之間通過加強連接件進行連接。
6.根據(jù)權利要求4所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，所述支撐主體還設有多個輔助支撐結構，多個所述輔助支撐結構沿所述第二水平方向間隔設置，當所述爐管放置于所述滾動支撐結構上時，所述爐管位于每個所述輔助支撐結構的上方且與每個所述輔助支撐結構之間均具有間隙，多個所述輔助支撐結構用于在所述滾動支撐結構失效時對所述爐管進行輔助支撐。
7.根據(jù)權利要求6所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，所述輔助支撐結構由彈性材料制成；和/或，所述輔助支撐結構的頂部形成有用于支撐所述爐管的弧形承載面，且所述弧形承載面的形狀與所述爐管的外壁的形狀相適配。
8.根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，還包括手持結構和移動導向結構，其中，
所述手持結構連接在所述支撐主體上，通過手動推拉所述手持結構以帶動所述支撐主體相對于所述底座沿第一水平方向進行移動；
所述移動導向結構包括第二導向件和滑動件，所述第二導向件連接在所述底座和所述支撐主體中的一個上，所述滑動件連接在所述底座和所述支撐主體中的另一個上，所述滑動件沿所述第一水平方向可滑動地設置在所述第二導向件上，從而在手動推拉所述手持結構以帶動所述支撐主體移動時對該支撐主體進行移動導向。
9.根據(jù)權利要求8所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，所述支撐主體包括沿所述第二水平方向相對設置的兩個安裝座，所述底座和所述移動導向結構均為兩個，兩個所述底座分別位于兩個所述安裝座的下方，兩個所述移動導向結構分別設置在對應的所述安裝座與所述底座之間，所述手持結構的兩端分別連接在兩個所述安裝座上，以在手動推拉所述手持結構時能夠帶動兩個所述安裝座同步移動。
10.根據(jù)權利要求8所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，還包括鎖止結構，所述鎖止結構與所述底座和所述支撐主體相配合，所述鎖止結構用于鎖定所述支撐主體相對于所述底座沿所述第一水平方向的移動。
11.根據(jù)權利要求1所述的爐管裝卸輔助裝置，其特征在于，
所述底座設有機械手連接件，所述機械手連接件用于與所述上下料機構的機械手進行可拆卸連接；和/或，
所述底座的底面設有安裝墊塊，所述安裝墊塊用于在所述底座連接于所述上下料機構的機械手后與所述機械手接觸配合，通過所述安裝墊塊與所述機械手接觸配合為所述底座提供支撐。
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