[發明專利]濕式清洗機臺、過濾器及其清洗方法

在審

• 申請號: 202210233414.3
• 申請日: 2022-03-09
• 公開（公告）號: CN114570088A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 朱蘇凱;黃焱謄;丁光明
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B01D29/64
• 分類號: B01D29/64;B01D29/68;B01D29/60;B01D33/46;B01D33/50;B01D33/80
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周修文

本發明涉及一種濕式清洗機臺、過濾器及其清洗方法，過濾器包括：外殼、濾芯以及氣體吹掃件。濾芯設置于外殼的內部，濾芯內部設有第一流道，濾芯的外壁面與外殼的內壁面間隔設置配合形成第二流道。氣體吹掃件設置于第一流道和/或第二流道的內部，氣體吹掃件用于通入帶壓氣體，并將氣體噴向第一流道的壁面和/或濾芯的外壁面。上述的過濾器，在使用一段時間后需要對其濾芯進行清潔工作時，將帶壓氣體通入到氣體吹掃件，氣體吹掃件相應將氣體噴向第一流道的壁面和/或濾芯的外壁面，從而便能清除濾芯上的被清潔物，對濾芯能有效清潔，保證濾芯的過濾效果，提高濾芯的使用壽命，進而提高制程藥液品質。

技術領域

本發明涉及過濾器的清洗技術領域，特別是涉及一種濕式清洗機臺、過濾器及其清洗方法。

背景技術

過濾器，尤其是濕式清洗機臺的過濾器，其作用是過濾制程藥液中的雜質，但過濾器長時間使用后，過濾器的濾芯容易發生堵塞現象。由于濾芯堵塞或被雜質粘附到一定程度，過濾效果變差，影響制程精度和良率。此外，一些特殊雜質(如丙酮，丙酮能溶于藥液中的異丙醇)附著在濾芯上時，將影響到過濾后藥液的純度和品質。另外，由于其雜質與藥液互溶的性質和當前機臺的構造，只能通過更換濾芯來解決問題，然而更換濾芯將大幅增加成本，同時也對制程效果和良率產生不利影響。

發明內容

基于此，有必要克服現有技術的缺陷，提供一種濕式清洗機臺、過濾器及其清洗方法，它能夠及時地對濾芯進行有效清潔，能保證濾芯的過濾效果與使用壽命。

其技術方案如下：一種過濾器，所述過濾器包括：外殼與濾芯，所述濾芯設置于所述外殼的內部，所述濾芯內部設有第一流道，所述濾芯的外壁面與所述外殼的內壁面間隔設置配合形成第二流道；氣體吹掃件，所述氣體吹掃件設置于所述第一流道和/或所述第二流道的內部，所述氣體吹掃件用于通入帶壓氣體，并將所述氣體噴向所述第一流道的壁面和/或所述濾芯的外壁面。

在其中一個實施例中，所述氣體吹掃件為管件，所述管件的管壁上設有至少兩個噴氣孔，至少兩個所述噴氣孔沿著所述管件的延伸方向依次間隔設置。

在其中一個實施例中，所述管件的延伸方向平行于所述濾芯的中心軸線；所述噴氣孔為至少三個，至少三個所述噴氣孔等間隔地設置于所述管件上。

在其中一個實施例中，所述管件為至少兩個；至少一個所述管件設置于所述第一流道中，至少另一個所述管件設置于所述第二流道中；或者，所有所述管件設置于所述第一流道或所述第二流道中。

在其中一個實施例中，所述管件貫穿及伸出到所述外殼的外部，并與位于所述外殼外部的氣體供應裝置相連通。

在其中一個實施例中，位于所述第一流道內的所述管件為第一管件，所述第一管件通入的氣體為高純氮氣；位于所述第二流道內的所述管件為第二管件，所述第二管件通入的氣體為液態二氧化碳。

在其中一個實施例中，所述第二流道中的所述管件為至少兩個，并繞所述濾芯間隔布置。

在其中一個實施例中，所述過濾器還包括驅動機構；所述驅動機構與所述濾芯相連，用于驅動所述濾芯繞其中心軸線轉動；和/或，所述驅動機構與位于所述第一流道內的氣體吹掃件相連，用于驅動所述第一流道內的氣體吹掃件繞其中心軸線轉動；和/或，所述驅動機構與位于所述第二流道內的氣體吹掃件相連，用于驅動所述第二流道內的氣體吹掃件能繞所述濾芯的中心軸線在所述第二流道內周向運動。

在其中一個實施例中，所述濾芯設有與其中心軸線同軸設置的轉軸，所述轉軸貫穿所述外殼伸出到所述外殼的外部并與所述驅動機構的動力輸出軸相連。

在其中一個實施例中，所述外殼上設有軸孔，以及設置于所述軸孔處的第一密封軸承，所述轉軸可轉動地設置于所述第一密封軸承中。