[發明專利]濕式清洗機臺、過濾器及其清洗方法

在審

• 申請號: 202210233414.3
• 申請日: 2022-03-09
• 公開（公告）號: CN114570088A
• 公開（公告）日: 2022-06-03
• 發明（設計）人: 朱蘇凱;黃焱謄;丁光明
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B01D29/64
• 分類號: B01D29/64;B01D29/68;B01D29/60;B01D33/46;B01D33/50;B01D33/80
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周修文

1.一種過濾器，其特征在于，所述過濾器包括：

外殼與濾芯，所述濾芯設置于所述外殼的內部，所述濾芯內部設有第一流道，所述濾芯的外壁面與所述外殼的內壁面間隔設置配合形成第二流道；

氣體吹掃件，所述氣體吹掃件設置于所述第一流道和/或所述第二流道的內部，所述氣體吹掃件用于通入帶壓氣體，并將所述氣體噴向所述第一流道的壁面和/或所述濾芯的外壁面。

2.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于，所述氣體吹掃件為管件，所述管件的管壁上設有至少兩個噴氣孔，至少兩個所述噴氣孔沿著所述管件的延伸方向依次間隔設置。

3.根據權利要求2所述的過濾器，其特征在于，所述管件的延伸方向平行于所述濾芯的中心軸線；所述噴氣孔為至少三個，至少三個所述噴氣孔等間隔地設置于所述管件上。

4.根據權利要求2所述的過濾器，其特征在于，所述管件為至少兩個；至少一個所述管件設置于所述第一流道中，至少另一個所述管件設置于所述第二流道中；或者，所有所述管件設置于所述第一流道或所述第二流道中。

5.根據權利要求4所述的過濾器，其特征在于，所述管件貫穿及伸出到所述外殼的外部，并與位于所述外殼外部的氣體供應裝置相連通。

6.根據權利要求4所述的過濾器，其特征在于，位于所述第一流道內的所述管件為第一管件，所述第一管件通入的氣體為高純氮氣；位于所述第二流道內的所述管件為第二管件，所述第二管件通入的氣體為液態二氧化碳。

7.根據權利要求4所述的過濾器，其特征在于，所述第二流道中的所述管件為至少兩個，并繞所述濾芯間隔布置。

8.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于，所述過濾器還包括驅動機構；所述驅動機構與所述濾芯相連，用于驅動所述濾芯繞其中心軸線轉動；和/或，所述驅動機構與位于所述第一流道內的氣體吹掃件相連，用于驅動所述第一流道內的氣體吹掃件繞其中心軸線轉動；和/或，所述驅動機構與位于所述第二流道內的氣體吹掃件相連，用于驅動所述第二流道內的氣體吹掃件能繞所述濾芯的中心軸線在所述第二流道內周向運動。

9.根據權利要求8所述的過濾器，其特征在于，所述濾芯設有與其中心軸線同軸設置的轉軸，所述轉軸貫穿所述外殼伸出到所述外殼的外部并與所述驅動機構的動力輸出軸相連。

10.根據權利要求9所述的過濾器，其特征在于，所述外殼上設有軸孔，以及設置于所述軸孔處的第一密封軸承，所述轉軸可轉動地設置于所述第一密封軸承中。

11.根據權利要求10所述的過濾器，其特征在于，所述軸孔處還設有套設于所述轉軸外的至少一個密封圈；所述外殼的內部設有罩設于所述軸孔的密封蓋，所述密封蓋包括與所述外殼的內壁相連的外圍部，以及與所述外圍部相連的主體部；所述主體部上設有套設于所述轉軸的通孔，所述轉軸設有錐形段，所述錐形段裝設于所述通孔中。

12.根據權利要求1所述的過濾器，其特征在于，所述外殼上設有第一對接部，所述第一對接部與所述第二流道相連通，所述第一對接部還分別連接有原液進液管與清洗液排液管；所述濾芯上設有第二對接部，所述第二對接部與所述第一流道相連通，所述第二對接部貫穿所述外殼伸出到所述外殼的外部，還分別連接有產液輸出管與清洗液輸入管；所述原液進液管、所述清洗液排液管、所述產液輸出管與所述清洗液輸入管上分別設置有第一開關閥、第二開關閥、第三開關閥與第四開關閥。