[發(fā)明專利]一種用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210227742.2
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN114446839A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王孝軍;范亞飛
• 申請（專利權(quán)）人: 允哲半導(dǎo)體科技（浙江）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明公開了一種用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，包括外殼，外殼的內(nèi)部安裝有繞膜機構(gòu)，繞膜機構(gòu)包括安裝在外殼側(cè)壁上的新膜固定軸，新膜固定軸的一側(cè)下方安裝有第一滾輪，第一滾輪的下方一側(cè)安裝有第二滾輪，第二滾輪的下方一側(cè)安裝有第五滾輪，第五滾輪的一側(cè)安裝有第六滾輪，第五滾輪的另一側(cè)安裝有第七滾輪，第七滾輪的一側(cè)安裝有第八滾輪。該用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置中，通過多組滾輪的設(shè)計，可以兼容多種膜的貼膜裝置，本裝置既可以使用普通蘭膜，也可以使用UV膜，還可以使用預(yù)切割膜和DAF膜，使一條生產(chǎn)線只需要1臺貼膜裝置就可以完成不同產(chǎn)品使用不同切割膜的切換，同時簡化了換膜的方式，節(jié)省了換膜的時間。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及貼膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，涉及一種用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)在半導(dǎo)體技術(shù)、LED、攝像頭技術(shù)的進步，對產(chǎn)品的性能要求越來越高，新的封裝工藝正在不斷的涌現(xiàn)。傳統(tǒng)封裝中晶圓在切割前需要貼切割膜，有的產(chǎn)品只需要貼普通的蘭膜就可以滿足切割的要求，而有的產(chǎn)品要求比較高，普通的蘭膜就容易產(chǎn)生質(zhì)量問題，需要貼UV膜才能滿足晶圓的切割要求，UV膜的膠層比較厚、而且比較黏，在UV膜出廠時都會在UV膜的膠層側(cè)貼一層保護膜，使用時就需要把保護膜去掉，這就使封裝貼切割膜的工藝復(fù)雜了很多；而在一些新的工藝中，為了解決產(chǎn)品形狀的問題需要預(yù)切割膜，還有些產(chǎn)品需要解決軟焊料和粘片膠用在超小超薄芯片存在的對于堆疊封裝無法使用問題，就使用了DAF膜。貼預(yù)切割膜或DAF膜時就需要把預(yù)切割膜或DAF膜從保護膜上剝離并且要精確定位DAF的起始位置，才能使膜的膠層和產(chǎn)品大小完全重合覆蓋。

現(xiàn)在的封裝廠中都是代工生產(chǎn)，不同廠家的產(chǎn)品使用的切割膜是不一樣的，有的需要普通蘭膜，有的產(chǎn)品需要UV膜，還有些產(chǎn)品需要預(yù)切割膜或DAF膜。如果一個封裝廠這幾種膜都需要，就需要買不同的貼膜機以適應(yīng)不同的產(chǎn)品的貼膜需求，封裝廠就需要幾臺不同的貼膜機才能滿足生產(chǎn)需求，這么多的貼膜機不僅增加了封裝廠的購機成本，也需要更大的空間來放置機器，也需要更多的人員來操作和維護機器，同時機器間又不能互相兼容，這大大增加了封裝廠的運營成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，包括外殼，所述外殼的內(nèi)部安裝有繞膜機構(gòu)，繞膜機構(gòu)包括安裝在外殼側(cè)壁上的新膜固定軸，所述新膜固定軸的一側(cè)下方安裝有第一滾輪，所述第一滾輪的下方一側(cè)安裝有第二滾輪，所述第二滾輪的下方一側(cè)安裝有第五滾輪，所述第五滾輪的一側(cè)安裝有第六滾輪，所述第五滾輪的另一側(cè)安裝有第七滾輪，所述第七滾輪的一側(cè)安裝有第八滾輪，所述第八滾輪的下方一側(cè)安裝有第九滾輪，所述第六滾輪的下方一側(cè)安裝有擺錘，所述第六滾輪的上方一側(cè)安裝有保護膜收膜軸，所述第九滾輪的一側(cè)安裝有貼膜滾輪，所述貼膜滾輪的外側(cè)安裝有拉膜機構(gòu)，拉膜機構(gòu)外側(cè)安裝有第十五滾輪，所述第十五滾輪的上部一側(cè)安裝有紡錘軸，所述紡錘軸的上方安裝有廢膜卷膜軸，不同的滾輪均安裝在側(cè)壁上，且能夠自由轉(zhuǎn)動。

作為優(yōu)選，所述新膜固定軸的下方安裝有第三滾輪，所述第五滾輪的上方安裝有第四滾輪。

作為優(yōu)選，所述第九滾輪的下方安裝有預(yù)切割膜分離裝置，所述預(yù)切割膜分離裝置是一個斜坡型的三角體。

作為優(yōu)選，拉膜機構(gòu)下面連有絲桿和導(dǎo)軌，通過馬達控制移動，拉膜機構(gòu)由5套滾輪組成，包括第十滾輪、第十一滾輪、第十二滾輪、第十三滾輪和第十四滾輪，所述第十滾輪由裝在同一個軸上的兩個分滾輪組成，兩個分滾輪中間有空隙，靠近側(cè)壁的位置裝有彈簧，兩個分滾輪可以自由轉(zhuǎn)動，同時可以沿軸向移動，所述第十一滾輪也是由兩個分滾輪組成，兩個分滾輪裝在同一根軸上，兩個分滾輪不能沿軸自由轉(zhuǎn)動，但可以沿軸向移動，軸向移動是由兩個氣缸分別控制，同時有兩個氣缸控制軸的移動，所述第十滾輪和第十一滾輪共同動作，保證貼膜時把膜拉平。

作為優(yōu)選，所述新膜固定軸、保護膜收膜軸和廢膜卷膜軸均通過皮帶和皮帶輪連接有扭力馬達，軸上安裝有膨脹氣缸，膨脹氣缸有開關(guān)控制。