[發明專利]一種用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置

在審

• 申請號: 202210227742.2
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN114446839A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 王孝軍;范亞飛
• 申請（專利權）人: 允哲半導體科技（浙江）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，包括外殼(23)，其特征在于：所述外殼(23)的內部安裝有繞膜機構，繞膜機構包括安裝在外殼(23)側壁上的新膜固定軸(1)，所述新膜固定軸(1)的一側下方安裝有第一滾輪(2)，所述第一滾輪(2)的下方一側安裝有第二滾輪(3)，所述第二滾輪(3)的下方一側安裝有第五滾輪(6)，所述第五滾輪(6)的一側安裝有第六滾輪(7)，所述第五滾輪(6)的另一側安裝有第七滾輪(10)，所述第七滾輪(10)的一側安裝有第八滾輪(11)，所述第八滾輪(11)的下方一側安裝有第九滾輪(13)，所述第六滾輪(7)的下方一側安裝有擺錘(9)，所述第六滾輪(7)的上方一側安裝有保護膜收膜軸(8)，所述第九滾輪(13)的一側安裝有貼膜滾輪(14)，所述貼膜滾輪(14)的外側安裝有拉膜機構，拉膜機構外側安裝有第十五滾輪(20)，所述第十五滾輪(20)的上部一側安裝有紡錘軸(21)，所述紡錘軸(21)的上方安裝有廢膜卷膜軸(22)，不同的滾輪均安裝在側壁上，且能夠自由轉動。

2.根據權利要求1所述的用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，其特征在于：所述新膜固定軸(1)的下方安裝有第三滾輪(4)，所述第五滾輪(6)的上方安裝有第四滾輪(5)。

3.根據權利要求1所述的用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，其特征在于：所述第九滾輪(13)的下方安裝有預切割膜分離裝置(12)，所述預切割膜分離裝置(12)是一個斜坡型的三角體。

4.根據權利要求1所述的用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，其特征在于：拉膜機構下面連有絲桿和導軌，通過馬達控制移動，拉膜機構由5套滾輪組成，包括第十滾輪(15)、第十一滾輪(16)、第十二滾輪(17)、第十三滾輪(18)和第十四滾輪(19)，所述第十滾輪(15)由裝在同一個軸上的兩個分滾輪組成，兩個分滾輪中間有空隙，靠近側壁的位置裝有彈簧，兩個分滾輪可以自由轉動，同時可以沿軸向移動，所述第十一滾輪(16)也是由兩個分滾輪組成，兩個分滾輪裝在同一根軸上，兩個分滾輪不能沿軸自由轉動，但可以沿軸向移動，軸向移動是由兩個氣缸分別控制，同時有兩個氣缸控制軸的移動，所述第十滾輪(15)和第十一滾輪(16)共同動作，保證貼膜時把膜拉平。

5.根據權利要求1所述的用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，其特征在于：所述新膜固定軸(1)、保護膜收膜軸(8)和廢膜卷膜軸(22)均通過皮帶和皮帶輪連接有扭力馬達，軸上安裝有膨脹氣缸，膨脹氣缸有開關控制。

6.根據權利要求2所述的用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，其特征在于：所述第二滾輪(3)、第五滾輪(6)和貼膜滾輪(14)的兩端均安裝有氣缸，兩個氣缸通過連接件控制第二滾輪(3)的位置，氣缸通過連桿固定在側壁上，所述第三滾輪(4)和第四滾輪(5)的一端安裝有步進馬達。

7.根據權利要求1所述的用于晶圓貼膜中多種膜兼容的貼膜裝置，其特征在于：所述擺錘(9)的側壁裝有位置檢測傳感器，所述第二滾輪(3)和第三滾輪(4)之間以及第四滾輪(5)和第五滾輪(6)之間均安裝有位置檢測傳感器。