[發明專利]一種ITO旋轉靶的冷等靜壓模具及預制成型方法

在審

• 申請號: 202210225986.7
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN114523551A
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 郭慶生;陳曦;朱劉;鐘小華
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: B28B3/00
• 分類號: B28B3/00;B28B7/00
• 代理公司: 清遠市清城區諾譽知識產權代理事務所(普通合伙) 44815
• 代理人: 龔元元

本發明公開了一種ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，旨在實現ITO旋轉靶燒結前的預制成型；其技術方案：包括：下模座、上模座、以可拆的方式固定連接在下模座、上模座之間的芯軸；下模座上設有第一凸臺，上模座上設有第二凸臺；第一凸臺上設有第一凹槽，第二凸臺上設有與第一凹槽對應的第二凹槽，芯軸的一端通過第一鎖緊件鎖緊在第一凹槽內、另一端通過第二鎖緊件鎖緊在第二凹槽內；還包括一彈性套體，其兩端分別通過第三鎖緊件鎖緊在第一凸臺、第二凸臺的側邊上；下模座、上模座、彈性套體、芯軸四者之間形成容納ITO粉末的密封的腔室；還提供一種ITO旋轉靶的預制成型方法，屬于靶材加工技術領域。

技術領域

本發明屬于靶材加工技術領域，更具體而言，涉及一種ITO旋轉靶的冷等靜壓模具及預制成型方法。

背景技術

ITO，指氧化銦錫，作為納米銦錫金屬氧化物，通過靶材濺射機，將自身材料在玻璃面板上鍍膜，多用于觸控面板、觸摸屏、冷光片等。

ITO從粉末材料到成品件，有一個燒結成型的過程，在燒結成型之前，需要將粉末做成特定的形狀，而將粉末做成特定的形狀是通過冷等靜壓設備實現的，其中，其所使用到的模具即為冷等靜壓模具。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，旨在實現ITO旋轉靶燒結前的預制成型；還提供一種ITO旋轉靶的預制成型方法。

根據本發明的第一方面，提供了一種ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，包括：下模座、上模座、以可拆的方式固定連接在下模座、上模座之間的芯軸；

所述下模座上設有第一凸臺，所述上模座上設有第二凸臺；所述第一凸臺上設有第一凹槽，所述第二凸臺上設有與第一凹槽對應的第二凹槽，所述芯軸的一端通過第一鎖緊件鎖緊在第一凹槽內、另一端通過第二鎖緊件鎖緊在第二凹槽內；

還包括一彈性套體，其兩端分別通過第三鎖緊件鎖緊在第一凸臺、第二凸臺的側邊上；所述下模座、上模座、彈性套體、芯軸四者之間形成容納ITO粉末的密封的腔室。

本發明一個特定的實施例中，所述下模座的遠離所述彈性套體的一側設有一第一通孔，所述芯軸與所述第一凹槽配合的一端的端部設有第一螺紋孔；所述第一鎖緊件為第一螺栓，所述第一螺栓穿過第一通孔與第一螺紋孔配合將芯軸鎖緊在下模座上。

本發明一個特定的實施例中，所述上模座的遠離所述彈性套體的一側設有一第二通孔，所述芯軸與所述第二凹槽配合的一端的端部設有第二螺紋孔；所述第二鎖緊件為第二螺栓，所述第二螺栓穿過第二通孔與第二螺紋孔配合將芯軸鎖緊在上模座上。

本發明一個特定的實施例中，所述第二螺栓為吊環螺栓。

本發明一個特定的實施例中，所述下模座的遠離所述彈性套體的一側還設有一用于容納第一螺栓的容納凹槽。

本發明一個特定的實施例中，所述第一螺栓與下模座之間、第二螺栓與上模座之間均設有第一密封環。

本發明一個特定的實施例中，所述第一凹槽與芯軸的端部之間、第二凹槽與芯軸的端部之間均設有第二密封環。

本發明一個特定的實施例中，所述彈性套體為圓柱狀結構，所述第一凸臺、第二凸臺均為圓臺狀結構；所述第三鎖緊件為喉箍；

所述第一凸臺與彈性套體的端部之間、第二凸臺與彈性套體的端部之間均設有第三密封環；

第三鎖緊件與第三密封環的位置對應。

本發明一個特定的實施例中，所述彈性套體的材質為橡膠。

本發明還提供一種ITO旋轉靶的預制成型方法，涉及如上所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具；包括如下步驟：

步驟1：通過第一鎖緊件將芯軸鎖緊在下模座上；