[發明專利]一種ITO旋轉靶的冷等靜壓模具及預制成型方法

在審

• 申請號: 202210225986.7
• 申請日: 2022-03-07
• 公開（公告）號: CN114523551A
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 郭慶生;陳曦;朱劉;鐘小華
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: B28B3/00
• 分類號: B28B3/00;B28B7/00
• 代理公司: 清遠市清城區諾譽知識產權代理事務所(普通合伙) 44815
• 代理人: 龔元元

1.一種ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，包括：下模座(1)、上模座(2)、以可拆的方式固定連接在下模座(1)、上模座(2)之間的芯軸(3)；

所述下模座(1)上設有第一凸臺(11)，所述上模座(2)上設有第二凸臺(21)；所述第一凸臺(11)上設有第一凹槽(12)，所述第二凸臺(21)上設有與第一凹槽(12)對應的第二凹槽(22)，所述芯軸(3)的一端通過第一鎖緊件(4)鎖緊在第一凹槽(12)內、另一端通過第二鎖緊件(5)鎖緊在第二凹槽(22)內；

還包括一彈性套體(6)，其兩端分別通過第三鎖緊件(7)鎖緊在第一凸臺(11)、第二凸臺(21)的側邊上；所述下模座(1)、上模座(2)、彈性套體(6)、芯軸(3)四者之間形成容納ITO粉末的密封的腔室。

2.根據權利要求1所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述下模座(1)的遠離所述彈性套體(6)的一側設有一第一通孔，所述芯軸(3)與所述第一凹槽(12)配合的一端的端部設有第一螺紋孔；所述第一鎖緊件(4)為第一螺栓，所述第一螺栓穿過第一通孔與第一螺紋孔配合將芯軸(3)鎖緊在下模座(1)上。

3.根據權利要求2所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述上模座(2)的遠離所述彈性套體(6)的一側設有一第二通孔，所述芯軸(3)與所述第二凹槽(22)配合的一端的端部設有第二螺紋孔；所述第二鎖緊件(5)為第二螺栓，所述第二螺栓穿過第二通孔與第二螺紋孔配合將芯軸(3)鎖緊在上模座(2)上。

4.根據權利要求3所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述第二螺栓為吊環螺栓。

5.根據權利要求2所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述下模座(1)的遠離所述彈性套體(6)的一側還設有一用于容納第一螺栓的容納凹槽(13)。

6.根據權利要求3所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述第一螺栓與下模座(1)之間、第二螺栓與上模座(2)之間均設有第一密封環(A)。

7.根據權利要求1所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述第一凹槽(12)與芯軸(3)的端部之間、第二凹槽(22)與芯軸(3)的端部之間均設有第二密封環(B)。

8.根據權利要求1所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述彈性套體(6)為圓柱狀結構，所述第一凸臺(11)、第二凸臺(21)均為圓臺狀結構；所述第三鎖緊件(7)為喉箍；

所述第一凸臺(11)與彈性套體(6)的端部之間、第二凸臺(21)與彈性套體(6)的端部之間均設有第三密封環(C)；

第三鎖緊件(7)與第三密封環(C)的位置對應。

9.根據權利要求1所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具，其特征在于，所述彈性套體(6)的材質為橡膠。

10.一種ITO旋轉靶的預制成型方法，其特征在于，涉及如權利要求1-9任一所述的ITO旋轉靶的冷等靜壓模具；包括如下步驟：

步驟1：通過第一鎖緊件(4)將芯軸(3)鎖緊在下模座(1)上；

步驟2：通過第三鎖緊件(7)將彈性套體(6)的一端鎖緊在下模具上；

步驟3：將ITO粉末倒入腔室，并使ITO粉末填滿腔室；

步驟4：通過第二鎖緊件(5)將上模座(2)鎖緊在芯軸(3)上；并通過第三鎖緊件(7)將彈性套體(6)的另一端鎖緊在上模座(2)上；下模座(1)、芯軸(3)、上模座(2)、彈性套體(6)四者組合形成冷等靜壓模具；

步驟5：將冷等靜壓模具送入冷等靜壓設備內。